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일반기술 화학공정 > 나노 패터닝·나노구조 제어·극미소 기전시스템 기술

점착방지막이 증착된 스탬프 및 이를 이용한 나노 패턴 전사 방법

나노 임프린트와 포토리소그라피 공정을 접목시킨 Combined Nanoimprint & Lothography (CNP) 방법에 있어서, 패턴이 형성된 투명 기판의 일부에 금속막이 도포되어 이루어진 하이브리드 마스크 몰드(HMM) 위에 점착 방지막이 전면적으로 도포된 점착방지 HMM (AHMM) 스탬프를 이용하면 패턴 전사 과정에서 AHMM 스탬프와 기판의 분리를 용이하게 하여 스탬프의 패턴을 온전하게 기판으로 전사할 수 있다. 본 발명에 의하여 제작된 AHMM 스탬프를 이용하여, 스탬프 위에 자기조립막을 코팅하여 스탬프와 기판을 기계적으로 임프린팅하고 또한 UV를 조사하여 전사층을 경화시키고, 스탬프와 기판을 분리하여 현상액으로 전사층을 제거하는 과정을 거쳐서 스탬프의 패턴을 기판에 결점없이 패턴을 전사할 수 있다.본 발명은 기존 발명에 비해서 투과방지막을 도포함으로써 기존의 포토리소그라피 공정을 나노 임프린트에 접속한 것이며, 점착방지막을 스탬프에 증착함으로써 기판과 스탬프의 분리를 용이하게 하여 결점없는 패턴 전사를 이룰 수 있음. 그리고 본 발명에 의하여 제작된 AHMM 스탬프는 스탬프 위에 도포할 자기조립막의 성질을 더욱 소수성으로 바꿀 수 있다. 이러한 소수성 특성은 CMP 방법에 의하여 전사층이 도포된 기판에 스탬프의 패턴을 전사할 때, 결함없는 패턴을 전사할 수 있다는 장점을 지니고 있다.

보유기관

한양대학교

등록일

2006-05-22

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일반기술 화학공정 > 나노 패터닝·나노구조 제어·극미소 기전시스템 기술

자성을 띄는 탄소나노튜브 제조 및 배열방법

1. 기술의 개요 목적 : 자성원소를 씨드(Seed)로 사용하고 씨드를 성장의 핵으로 사용하여 자성을 띄는 탄소나노튜브를 용이하게 정렬하기 위함이다. 구성 : 챔버내에 음극과 양극을 준비하여 양극은 자성체 씨드가 포함된 흑연봉인 단계, 음극 및 양극에 전압 및 전류를 인가하여 아크방전시키는 단계, 씨드를 성장의 핵으로 사용하여 탄소나노튜브를 성장시키는 단계로 구성된다. 효과 : 탄소나노튜브 끝단의 씨드에 자성을 부여하여 탄소나노튜브를 용이하게 정렬하여 전자방출원 및 전계방출표시장치 등에 응용된다.2. 기술의 특징탄소나노튜브는 미세한 크기로 인하여 균일한 배열이 어렵다. 중국특허에서는 나노입자에 Fe, Ni, P, B, Cu, Nb 등을 혼합하여 연자성을 갖는 나노결정을 제조하는 방법을 제안하였으나, 단순히 자성을 갖는 연자성체 결정을 제조하는 방법일 뿐이며 본 기술의 발명과는 큰 차이가 있다. 본 기술은 자성 탄소나노튜브를 정렬하는 방법에 관한 기술로 자성물질을 포함하는 막 위에 씨드가 자화된 탄소나노튜브를 배치하면 씨드가 자성물질을 향하고 튜브의 길이방향이 막과의 접합면에 수직이 되도록 하여 실질적으로 수직하게 정렬된다. 그 후에 이웃하는 탄소나노튜브 사이 및 막 상에 결합제층을 형성하여 상기 탄소나노튜브의 정렬상태를 고정시킬 수 있다. 이러한 결합제는 탄소나노튜브의 덩어리지는 현상을 방지하기 위한 완충제 역할을 할 수도 있다.

보유기관

포항산업과학연구원

등록일

2008-08-27

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일반기술 화학공정 > 나노 패터닝·나노구조 제어·극미소 기전시스템 기술

멤브레인 잉크젯 프린팅 방법에 의한 은/염화은 미세 기준 전극 제작 방법

본 기술은 전기 화학 센서용 박막형 미세 기준 전극 제조방법에 관한 것으로서, 안정성을 향상시키기 위한 멤브레인을 잉크젯 프린팅 방법으로 선택적으로 형성하여 전기 화학 센서용 미세 기준 전극 제조방법에 관한 것이다.본 기술에 따른 멤브레인의 잉크젯 프린팅에 의한 미세 기준 전극의 제작은 소형화된 전기 화학 센서에 적용 가능하다. Frost and Sullivan, "World Biosensors Marksets"에 의하면 2010년 바이오 센서 시장은 40억불정도 될 것으로 예상하고 있다.멤브레인의 잉크젯 프린팅에 의한 미세 기준 전극의 제작은 기반 기술로서 여러 전기 화학 센서에 적용할 수 있기 때문에, 기업에서 많은 부가 가치를 창출할 것이라 예상한다.본 기술에 따른 소형화된 미세 기준 전극의 제작 방법은 소형화된 전기 화학 센서에 직접화하여 소형의 전자 부품 제작이 가능하다.본 기술은 잉크젯 프린팅에 의해 선택적으로 멤브레인을 코팅을 하고, 이를 미세 기준 전극이 포함된 미세 유동 채널 제작에 적용한 것이 특징이다.

보유기관

한국산업기술진흥원

등록일

2008-10-22

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