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특허 · 2012 성과 기록 중복영상을 이용한 에프피디 기판 및 반도체 웨이퍼 검사시스템 출원등록기관와이즈플래닛(주) 출원국중국 원자료 구분특허등록 사업화 활용미기재 성과 근거 보기