특허 · 2013 성과 기록 유리 식각 공정 폐액의 효율적인 재활용을 위한 현장 구동형 재생방법 재생장치 그에 의해 출원등록기관(주)전영 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기