일반기술

용액의 점도 변화를 이용한 박막의 두께 조절 방법

졸-겔법을 이용한 박막의 제조방법에 관한 것으로 졸의 가수분해 과정에서 일어나는 현상인 졸의 시간에 따른 점도 변화를 이용하여 박막의 두께를 조절한다.박막의 두께는 박막을 제조하기 위한 용액의 점도가 크면 두꺼워지고 용액에 미치는 외력이 크면 얇아지며, 용액과 기판의 계면에 작용하는 장력 및 기체와 기판의 계면에 작용하는 계면에 작용하는 장력이 크면 두꺼워 진다. 그러므로 다른 요인을 일정하게 하고 용액의 점도를 변화시켜 박막의 두께를 조절할 수 있다.그런데 기존의 박막 제조방법인 담금법이나 회전법은 두께를 조절하기가 어려우며 두꺼운 박막을 얻기 위해서는 여러번 반복하여 코팅하는 문제점이 있었다.반면 점도 변화, 즉 졸이 겔이 될 때까지 점도가 점진적으로 증가하는 현상과, 점도의 변화에 따라 박막의 두께가 달라지는 현상을 이용하면, 박막의 두께를 정밀하게 조절하여 두께가 두꺼운 박막을 정확히 제조할 수 있다졸-겔법을 이용하면 박막의 두께 조절이 가능하고 비교적 간단한 장비로 박막을 제조할 수 있어 경제성이 뛰어나다.그러므로 두꺼운 박막이 요구되고 또한 그 두께가 정확해야 하는 박막을 제작할 때 단한번의 공정으로 두껍게 코팅할 수 있고, 박막의 두께를 10nm 수준까지 정밀하게 조절할 수 있어 전자, 광학 소자에 이용할 수 있다