산업기술 통합검색
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 낮은 비저항과 가시광 영역에서 높은 광투과도를 갖는 AZO투명 도전막을 제조하고 타겟내의 Al2O3 첨가량, 기판온도, RF 출력, 분위기압 등 제조조건에 따릉 AZOakr의 구조적, 전기적, 및 광학적 특성을 조사하였다.투명도전막으로서의 최적조건은 3wt%의 Al2O3가 첨가된 타겟으로 기판온도 150도, 분위기압 2mTorr, RF 출력 150W였으며 이때 AZO막의 비저항 및 캐리어논도는 각각 4.710-4cm 및 7.51020cm-3이었다. 두께가 1500인 AZO막의 경우 550nm에서 광투과율은 90%이상이었다. AZO막의 비저항 및 광투과율은 Hall이동도와 캐리어농도 뿐만 아니라 막막의 미시구조에 의해서도 영향을 받음을 알수 있었다.
표면 평활도 및 절연 특성이 우수한 실리콘산화물 절연박막 증착 기술 및 특성 최근 세라믹 계열의 투명한 SiO2 절연층은 반도체 디바이스나 광디바이스등으로 그 응용분야가 확대되어가고 있다. 반도체 디바이스에서는 주로 중간절연층(Intermetal oxide), 확산저지층(Diffusion masking), 표면보호막(Surface passivation) 등에 이용되며, 광디바이스에서는 Si와 SiO2박막을 다층으로 형성하여 간섭필터(Interference filter), 편광자(Polarizer), 편광분리기(Polarization splitter) 등에 이용되고 있다.SiO2 박막제조에는 화학적 기상 증착법(CVD)과 물리적 기상 증착법(PVD)이 이용되어지고 있으며, 화학적 기상 증착법(CVD)에서는 유독가스를 사용하는 문제점이 있어 물리적 기상 증착법(PVD)에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한, 물리적 기상 증착법(PVD)중에서도 아르곤/수소(산소)반응성 스퍼터링을 사용하여 SiO2박막을 제조하면 박막내부의 응력감소, 박막 내부구조가 치밀하고 우수한 절연특성과 매우 작은 표면 평활도 등의 우수한 특성의 박막을 제조할 수 있다. 본 연구에서는 아르곤/수소 반응성 스퍼터링을 통하여 박막의 표면 평활도를 45에서 2.4까지 감소할 수 있었으며, 아르곤/산소 반응성 스퍼터링을 통하여 박막의 절연성을 30V인가시 2.5109에서1.81011까지 증가
완화형 강유전체 Pb(Mg, Nb)O - Pb(Zn, Nb)O 계의 합성 및 유전 특성 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 (PMN)과 Pb(Zn1/3Nb2/3)O3 (PZN)은 최대유전상수가 각각 18,000과 22,000 (단결정 상태)이며 큐리온도는 -10oC와 140oC인 완화형 강유전체로서, 티탄산 바륨을 대체할수 있는 고유전율의 강유전체로서 차세대 커패시터재료로 각광받고 있다. 본 연구에서는 B자리 전구체법을 사용하여 PMN-PZN계의 전 조성(PZN 제외)에 걸쳐 거의 순수한 페로브스카이트상을 합성하였다. 큐리온도는 60 mol%까지의 PZN첨가시에 -5oC (PMN), 19oC (20 mol%까지의 PZN첨가), 43oC (40 mol% 첨가) 및 72oC (40 mol% 첨가)로 거의 직선선적으로 증가하였다. 주사전자현미경에 의한 미세구조 관찰결과 PMN의 평균입자크기는 소결온도에 따라 1.9 m (1150oC), 2.1 m (1200oC) 및 5.5 m (1250oC)로 증가하였다.95% 전후의 밀도를 갖는 소결체를 제조하여 그의 특성을 측정한 결과 PMN의 최대유전상수는 20,000으로 학계에 보고된 결과보다 우수하였다. PMN에 60 mol%까지의 PZN첨가시에는 최대유전상수가 모두 20,000이상이었으며 특히 40 mol%의 첨가시에는 최대 23,000에 이르는 최대유전상수를 얻을수 있었다.
압전 회전센서(Piezoelectric Gyroscope)는 물체의 회전속도를 감지하기 위한 센서로서 압전효과를 이용해 코리올리스 힘 (Coriolis Force) 을 측정하는 센서이다. 코리올리스 힘이란 선속도로 운동하는 물체에 외부 각속도가 작용하여 이 두 벡터가 이루는 평면에 수직한 방향으로 발생하는 힘을 말한다.기존에 사용되고 있는 압전 회전센서는 1축형이 주종을 이루고 있는데 본 센서는 한 차원 발전된 2축형 회전센서이다. 본 2축형 센서는 뛰어난 S/N 비를 갖고 있어서 두 방향의 회전력에 대한 센서의 감도 및 변별력이 우수하며, 외부 회전력과 출력전압과의 관계는 선형성을 나타낸다.본 센서는 이 힘을 감지하기 위한 압전세라믹 박편 4개를 서로 직각으로 배치한 구조를 취하여, 수직한 두 개의 회전속도 성분을 동시에 측정할 수 있는 기능을 가진다.
비파괴 초음파 탐촉자는 압전재료에 전위가 가해지면 그에 비례하는 변위가 발생하는 압전현상을 이용해 초음파를 발신,수신하는 장치이다, 즉 발신기로부터 발신된 신호와 수신기에서 수신된 신호의 시간차, 진폭차, 위상차를 측정해 초음파가 투과되는 구조물의 상태를 비파괴적으로 진단, 예측하는 센서로서, 초음파의 탁월한 투과능력과 고감도, 그리고 양호한 이동성으로 인해 비파괴 구조물 진단 및 수중물체의 정보취득을 위한 장비로서 폭넓게 사용되고 있다.탐촉자가 최대 감도와 최대 작동주파수 대역을 가지도록 최적화된 물성 및 규격을 가진다
고온소결은 제품의 생산단가를 증가시킬뿐더러 고온소결에 기인하는 입자의 성장으로 인해 그 기계적 강도가 저하되는 단점이 있어 본 연구에서는 저온, 약 1200~1400도에서 완전치밀화가 가능한 이트리아 세라믹스 분말의 제조기술을 개발. homo+heterogeneous precipitation법을 개발2410도의 매우 높은 용융온도를 갖고 있을 뿐만 아니라 고온에서의 우수한 화학적 안정성 그리고 가시광선 또는 적외선을 투과하는 특성을 갖고 있다.
Mn-Zn 페라이트 코아는 금속에 비해 비저항이 매우 커서 손실이 작아 고주파에서의 인덕터, 트랜스포머, 노이즈 필터 등에 응용되고 있으며 특히 저손실 페라이트는 Switching-Mode Power Supply에의 응용이 매우 크다. 본 연구실에서는 노이즈 필터용 고투자율 Mn-Zn 페라이트의 개발에 이어, 고주파에서 투자율이 크면서도 손실 특성이 우수한 저손실 Mn-Zn 페라이트 코아를 개발하였다. 저손실 Mn-Zn 페라이트 개발에 있어서 가장 큰 문제점은 고주파에서의 투자율이 저하되면서 손실이 증가하는 것과 응용주파수 대역이 낮다는 것이다. 즉 일반적으로 투자율이 큰 재질일수록 낮은 주파수 대역에서만 특성의 저하 없이 응용이 가능한데 적절한 조성의 선택만으로는 응용주파수의 고주파화를 달성할 수 없다. 또한 고주파에서 특성의 저하 없이 손실 특성이 우수한 코아를 만드는 데는 적절한 재질의 개발과 함께 제조공정의 확립이 필요하다.첨가물과 제조공정의 제어를 통해 고주파에서 투자율의 저하 없이 손실 특성이 우수한 Mn-Zn 페라이트 코아를 개발하였으며 응용주파수 대역도 고주파화하였다.
chip inductor용 페라이트 조성과 제조 공정을 개발하였고, 칩화 구현을 위한 페라이트 그린시트 제조기술과 적층화 기술(적층 온도, 압력 및 열처리 조건) 및 소재의 측정 평가 기술을 보유 900 이하에서 이론밀도의 95퍼센트이상인 소결밀도를 얻을 수 있는 공정을 개발하였고, 응용 주파수 수-100 MHz, 초투자율 수십-1000, 포화자화 4000 Gauss 이상, 고유저항 109 ㎝ 이상을 구현할 수 있는 다양한 페라이트 재질을 개발하였다.
이동통신 단말기의 RF 필터 및 IF(intermediate frequency)필터, 안테나 듀플렉서(antenna duplexer) 등의 수동소자와 위성통신용 DBS(direct broadcast satellite) 수신기의 전압제어발진기이동통신용부품에 적합한 물성을 갖는 La(Zn1/2Ti1/2)O3, La(Mg2/3Ta1/3)O3, Ba(Mg1/3Ta2/3)O3 등의 La-, Ba-, Sr-, Ca-계 복합페로브스카이트화합물과 상호고용체, ZnNb2O6, ZnTa2O6 등의 신조성 개발 및 복합체 디자인과 저융점 전극의 사용이 가능한 저온소결조성 등을 개발
인공골용 수산화아파타이트의 분말제조공정, 성형법, 소결공정 등의 공정 제어기술과 골유도성과 생체친화성을 크게 향상시키기 위한 다공질 아파타이트 제조 기술을 개발.재생골의 생성과 인공골의 흡수의 동일한 속도와 재생골의 용이한 치환을 위한 최적 조성과 결정상 제어에 관한 소재기술과 다공체 성형기술을 개발.재생골의 생성과 인공골의 흡수의 동일한 속도와 재생골의 용이한 치환을 위한 최적 조성과 결정상 제어에 관한 소재기술과 다공체 성형기술을 개발
연료전지(fuel cell)는 연료의 산화반응에 의한 화학에너지를 전기에너지로 변환하는 시스템으로서, 에너지효율면이나 환경면에서 기타의 에너지원에 비해 많은 장점을 지니고 있어 미래의 고효율, 청정에너지원으로서 주목받고 있다. 본 연구실에서는 고체 전해질형 연료전지의 핵심구성요소이며, 연료전지의 효율을 결정하는데 가장 중요한 고체전해질 조성 및 제조공정의 개발에 역점을 두어 왔다. 연료전지용 고체 전해질은 특성에 있어서 높은 이온전도도, 강한 내환원성, 낮은 소결온도 등을 필요로 하는데, 현재 상업화되어 있는 대표적인 조성인 이트리아 안정화 지르코니아(YSZ)의 경우 낮은이온전도도로 인한 높은 작동온도 및 낮은 소결성으로 인한 높은 제조온도의 단점을 지니고 있다. 본 연구실에서는 전해질 내환원성에 대한 평가방법 개발을 통하여 세리아(CeO2)계 전해질의 낮은 내환원성의 단점을 극복하면서 동시에 높은 이온전도도를 가지는 Y-doped ZrO2 - CeO2 전해질조성을 개발.전해질 내환원성에 대한 평가방법 개발을 통하여 세리아(CeO2)계 전해질의 낮은 내환원성의 단점을 극복하면서 동시에 높은 이온전도도를 가지는 Y-doped ZrO2 - CeO2 전해질조성을 개발
본 연구실에서는 축적된 세라믹스 제조공정에 대한 경험을 바탕으로 강유전체 박막에 이용되는 Pb(Zr,Ti)O3, SrBi2Ta2O9, Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 등 다양한 물질의 대구경 target을 제조하였으며 벌크조성에 대한 소재특성과 특성평가기술을 확보하였다. FRAM용 강유전체 박막으로 많이 연구된 Pb(Zr,Ti)O3는 전압이 반복 인가되면서 특성이 열화되어 소자의 수명이 짧아지기 때문에 소자의 신뢰도가 떨어진다는 문제를 가진다. 현재 새로운 조성의 물질을 통해 이 문제를 극복하려는 노력이 진행중인데 Bi-layer 구조의 SrBi2Ta2O9는 박막으로 제조시 109Hz 이상에서도 별다른 열화 현상을 나타내지 않으며 유전율이 비교적 낮아서 다른 강유전체 박막에 비해서 응답 속도가 빠르다는 장점을 가지는 물질이다. 그러나 아직 SrBi2Ta2O9의 소결체에 관해서는 별로 연구되지 않아 박막 형태로의 응용을 위한 기본적인 물성에 대해서 별로 알려진 것이 없으며 sputtering 등의 PVD(physical vapor deposition)에 이용되는 target 제조 역시 거의 이루어지지 않은 실정이다.본 연구실에서는 bulk type SrBi2Ta2O9에 관한 제조공정 및 조성연구를 통하여 제조성에 대한 강유전 물성을 비롯한 소재 특성 데이터를 확보하였으며, 아울러 스퍼터링용 대구경 SBT target 제조공정을 확립하였다.
Pb(Zr,Ti)O3, Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3, Pb(Zr,Ti)O3-Pb(Ni1/3Nb2/3)O3 등의 Pb-계 및 (Na1/2Bi1/2)TiO3 - PbTO3, (Na1/2Bi1/2)TiO3 - PbZrO3 등의 NBT계 압전 세라믹스에 대한 제조 공정, 시편의 성형 및 가공 기술, poling 방법과 강유전, 압전 물성 평가의 바탕이 되는 각종 측정 기술에 대한 연구를 수행하였으며 재료의 등가 회로적 해석을 통해 소재에 대한 새로운 접근을 시도 중PZT-PNN계 화합물의 제조 공정 및 가공 기술과 후막 성형 기술을 연구하였으며 Modified Sawyer-Tower 회로등을 통하여 S-E, P-E 특성과 같은 압전/전왜 특성의 신뢰도 있는 측정 기술을 확립
세계적인 문제로 대두되어 있는 대기오염의 가장 큰 원인인 NOX와 SO2 가스를 제거하기 위한 CuO 촉매 분말제조공정 기술을 확보하였고, 아울러 알루미나 담체는 polymer의 적절한 첨가를 통해 기공률, 기공 크기를 용이하게 제어할 수 있는 공정을 개발.구형의 기공전구체를 이용하여 최대 기공률(75퍼센트)과 기계적 강도를 지닌 alumina 담체의 제조공정을 개발함으로써 기타의 산화물계 담체 제조에 응용가능한 기반기술을 확보구형의 기공전구체를 이용하여 최대 기공률(75퍼센트)과 기계적 강도를 지닌 alumina 담체의 제조공정을 개발함으로써 기타의 산화물계 담체 제조에 응용가능한 기반기술을 확보
본 기술은 유리의 표면에 유리와의 접착성이 강한 1차 코팅수지를 도포,건조 후 그 도포,건조된 표면에 2차 친수성 코팅수지를 도포하여 건조하거나, 투명성 플라스틱수지, 예를들면 폴리카보네이트,폴리에스터,폴리프로필렌,폴리비닐클로라이드 등의 표면에 친수성 수지를 코팅하여서 반영구적으로 김서림 방지 코팅처리된 소재를 얻는 것으로 높은 습도 또는 실내와 실외와의 온도 편차에 따른 실내의 표면에 발생하는 김서림 현상을 해결하여 시야를 맑게 해주며, 필요에 따라 자외선차단효과를 부여할 수도 있으며, 정전기 발생을 차단 혹은 제거가 가능하며, 유리의 파손시에는 필름으로 코팅한 경우 파편의 확산을 방지해 줌으로서 안전효과도 기대할 수 있습니다.습기에 의해 방해를 받을 수 있는 모든 투명성 재질에 처리할 수 있으며 김서림에 의한 시야의 방해를 해결할 수 있습니다
고품위 MgF2, TiO2, SiO2 박막을 제조하는 공정기술 안정화, 유리 표면과 MgF2, TiO2, SiO2 박막과의 밀착력 향상 기술 안정화, Glass 표면의 무반사율 2% 이내로 제조하는 기술, 양산화에 따른 95%이상으로 향상화하는 기술안정화무공해 기술인 진공 증착기술의 산업화에 따른 환경오염문제 개선, 무반사 제어 기술의 국산화, 산업용 진공증착시스템의 설계 및 제조 기술확보, 고밀착력을 갖는 장착 코팅 기술개발, 산화물 박막제조 기술개발
TV모니터, 자동차 내장재, 타이어, 합성고무, 아크릴 섬유 등의 원료인 아크릴로니트릴(AN) 제조용 고선택성 촉매.아크릴산, 이소부틸산 등의 산화반응용 촉매로 사용. 신규 촉매개발에 따른 새로운 공정개발. 전량 수입에 의존하고 있는 외국기술 및 촉매보다 월등한 촉매 개발프로필렌을 반응물로 하여 AN을 제조할 수 있는 고선택성 촉매개발. 새로운 형태의 Bi-Mo 계열 혼합산화물 촉매. 기존의 상용촉매보다 2배이상 성능이 우수. 선택성 향상으로 부산물 생성 감소(아크롤레인, 아세토니트릴 등 0.2% 수준).
배기가스 중 질소산화물(NOx)을 프로판을 환원제로 사용하여 선택적으로 제거시킬 수 있는 금속담지 제올라이트 촉매의 제조 및 이용 방법에 관한 기술임. 구리, 코발트, 알칼리토금속, 란타늄 금속이온 중에서 둘 이상의 금속을 제올라이트에 담지 (이온교환법, 적심법, 고상반응법)시켜 제조하였으며, 질소산화물 제거 효능은 배출되는 질소산화물의 농도에 따라 반응온도, 산소 및 프로판 농도를 변화시키며 최적화시킬 수 있다.경제적이며, 쉽게 구할 수 있는 프로판을 환원제로 사용, 기존 귀금속 담지 촉매에서 활성금속을 귀금속 대신 전이금속으로 대치시켜, 경제적임, 과량의 산소 공존하에도 촉매 성능 지속, 제조방법이 간편, 반응온도 420 ℃에서 900 ppm의 질소산화물을 적어도 85%제거 가능, 수증기, SOx, CO, 등 공존하에서도 촉매 성능 지속
천연 규암을 분쇄처리 및 정제하여 하기의 규격을 갖춘 실리카미분체의 실용공정기술을 개발함입자경 : < 15㎛ , 형상 : 구형, 순도 : ＞ 99.8％생산공장의 설계를 하나의 새로운 소재공정 플랜트기술로 펙키지화할 수 있음, 입도 및 불순물 제어가 일련의 분쇄공정에서 이루어지므로,공정의 단순화 및 투자비 감소를 꾀할수 있음
초기 단계에 이온을 주입한 것이 ,특히 절연체에서, 접착면의 경화성 및 접착성이 증가하여 강화 코팅의 물성치를 높여준다는 것을 실험을 통해 알 수 있었다. 초기 변형된 접촉면에 다이아몬드-유사 탄소(DLC) 코팅을 입히면 두 가지 방법으로 다 처리하는 것보다 더 큰 효과를 얻을 수 있다. 예를 들어, 3마이크로 미터 두께의 DLC 코팅은 수도 꼭지의 수명을 3-4배 연장시킨다. 같은 코팅을 초기 이온 처리된 꼭지의 서비스 수명은 표준 꼭지의 서비스 수명보다 12-14배나 길다. 접착면에의 TiN의 접합은 주입 및 표면 처리가 단일 진공 사이클에 이루어지면 더 좋다는 것이 여러 적용 분야(실험실, 산업체)에서 알려졌다.마모 방지, 부식 방지, 장식용 코팅