일반기술

진공챔버 제작방법

진공로에서 스테인레스 강재의 챔버를 450℃에서 48~60시간 가열하여 스테인레스 강 내부의 수소를 제거함과 동시에 크롬을 표면으로 석출시키고, 진공로의 온도를 200℃로 낮추어 유지시킨 후 건조질소를 주입하여 진공로를 10~20분에 걸쳐 서서히 벤팅시킨 후, 벤팅 상태를 24~48시간 유지시켜 챔버의 표면에 크롬 산화막을 형성하여 수소의 확산 및 투과가 현저히 억제되기 때문에 진공도가 10-11 Torr 대 이하의 극고진공 영역으로까지 어렵지 않게 내릴 수 있다.기존의 초고진공용 진공챔버는 TIG 용접 및 화학세척 등에 의해 챔버를 제작한 후 가스 방출량을 낮추기 위하여 챔버를 진공로(Vacuum furnace;眞空爐)에서 고온으로 소성하여 제작했는데, 이는 스테인레스강 내부의 수소를 제거하는 효과는 있었으나 표면에 수증기가 흡착되는 현상을 막지는 못했다.이에 스테인레스 강재를 고온으로 가열하여 강재 내부의 수소를 제거함은 물론 챔버의 표면에 크롬 산화막을 형성하여 수소의 확산 및 투과를 억제하고 수증기의 흡착을 줄여 진공도를 향상시켰다