일반기술

알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도 저하 방법

본 기술은 알루미늄 박막의 제조에 전구체로 유용한 디메틸알루미늄 하이드라이드(dimethyl aluminum hydride; DMAH)의 점도 저하 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 포스핀을 첨가함(이하, 얻어진 용액은혼합 용액이라 함)으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저히 저하시키는 방법에 관한 것으로, 버블러 형 및 직접 액체 주입 방법 형의 전구체 증기 이송 시스템 모두에 적용할 수 있도록 디메틸알루미늄 하이드라이드의 점도를 저하시키고 더 나아가 알루미늄 박막을 대량생산할 수 있는 방법을 제공하는 것이다.상기 목적을 달성하기 위해 본 기술은 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 포스핀을 0.1 내지 5 몰%로 첨가하여 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 저하시키는 방법을 제공한다.본 기술에 따른 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학 증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체(metal-organic precursor)로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서의 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에의 적용이 용이하고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 유용하다.본 기술의 방법은 액상 디메틸알루미늄 하이드라이드에 소량의 포스핀을 첨가함으로써 디메틸알루미늄 하이드라이드 액체의 점도를 현저하게 저하시키는 것으로, 본 기술에 따라 얻어진 디메틸알루미늄 하이드라이드 혼합 용액은 유기금속 화학증착법에 의한 박막의 제조에 있어 유기금속 전구체로 사용될 경우 버블러형 전구체 이송 시스템에서 버블링 효과가 뛰어날 뿐 아니라 직접 액체 주입형 이송 시스템에도 용이하게 사용할 수 있고 단위 시간당 증기화되는 디메틸알루미늄 하이드라이드 양이 증가되어 알루미늄 박막의 대량생산에 매우 유용하다.