일반기술

렌즈 형태의 다공성 스폰지가 장착된 순간기화기

유기금속 전구체의 기화를 위한 기존의 순간기화기에 사용되던 단순 원통형의 다공성 금속 스폰지에 있어서의 부위에 따른 온도 편차를 개선하기 위한 것으로 금속 스폰지의 모양을 가장자리부의 두께가 중심부의 두께 보다 얇게 렌즈 형상으로 설계한다.유기금속 화합물을 이용한 유기금속화학증착법(MOCVD)은 전자 소자의 집적도가 높아지고 증착하고자 하는 고형물의 모습이 3차원화되면서 단순한 물리적 증착법에 의해서는 소자를 형성할 수 없게 됨에 따라 각광받고 있는 기술이다.액상유기화합물을 운반기체에 의해 기화기로 도입하여 기체상태로 기화시킨 후에 생성된 유기금속화합물 증기를 증착하고자 하는 기판이 있는 곳까지 운반하여 고온에서 접촉시킴으로써 분해시켜 기판상에 금속 박막을 증착시킨다유기금속화합증착법을 구현하는데 있어서의 문제점은 액상의 유기금속 전구체를 기상으로 전화시키는 것인데 이와 관련하여 널리이용되는 방법이 순간기화기에서 액상 유기금속 전구체를 기화시킬 때 다공성 금속스폰지를 이용하여 열전달 면적을 높여 전구체를 순간 기화시키는 방법이다. 그러나 순간기화기에 장착되는 일반적인 금속 스폰지는 부위에 따라 온도 차이가 발생하여 공정 수행이 곤란한 문제점이 있다.따라서 기화 효율을 증대시키기 위해 부위에 따른 온도 차이가 적도록 설계된 금속 스폰지를 순간기화기에 장착하였으며 이는 가장자리 부위의 두께가 중심부의 두께 보다 얇은 구조를 가진 렌즈형의 다공성 금속 스폰지이다.순간기화기는 액상 유기금속 전구체를 효율적으로 기화할 수 있어 유기 금속화학증착법에 매우 유용하게 사용할 수 있다