일반기술

광양자테 레이저 다이오우드와 그 어레이 및 제조방법

본 기술은 반도체 레이저에 관한 것으로서, 수 μA의 문턱전류로 동작하는 삼차원 위스퍼링 갤러리(whispering gallery :WG) 광양자테(photonic quantum ring: PQR) 레이저 다이오우드와 그 어레이 및 광양자테 레이저 다이오우드 제조방법에 관한 것으로, 극소전류로 동작하는 삼차원 위스퍼링 갤러리 광양자테 레이저 다이오우드 및 그 제조방법을 제공하고, 삼차원 위스퍼링 갤러리 광양자테 레이저 다이오우드의 어레이를 제공하는 것이다.본 기술에 따르면, 측면으로 뻗은 다수 층이 수직 방향을 따라 적층되는 광양자테(photonic quantum ring : PQR) 레이저다이오우드는, n형 다중층 분산형 브랙 반사기(distributed Bragg reflector: DBR)와 p형 다중층 DBR 사이에 끼워진 활성층으로서, 상기 활성층의 테두리를 따라 한 파장을 갖는 빛이 수직축 방향에 대하여 일정한 경사각으로 발진되는 활성층과; 상기 발진된 빛이 투과되도록 상기 활성층을 들러싼 피복층을 포함하는 것을 특징으로 한다.본 기술에 따라 제작된 레이저의 출력 파장이 온도에 대하여 비교적 안정된 T1/2 특성을 갖고, 그 문턱 전류가 소자의 직경(φ)에 대하여 φ2의 관계를 가져서 서브 μA 내지 수 μA의 극소 전류만으로 동작할 수 있으므로, 대용량 고집적의 반도체 레이저 다이오우드 어레이의 제작이 가능하다.