일반기술

알루미늄 증착 플라스틱 필름 및 그의 제조방법

플라스틱 필름상에 산화 알루미늄막을 50∼150Å 두께로 증착하고, 이 산화 알루미늄막상에 알루미늄막을 증착하며, 산화 알루미늄막의 증착 초기에는 산화 알루미늄막의 증착만을 이루고 점차로 산화정도를 낮추어 산화 알루미늄과 알루미늄을 혼재하는 형태로 산화 알루미늄막을 형성하고, 산화 알루미늄막 및 알루미늄막의 전체 두께가 300∼1000Å의 두께가 될 수 있도록 증착함으로서 콘덴서용 알루미늄 증착 플라스틱 필름을 제조하여 공정 단가를 줄임과 동시에 알루미늄 박막과의 접착력을 향상시킬 수 있다.기존의 알루미늄 증착 플라스틱 필름을 사용하여 제조된 MF 콘덴서는 직류나 교류가 인가된 상태로 사용될 때 사용 기간의 경과에 따라 캐패서턴스가 감소하는 단점이 있다. 이러한 현상은 전기가 인가된 상태에서 알루미늄이 수분에 의하여 산화되는 것에 기인하는 것을 알려져 있다.플라스틱 필름의 표면에 알루미늄의 산화물 박막을 증착하고, 다시 그 알루미늄산화물 박막 위에 알루미늄 박막을 연속적으로 진공 증착하여 알루미늄 증착 플라스틱 필름을 제조함으로서 초기 산화알루미늄 박막을 증착이 진행됨에 따라 산화정도가 감소되는 형태가 되도록 전이층의 형태로 증착함에 따라 계속되는 알루미늄 박막과의 접착성을 향상시킬 수 있다