일반기술

마이크로파용 유전체 세라믹 조성물

일반적으로 박막의 제조공정은 전자 및 광학소자의 제조에 필수적인 요소이며, 그 박막의 제조하기 위한 방법으로는 스퍼터링(sputtering), 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition), 레이저 증착(laser ablation), 졸-겔법이 있으며, 고가의 장비가 필요한 스퍼터링, 화학기상증착, 레이저 증착법에 비해 간단한 장비를 사용하여 박막을 제조하는 졸-겔법은 경제성이 뛰어나 많은 연구가 진행되고 있다.1몰(mole)의 La(Mg2/3Nb1/3)O3에 0~5mole의 TiO2를 조합하는 것을 주조성으로 하고, 그 중 3mole의 TiO2에 대해 첨가제로 WO33을 첨가하여 형성한 마이크로파용 유전체 세라믹 조성물로서, 저가의 원료를 사용하여 제조비용을 절감함과 동시에 낮은 소결 온도를 갖는 물질을 사용하면서도 높은 품질계수특성과 유전상수 및 안정한 온도계수의 우수한 마이크로파 유전특성을 나타내는 세라믹 유전체를 제조할 수 있다상대적으로 낮은 소결 온도를 갖는 La(Mg2/3Nb1/3)O3을 사용하고, 그 공진 주파수의 온도계수를 향상시키기 위해 TiO2를 첨가하며, 품질 계수를 향상시키기 위해 W, Mo, Cr, Se, Te 또는 Po 중 적어도 하나 또는 복수의 종류를 첨가하여 유전체 세라믹을 제조함으로써, 저가의 원료를 사용하여 제조비용을 절감함과 동시에 낮은 소결온도를 갖는 물질을 사용하면서도 높은 품질계수특성과 유전상수 및 안정한 온도계수의 우수한 마이크로파 유전특성을 나타내는 세라믹 유전체를 제조할 수 있다