일반기술

박막전지 및 일렉트로크로믹 소자용 박막의 제조방법

박막전지 및 일렉트로크로믹 소자에 응용이 가능한 니켈 및 니켈 산화물 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로 전해질 용액을 제조하여 이 전해질 용액 내에 작업전극와 기준전극 및 상대전극을 담지하는 과정과, 상기 전해질 용액 내에서 편향 전압 전류법을 이용하여 상기 작업전극상에 니켈 박막을 증착하는 과정과, 특정 수용액 중에서 양극산화법을 이용하여 상기 니켈 박막상에 니켈 산화물 박막을 증착하는 과정을 포함하는 박막전지 및 일렉트로크로믹 소자용 박막의 제조방법 또는 전해질 용액을 제조하여 이 전해질 용액 내에 작업전극과 기준전극 및 상대전극을 담지하는 과정과, 상기 전해질 용액 내에서 전위스텝 시간대전류법을 이용하여 상기 작업전극상에 니켈 박막을 증착하는 과정과, 특정 수용액 중에서 순환전압 전류법을 이용하여 상기 니켈 박막상에 니켈 산화물 박막을 증착하는 과정을 포함하는 박막전지 및 일렉트로크로믹 소자용 박막의 제조방법을 제공한다.스퍼터링법, 플라즈마 화학 기상 증착법, 전자빔 증발법 등 종래의 전극 제조 방법의 단점을 개선하기 위하여 근래에 비교적 낮은 온도에서 높은 증착속도를 갖는 졸겔법을 사용한 박막의 제조기술이 제안되었지만 졸겔법의 경우 건조과정에서 표면에 균열이나 구멍 등이 형성되기 쉽고 얇은 박막의 제조가 어려운 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 나노기술의 발전에 따른 전기화학적 방법을 이용하여 박막을 제조함에 있어서 편향 전압 전류법과 양극산화법에 의한 연속적인 공정 또는, 전위스텝 시간대전류법과 순환전압 전류법에 의한 연속적인 공정을 통하여 낮은 제조비용과 함께 우수한 전기적 특성을 갖는 니켈 및 니켈 산화물 박막을 제조하는 방법을 제공한다