특허 · 2013 성과 기록 낮은 누설전류와 전력효율이 향상된 반도체 제조용 질화알루미늄 세라믹히터의 제조방법 및 이에 의해 제조된 출원등록기관(주)보부하이테크 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기