일반기술

폭 넓은 범위의 온도에 대한 굴절률(refractive index) 측정

현재 박막(thin film)의 굴절률과 흡수율(absorbance) 측정을 위해 타원계(ellipsometer)가 사용되고 있기는 하지만, 이는 단일의 정밀 온도(precise temperature), 혹은 기껏해야 좁은 온도 범위에서만 가능하다. 이와 같은 문제를 극복하기 위해 특별히 고안된 온도 스테이지(temperature stage)가 설계되었다.현재 타원계가 상업적으로 시판되고 있기는 하지만, 박막(유전체, 반도체, 폴리머)의 굴절률과 흡수율 측정은 단일의 정밀 온도, 혹은 기껏해야 좁은 온도 범위에서만 가능하며, 이로 인해 타원계의 사용이 제한되고 있다. 이제 특수 설계된 온도 스테이지를 타원계와 결합하여 사용할 수 있게 되었으며, 폴리머, 반도체. 유리 및 화학 물질로 구성된 다양한 박막의 특성 검사를 위해 이와 같은 전문 기술을 사용하는 데 관심을 가지고 있는 회사 및 단체들과의 공동 연구가 요구되고 있다. 혁신적인 사항:현재의 온도 범위에는 다양한 분자 시스템의 융해점이 포함되어 있으며, 대부분의 전기적 현상을 조사하는 데 충분할 정도로 범위가 넓다. 주요 장점:저온에서의 여기(excitonic) 특성을 기록하는 데 충분한 스펙트럼 분해능(spectral resolution). 극소 샘플이나 밀리미터 미만(sub-mm) 표면의 불 균질성(heterogeneity)에 대응하는 데 충분한 스펙트럼 분해능을 지닌 micro-spot 스테이지.