특허 · 2011 성과 기록 시온필름이 부착된 반도체 기판 보관용 매거진 캐리어 및 이를 이용한 반도체 큐어링 공정 실행 출원등록기관세미텍㈜ 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기