일반기술
가스 공급용 표면실장 부품용 조인트 W-SEAL
반도체 제조장치용 집적화 가스패널(IGS)용으로 개발한 금속 가스킷 형 관 조인트이다. "UPG" 조인트의 시일기구를 활용하여 IGS용으로 개발하였다. "UPG" 조인트를 가진 조인트로서의 기본 성능에 더하여, 암수의 구별을 없애 IGS의 설계를 용이하도록 하였다.1. 규정의 조임토크는 충분한 여유를 가지고 있어, 조임토크의 편차가 있어도 양호한 기밀을 유지2. 외부충격에 의한 구부림 및 뒤틀림, 볼트의 한쪽 조임, 기체면의 손상등에도 안정된 기밀성 확보3. 조인트부의 착탈을 반복하여도 기밀성이 유지
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 단위기계 요소부품
- 보유기관
- 특허법인충정
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2001-02-17
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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