특허 · 2011 성과 기록 산란광을 이용한 반도체 기판 표면의 결함 검출 장치 및 방법 출원등록기관나노전광주식회사 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기
특허 · 2011 성과 기록 백색광이 조명된 결함에서 발생한 산란광의 간섭무늬를 이용한 반도체 기판 표면의 결함 검출 출원등록기관나노전광주식회사 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기
특허 · 2010 성과 기록 산란광에 의한 기판 표면의 결함 검출 장치 및 그 검출 방법 출원등록기관나노전광주식회사 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기
특허 · 2010 성과 기록 쌍극자 산란광에 의한 기판 표면의 결함 검출 장치 및 검출 방법 출원등록기관나노전광주식회사 출원국대한민국 원자료 구분특허출원 사업화 활용미기재 성과 근거 보기