특허 · 2013 성과 기록
낮은 누설전류와 전력효율이 향상된 반도체 제조용 질화알루미늄 세라믹히터의 제조방법 및 이에 의해 제조된
- 출원등록기관
- (주)보부하이테크
- 사업자 등록번호
- 1068147224
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 1020000000000
- 출원등록일자
- 2013-07-03
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 106-81-47224 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 22084
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