특허 · 2012 성과 기록 나노 다이아몬드 함침 고 방열성 메탈기판의 절연층 형성방법 출원등록기관(주(이넥트론 출원국정보 없음 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기