특허 · 2011 성과 기록
백색광이 조명된 결함에서 발생한 산란광의 간섭무늬를 이용한 반도체 기판 표면의 결함 검출
- 출원등록기관
- 나노전광주식회사
- 사업자 등록번호
- 3178504750
- 지재권 종류
- 특허
- 원자료 범위 구분
- 국내 출원
- 출원국
- 대한민국
- 원자료 출원·등록 구분
- 특허출원
- 출원등록번호
- 10-2011-0029155
- 출원등록일자
- 2011-03-31
- 사업화 활용
- 미기재
- 사업자 연결
- 317-85-04750 기업·기관 성과
- 원자료 식별
- 수집본 1 · 엑셀 행 25565
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