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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

개스센서 개발

푸탈로시아닌 금속을 합성하여 NO, NO2, CO, CO2 의 개스를 흡착시켜, 발생되는 기전력을 측정하므로서 개스의 농도를 알아낼 수 있는 기술임. 매우 민감하고 반영구적 개스 센서임.장점 - 열적 안정성이 매우 우수하고, 재현성이 좋아 매우 안정한 기능을 나타냄.단점 - 고체박막의 제조 및 회로구성에 난이도가 있음.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-04-07
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

동위형 축전 센서

본 과제에서는 PCB 기판을 소재로 에칭 공법을 이용하여 약 2 mm 이내의 간극을 0.002 mm 단위로 측정할 수 있는 소형 축전 센서를 개발한 결과를 보여 준다. 소재가 소형이므로, 기구부 내에서 간극을 측정할 필요가 있을 때, 간극 사이에 삽입하여 측정하고자는 부위의 간극을 직접 측정할 수 있다. 즉, 동위형 센서로서 응용할 수 있다. 초기에는 자기 베어링용으로 개발하였으나, 여러 용도에 응용 가능하다. 본 센서 장치는 (1) PCB 제조 기법으로 제작된 센서판 및 (2) 센서 신호 처리를 위한 신호 처리 장치로 구성된다. 센서를 구동하는 신호 처리 장치는 센서의 선형성을 확보하기 위하여, 정전류 방식으로 설계 제작하였으며, PCB 아트 워킹으로 제작되어 있으므로 당장 현장에 활용하거나, 상품화 개발에 투입될 수 있다. 센서 시스템의 동적 특성 실험을 수행한 결과, 1.2 kHz의 주파수 대역폭을 가지고 있음을 보였고, 분해능은 0.0023 mm 이었다. 가격은 일반적인 PCB 제조 기법을 사용하므로, 일반적으로 시판되고 있는 축전 센서에 비하여 제조 원가가 20% 이내로 저렴하다.PCB 제조 기법으로 제작되므로, 센서판의 형상은 용도에 맞게 임의로 제작할 수 있다는 큰 장점이 있다. 단, 서울대학교에서 이미 특허 출원을 완료한 상태이므로, 기술 이전에 대하여는 별도로 논의가 필요하다

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한국생산기술연구원
등록일
2000-04-07
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

화재감지를 위한 초정밀 연기농도 감지기

-기존의 화재 감지기는 열감지식과 연기감지식 두종류가 있다. 전기 누전으로 인한 화재의 경우 실제 열과 빛을 발생하는 화재 이전에 전선에서 발생하는 열에의해 피복이 녹고 눈에 보이지 않는 연기가 발생 한다. 이러한 현상을 감지 한다면 실제 화재 발생 수분전에 감지가 가능하고 , 조기 진화 및 화재 방지가 가능하다. 하지만 기존의 연기 감지식 화재 감지기는 연기농도 1% Obs/m 의 정밀도에 약 10 ~ 15 % Obs/m에서 작동되어 조기 감지에는 미약하다.이번에 개발한 연기감지 장치는 크세논 램프 섬광을 이용하여 연기 입자에서 산란되는 미약한 광량을 Photo diode를 이용하여 매우 정밀하게 초저밀도의 연기농도를 감지한다. 연구 결과 0.05% obs/m 의 연기농도를 감지하여 기존의 감지기와 비교하면 20 배의 정밀도가 향상되었다

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한국생산기술연구원
등록일
2000-04-07
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

마이크로머시닝 기술을 이용한초소형 yaw rate sensor

기존 yaw rate sensor는 기계적인 회전형 yaw rate sensor와 이를 개선한 fiber optic gyroscope가 주로 사용되어 왔는데 이들은 대략 수천에서 수백 $에 이르는 고가이고 부피가 크다는 제약으로 인해 항공기, 우주선, 선박 등의 제한된 용도에만 사용되었기 때문에 반도체 가공기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 사용하여 저렴한 생산원가로 기존의 기계적 또는 광학적 yaw rate sensor에 비해 성능면에서 뒤지지 않는 반도체형 초소형 yaw rate sensor를 개발하는 연구를 진행하고 있다. 이를 위해 현재 다결정 실리콘 재료를 사용하여 표면 마이크로머시닝 기술로 가공하는 yaw rate sensor를 설계하여 제작하고 있다. 이러한 초소형 yaw rate sensor는 GPS(Global Positioning System)의 보조 시스템으로 사용되어 자동차의 무인주행과 자동주행 시스템에 사용될 수 있으며 자세제어 시스템에도 응용될 수 있다. 또한, 가전에서는 video camera의 손떨림 방지 장치와 computer의 3D mouse, 그리고 TV의 remote control에 응용되기도 하며 산업분야에서는 이동체의 안테나 자세제어, 로봇과 무인 운반차량의 자세제어 등의 응용이 있다. 그리고 의료분야에서 진동검진과 신체마비 환자들을 위한 보조기구, 수술용 기구의 정밀제어와 휠체어의 자세제어 등에 이용될 수 있다. 1990년 160만개 정도의 수요가 발생하여 900만불의 시장을 형성한 yaw rate sensor는 이후 연평균 13%의 성장을 지속하여 1994년 현재 266만개, 1500만$의 시장으로 발전하였다. 현재 진행중인 초소형 yaw rate sensor 개발에 관한 연구가 최종적으로 완료될 경우 대략 20∼30$ 정도의 가격을 갖는 yaw rate sensor의 제작이 가능해져 높은 성장률을 나타내고 있는 yaw rate sensor 시장에서 우위를 선점할 수 있을 것이다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-04-07
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

변압기 절연유 열화센서를 이용한 진단기법 개발

본 연구의 마지막 연도인 4차년도에서는 3차년도까지 다루지 못하였던 센서의 적용방안에 대하여 연구되었다. 먼저 센서의 전계 및 저항 특성이 밝혀졌고 전기적 특성 또한 센서 자체의 누설전류 측정을 통하여 그 특성이 밝혀졌다. 열화 측정용 계측기는 국내에서 개발된 계측기와 본 연구의 공동연구기관인 일본 전력중앙연구소에서 개발된 계측기와 상호 비교하여 측정장치의 회로도 원리 및 문제점들이 개선되었다. 특히 온도보상에 따른 절연유 열화센서의 온도 보상치가 결정되어 열화센서를 이용한 판정 기준안이 작성되었고, 센서를 적용시키기 위한 대형 변압기 및 배전용 변압기에 대한 적용 방안이 실제 현장에 적용시킬 수 있는 방안이 모색되었다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-04-07
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

다기능 반도체 센서(Z-센서)

새로운 반도체 구조와 전도율을 제어하기 위한 방법을 개발하였다. 이 구조들은 자장, 온도, 문턱온도, 광, 자외선 방사, 그리고, 다른 많은 물리량을 측정하기 위해서 개발된 기존의 센서를 능가하는 기술적 특징을 가진 반도체들을 개발하기 위한 새로운 접근을 가능하게 했다. 게다가, 이러한 센서들은 출력신호를 갖는 몇몇 내부 기능변환을 할 수 있고, 부가적인 전자장치(증폭기, 신호 조절장치, 잡음 방지기 등) 없이 사용할 수 있게 한다. 이러한 다기능 센서를 Z-센서라 부르고, 여러 나라(이탈리아, 일본, 중국)에서 테스트를 했다. Z-센서는 독일, 이탈리아, 노르웨이, 한국, 일본, 중국, 미국에서 "Russian Technologies" 전람회에서 전시되었다. Z-센서 생산을 위한 실험실 차원의 기술이 Institute of Control Sciences와 "VZ 센서" 주식회사(러시아) 합동으로 개발되었다.Z-센서 기술 연구와 개발

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특허법인충정
등록일
2000-04-24
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

적외선 센서 모듈 개발

산업의 전반에 걸쳐 적외선 센서의 활용도가 높지만 적용하기까지 많은 시간이 소요된다. 통신 프로토콜을 지원하고 다양한 주파수를 선택가능하게 하여 적용분야에 빠르게 접근 가능하게 한다.쉽고 빠르게 무선 센서 관련 산업현장에 적용. 가능개발기간을 단축으로 비용절감을 이룰 수 있다.

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

유류탱크의 방폭형 누유센싱기술

유류탱크에 있어서 누유는 토양오염에 직접적인 영향을 끼치므로 누유 감지는 매우 중요한데, 액면에 따라 움직이는 float에 광섬유를 이용한 센서를 설치하여, 지속적으로 액위를 모니터링하여 누유를 감지하는 기술임.광섬유를 사용하므로, 저가의 방폭형 센서를 만들 수 있다.기존의 고가의 수입센서대체가 가능하다.

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

초전형 IR센서 개발

초전 소재 및 증착기술을 개발하고 제작된 초전소재에 대한 초전형 적외선 센서로의 이용가능성을 조사하기 위해 유전특성, 초전계수, 재료평가지수등과 같은 특성을 조사함. 적외선 센서에 쓰이는 적외선 흡수물질에 관한 공정개발 및 특성, 저항체의제작, JFET의 특성 등에 관하여 연구하고 또한 센서구조의 최적화를 위한 설계기술 개발에 대한 연구를 병행하여 수행.초전형 적외선 센서분야의 세계적인 기술산실인 우크라이나 과학원 산하 물리연구소와 상호 연구 협력하에 진행되고 있으며, 또한 본 사업의 참여업체인 동양산전은 센서 핵심 재료의 제조 능력과 이 분야의 재료기술을 보유하고 있어 yroelectric 센서의 생산 업체로는 최적의 조건을 갖추고 있어 우크라이나의 초전형 적외선 센서의 기초 및 제조 기술을 흡수 또는 개발하여 우수한 성능의 센서를 개발하고 이를 동양산전에 전수함과 동시에 생산기술을 확립할 수 있음

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

광파이버 온도/압력센서

온도센서:광흡수형 온도센서로 InP소자를 이 용하여 온도변화에 따른 InP 소자의 광흡수 특성이 변화하는 원리를 이용하여 온도측정 (온도측정범위:-30C - +150C,온도측정오차: 1C), 압력센서:광탄성 소자를 이용한 압력센서로 나트륨 glass를 이용하여 압력변화에 따른 나트륨 glass의 굴절율이 변하는 원리를 이 용하여 압력측정 광학적인 방법으로 온도,압력을 측정함으로써 기존의 온도,압력센서의 문제점(뇌서지 및 개폐서지에 의한 정도저하,각종 스파크에 의 한 화재, 축발의 가능성, 전자유도 등)을 완벽하게 해결 공업 플랜트 설비 감시용 온도,압력 센서로 활용

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

광섬유 교량변향 감지 시스템

주위 전자장에 영향을 받지 않고 내식성이 강하며 원격제어가 가능한 광섬유 센서와 개인용 컴퓨터 혹은 마이크로프로세서를 사용한 디지털 시스템을 이용하여 교량변형 감지용 광섬유 센서 시스템을 개발함. 교량변형 감지.장점 : 주위 전자장에 영향을 받지않고 내식성이 강하고 원격제어가 가능함. 단점 : 제품가격이 비싸다

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

보일러의 튜브리크검사방법 및 검사장치

보일러의 튜브누설장소에서 발하는 음향진동을 튜브외벽면측에 눌러 댄 도파봉(導波棒)을 사이에 두고 가속도센서로 검출하여, 이것을 주파수해석하여, 미리 설정한 복수의 특정주파수레벨의 초기설정조건과의 비교로 누설의 유무를 판정한다. 판정은 보일러에서 발생하는 소음의 주파수 특성을 미리 멤버쉽 관수화한 것과 검출신호와를 비교하여 퍼지이론으로 계산한다. 또한 가속도센서를 보일러외벽면에 격자모양으로 배치하므로써, 주파수레벨의 강약으로 누설위치를 판정한다.대형 보일러의 미소(微小)튜브누설을, 가속도센서와 퍼지이론을 이용하여 검지하고, 누설의 유무와 그 위치를 판정할 수 있다. 미소튜브누설의 검지에 의해 보일러의 설비피해의 확대억지를 기대할 수 있다. 보일러를 가동하고 있을 때에도 부착가능하며, 또한 퍼지이론부는 초기설정을 설치보일러에 따라 튜닝할 수 있으며, 고범위의 보일러에 적용가능하다.

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

고온용 근접센서

센서부분에 세라믹을 사용하였고, 케이블부분도 SUS등 금속관내에 세라믹 등으로 절연된 신호선을 통과시키므로써 센서부분 및 케이블부분을 내열화했다.센서부 및 케이블부가 내열이기 때문에 고온환경 및 기계에 직접 부착하는 것이 가능하다.(설비의 코스트절감)

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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밀착형 이미지센서

1. 호트다이어즈(PD)를 구성하는 광전변환층과 블로킹다이어드(BD)를 구성하는 반도체층과를 분리하여, 동일전극상에 형성한다.2. PD와 같은 수의 BD가 대칭이 되어, 매트릭스구조를 지닌 밀착이미지센서로, PD의 광전변환층과BD의 반도체층과의 용적비를 2:1에서 30:1의 범위에 형성한다.3. PD를 구성하는 광전변환층과 BD를 구성하는 반도체층의 막의 두께를 소정범위내에 제어하여 형성한다.신호전류가 크고, 감도 및 S/N비가 큰 이미지센서를 제조할 수 있다.

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특허법인충정
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2000-04-29
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

졸림 경고시스템/졸림방지 전화/상태검출 센서

운전자의 안면의 변화신호를 안면 접촉식 상태변화검출수단에 의해 검출하여 컴퓨터 기능과 무선전화기능을 장착한 장치에 송신하는 것과 그리고 이 신호를 해석수단에 의해 해석하는 것, 그리고 이렇게 얻어진 해석값과 입력 기억수단에 의해 미리 입력기억한 각성지표값과의 대소관계를 비교판단수단에 의해 비교판단하는 것, 그리고 해석값이 기존 각성지표값을 넘어 경고레벨에 달했을 때 지령수단에 의해 발하는 경고지령신호를 경고발신수단에 송신하여 경보를 울림과 동시에 미리 녹음한 음성이나 화상을 재생수단에 의해 자동 재생하여 운전자에 주의를 환기하도록 소리를 내도록 구성한 졸림경고 시스템이다.지적 자극에 의해 운전자를 각성시키는 졸림 경고 시스템으로 사용하기 쉬운 휴대전화를 이용하며 값싸고 정밀도가 좋은 상태 검출 센서를 장착하고 있다.

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특허법인충정
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2000-04-29
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퍼스널 컴퓨터 등의 도난방지장치

진동센서가 진동을 검지하면 이동 거리 추정수단은 진동센서에 의해 검지된 진동의 시간 간격 및 계속횟수를 기초로 진동의 개시 시점부터 제품의 이동거리를 추정한다. 그리고 경보발생 수단은 추정된 이동거리가 소정 거리 이상으로 되었을 경우 스피커 등을 사용하여 경보를 발생한다. 스케쥴 관리수단은 미리 설정된 요일과 시간대에만 감시하도록 지령한다.경고음에 의해 도난을 방지할 수 있다. 이동거리에 비례하여 경고음이 커지게 되므로 도난방지가 용이하게 된다. 스케쥴관리에 의해 오동작 방지 및 에너지절약 대책(전지의 마모)가 가능하다.

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특허법인충정
등록일
2000-04-29
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일체형 광전압/전류센서

광센서를 이용하여 도체의 전압, 전류를 동시에 측정할 수 있는 일체형 광전압/전류센서, 측정 가능범위 - 전압센서: 0∼1,000V, - 전류센서: 0∼3,000A, 원격측정 가능, 도체의 상시 전압, 전류 측정 가능, 전업전류 계측센서, 개폐기용 소형 광CT/PT 일반 도체의 전압, 전류센서, 소형이므로 설치장소의 제약이 없음장점: 소형, 경량, 무유도성 광센서를 이용하여 원격으로 전압 전류를 동시에 측정 가능, 단점: 광센서의 국내 미생산에 따른 고가 하나의 모듈로 광전압/전류 센서를 설계하여 원가 절감

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한국지질자원연구원
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2000-04-29
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마이크로머시닝 기술을 이용한초소형 yaw rate sensor

기존 yaw rate sensor는 기계적인 회전형 yaw rate sensor와 이를 개선한 fiber optic gyroscope가 주로 사용되어 왔는데 이들은 대략 수천에서 수백 $에 이르는 고가이고 부피가 크다는 제약으로 인해 항공기, 우주선, 선박 등의 제한된 용도에만 사용되었기 때문에 반도체 가공기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 사용하여 저렴한 생산원가로 기존의 기계적 또는 광학적 yaw rate sensor에 비해 성능면에서 뒤지지 않는 반도체형 초소형 yaw rate sensor를 개발하는 연구를 진행하고 있다. 이를 위해 현재 다결정 실리콘 재료를 사용하여 표면 마이크로머시닝 기술로 가공하는 yaw rate sensor를 설계하여 제작하고 있다. 이러한 초소형 yaw rate sensor는 GPS(Global Positioning System)의 보조 시스템으로 사용되어 자동차의 무인주행과 자동주행 시스템에 사용될 수 있으며 자세제어 시스템에도 응용될 수 있다. 또한, 가전에서는 video camera의 손떨림 방지 장치와 computer의 3D mouse, 그리고 TV의 remote control에 응용되기도 하며 산업분야에서는 이동체의 안테나 자세제어, 로봇과 무인 운반차량의 자세제어 등의 응용이 있다. 그리고 의료분야에서 진동검진과 신체마비 환자들을 위한 보조기구, 수술용 기구의 정밀제어와 휠체어의 자세제어 등에 이용될 수 있다. 1990년 160만개 정도의 수요가 발생하여 900만불의 시장을 형성한 yaw rate sensor는 이후 연평균 13%의 성장을 지속하여 1994년 현재 266만개, 1500만$의 시장으로 발전하였다. 현재 진행중인 초소형 yaw rate sensor 개발에 관한 연구가 최종적으로 완료될 경우 대략 20∼30$ 정도의 가격을 갖는 yaw rate sensor의 제작이 가능해져 높은 성장률을 나타내고 있는 yaw rate sensor 시장에서 우위를 선점할 수 있을 것이다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-08-28
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일반기술 전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)

생체 안압 계측 용 안구 방수유출률 계측기

-병원 안과에서 백내장, 녹내장등의 치료약품의 효능을 검사 할 때 안구의 안압 또는 안구의 방수 유출률 측정장비가 필수불가결한 계측장비이다. 안과에서 의사들이 동물의 생체실험에서 안구 방수 유출량을 연속적으로 자동적으로 계측할 수 있는 장치를 개발하였다. 시약 reservior를 step moter를 이용하여 높이가 자동으로 제어되도록 하였으며, 유량계측은 미세강관의 유체저항의 calibration 수치를 table로 계산하였고 일정한 유입압력을 계측하는 것은 정밀 저압용 액체 압력센서를 사용하였다.

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한국생산기술연구원
등록일
2000-08-29
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화재감지를 위한 초정밀 연기농도 감지기

-기존의 화재 감지기는 열감지식과 연기감지식 두종류가 있다. 전기 누전으로 인한 화재의 경우 실제 열과 빛을 발생하는 화재 이전에 전선에서 발생하는 열에의해 피복이 녹고 눈에 보이지 않는 연기가 발생 한다. 이러한 현상을 감지 한다면 실제 화재 발생 수분전에 감지가 가능하고 , 조기 진화 및 화재 방지가 가능하다. 하지만 기존의 연기 감지식 화재 감지기는 연기농도 1% Obs/m 의 정밀도에 약 10 ~ 15 % Obs/m에서 작동되어 조기 감지에는 미약하다. 이번에 개발한 연기감지 장치는 크세논 램프 섬광을 이용하여 연기 입자에서 산란되는 미약한 광량을 Photo diode를 이용하여 매우 정밀하게 초저밀도의 연기농도를 감지한다. 연구 결과 0.05% obs/m 의 연기농도를 감지하여 기존의 감지기와 비교하면 20 배의 정밀도가 향상되었다

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한국생산기술연구원
등록일
2000-08-29
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