일반기술

전송 특성에 기초한 중, 박, 코팅 두께의 광집적도 측정

광학 신호의 매체를 통과하는 전송 특성에 기초하여, 두께 또는 광학 밀도와 같은 이 매체의 여러 특징들이 높은 정밀도를 가지고 측정될 수 있다. 매체와의 어떠한 접촉도 필요 없으며 측정은 연속적으로 이루어 질 수 있다. 출력 신호는 직접 디지털 신호로 변환되어 신뢰성을 향상하고 마이크로 컨트롤러와의 연결을 가능하게 한다.이 제안된 기술은 광학 발신 장치와 수신장치의 혼합 사용을 통해서 매체의 특성을 측정하는 방안에 관련되어 있다. 발신장치는 소스의 열적 안정성을 보장하기 위하여 광학적 피드백을 이용하며 수신 장치의 출력은 내부적으로 직접 주파수로 변환된다. 이 주파수는 직접 마이크로 컨트롤러로 연결되며, 따라서 공정 제어 시스템으로 이 센서를 구현할 수 있도록 한다. 높은 수준의 측정 정밀도는 형성된 열적 안정성 및 환경에 의한 간섭에 대한 높은 독립성의 결과로 획득이 가능하다.혁신적인 사항:발신 장치는 소스의 온도를 안정시키며, 따라서 매우 신뢰성 있는 측정을 가능하게 한다. 만일 온도가 일정하지 않으면 발신 장치의 신호 수준은 시간에 따라 변하므로 출력 신호는 언제라도 비교될 수 없을 것이다.시스템은 높은 수준의 전자기적 간섭이 있는 환경에서도 작업을 수행할 수 있다.수신 장치의 출력은 직접 주파수로 변환되어 어떠한 기타 환경적 요인에 의해서도 간섭을 받지 않도록 방지될 것이다.주요 장점:높은 안정성, 심한 조건 하에서도 안정적인 성능, 전자 컨트롤러로의 연결성.

기술정보

기술분류
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
보유기관
특허법인충정
기술유형
일반기술
등록일
2001-07-27
데이터 갱신일
정보 없음

상세설명

정보 없음

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