특허 · 2011 성과 기록 파장 안정화를 위한 방열 기능을 갖는 결합공진기형 선폭축소장치 및 이를 구비하는 레이저공진 출원등록기관주식회사엑스엘티 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기