일반기술

진공챔버의 벤팅방법 및 그 장치

액체질소 두어와, 액체질소 두어에서 나와 기화된 질소가스내의 불순물을 여과시키는 필터와, 필터에 의해 여과된 질소가스를 가열하는 가열부와, 가열부에 의해 가열된 질소가스를 냉각시키고 질소가스내의 잔류 이물질 및 수분을 제거하는 냉각부와, 냉각부를 거쳐 진공챔버로 주입되는 질소가스의 유량을 조절하는 바늘밸브를 포함하여 구성되며 초급속 배기를 행할 수 있다. 즉, 배기시작 1시간 내에 10-10 Torr 대에 들어가고, 배기시작 6시간 내에 10-11 Torr 대에 들어가는 진공도를 얻을 수 있다.기존에는 초고진공 시스템을 벤트(vent)하기 위하여 질소가스를 액체질소로 냉각된 여과장치를 통과시켜 질소가스내에 함유되어 있는 수분을 제거하는 방법 등이 사용되고 있으나, 이와 같은 방법으로는 여전히 질소가스속에 수분이 많이 함유되어 있기 때문에 진공시스템을 베이크 아웃(bake out)하지 않고 배기하는데 많은 시간이 소요되었다.액체질소 두어에서 나와 기화된 질소가스내의 불순물을 여과시키고, 필터에 의해 여과된 질소가스를 가열부에서 가열하고, 가열된 질소가스를 냉각부에서 냉각시키어 질소가스내의 잔류 이물질 및 수분을 제거하며, 냉각부를 거쳐 진공챔버로 주입되는 질소가스의 유량을 조절함으로서 초급속 배기가 가능하다. 특허등록번호170162의 기술과 밀접한 관련이 있다