일반기술

감광성 폴리이미드 전구체 및 그 제조방법

이미드화 과정 전후의 수축율을 개선함으로써 내부응력과 분해능이 우수한 폴리이미드 절연막 패턴을 형성할 수 있는 감광성 폴리이미드 전구체에 관한 것으로 산무수물 및 혼합물비가 8:2∼2:8인 두 알콜을 반응시킨 다음, 할로겐화제와 반응시켜서 폴리아믹산 디알킬에스테르 디아실할라이드를 얻고, 이를 디아민 화합물과 반응시켜 감광성 폴리이미드 전구체를 제조한다.최근, 집적회로의 소형화 및 고밀도화가 가속화됨에 따라, 기계적 특성, 열적 안정성 및 전기적 절연성이 우수한 폴리이미드를 고밀도 집적회로용 다층기판의 절연재료로 이용하려는 연구가 할발하게 진행되고 있다. 폴리이미드 절연막은 집적회로간의 상호 연결 통로를 제공하기 위하여 미세 패턴 형성과정을 거치게 된다. 이때 절연막 형성용 재료로서 감광성 폴리이미드를 사용하면 기존의 폴리이미드를 사용하는 경우에 필요한 포토레지스트 패턴 형성공정을 줄일 수 있어 절연막 패턴 공정이 보다 간단해진다. 감광성 폴리이미드는 코팅 및 이미드화 과정 중에 생기는 내부응력을 견딜 수 있을 정도로 물리적인 특성이 양호해야 한다. 감광성 폴리이미드 전구체는 기존의 폴리이미드 전구체에 비해 이미드화 과정 전후로 수축율이 크게 감소한다. 그 결과, 이 전구체로부터 형성된 폴리이미드 절연막은 분해능 및 내구성이 개선된다. 그리고, 특히 이러한 감광성 폴리이미드 전구체가 불소를 함유하는 경우에는 기존의 감광성 폴리이미드 전구체에 비하여 유전상수가 감소될 뿐만 아니라, 열팽창율, 잔류응력 및 물리적 특성 등이 크게 개선될 수 있다