일반기술

(바륨, 스트론튬)삼산화티탄 박막의 제조방법

알콜 용매에 바륨 화합물, 스트론튬 화합물 및 티탄 화합물을 용해시켜 얻은 전구체 용액을 다공성 금속 프릿(frit)이 장착된 기화기에서 200℃ 이상의 온도로 기화시키고, 이 전구체 기체를 반응기로 유입하기 전에 산화기체와 접촉시키고, 유기금속 화학증착 공정시 기판의 온도를 300∼650℃로 유지시키는데, 기판의 온도가 480℃ 이상인 경우에는 바륨 화합물, 스트론튬 화합물 및 티탄 화합물을 1-x:x:1+y (0≤x≤1, y=0)의 몰비로 혼합된 전구체 용액을 사용하고, 기판의 온도가 480℃ 이하인 경우에는 바륨 화합물, 스트론튬 화합물 및 티탄 화합물을 1-x:x:1+y (0≤x≤1, y>0)의 몰비로 혼합된 전구체 용액을 사용하여 (Ba, Sr)TiO3형 박막을 제조한다기존의 유기금속 화학증착법에서는 전구체로서 Ba(tmhd)2, Sr(tmhd)2 등을 사용하고, 여기에 배위가능한 분자를 첨가함으로써 분자간의 뭉침이 방지된 박막을 제조하였다. 그러나, 이들을 배위가능한 분자를 포함하는 용매에 녹일 경우에는 분자의 뭉침효과가 오히려 상실되는 문제가 있어서 알콜을 용매로 사용하는 것이 불가능하였다. 따라서, 부틸아세테이트를 용매로 사용하여 왔는데, 이 경우에는 증착된 박막에 탄소가 다량 함유되는 문제가 있었으며, 또한 기화기를 사용하여 반응물을 기체상태로 증기화시킬 때 분자간의 분리로 인해 기화기가 막히는 현상이 발생하였다.이에 증착된 박막내 탄소 함량이 적고 분자간의 뭉침 현상이 없는 (Ba, Sr)TiO3형 박막을 제조하였으며 알코올을 전구체 용액의 용매로 사용함으로써 분자간의 뭉침현상이 없을 뿐만 아니라 증착된 박막내 탄소의 함량이 저하된 (Ba, Sr)TiO3형 박막을 대량생산할 수 있게한다.