기술검색

일반기술 화학공정 > 특수공정 기술

저압력 가스 분석을 위한 시스템 구축 기술

진공 시료가스는 총량이 적거나 압력이 낮아서 일반적인 가스분석인 GC 또는 전용 분석기에 의한 측정이 불가능하다. 따라서 저진공 상태의 시료를 처리하고 측정할 수 있는 주입시스템과 분석 검출기가 필요하다. 본 기술은 압력 및 부피가 조절되는 inlet system을 통하여 분자의 이온화가 발생하는 질량분석기로 정량적으로 가스 시료를 주입하여 저 진공 가스 조성 성분의 분압을 정량적으로 측정하는 장치제작에 대한 기술이다. - 24V DC 전압에 의하여 개폐가 조절되는 밸브를 통하여 1cc 이하의 일정 시료를 취할 수 있도록 sampling chamber, 질량분석기에 0.8 ～ 0.005 torr 압력으로 시료를 주입할 수 있는(압력게이지가 장착된 main sampling chamber 및 molecular flow가 형성될 수 있음) 극 미세 pin hole을 가진 single 혹은 double injection port가 장착되는 장치로 - 시료가스의 주입 압력 및 시료 전 처리에 필요한 turbo 및 rough pump가 적절하게 구성되어 저 진공 가스 시료 및 다양한 시료중의 가스 성분을 정량적으로 분석할 수 있는 시스템을 제작하는 기술이다. ▶ 시스템 구성 : 시료 전처리 장비가 장착되고, 저진공 시료를 정량 분석할 수 있는 시스템 구축 ☞ 저진공 시료 분석 장치 세부 구성 내용 - 고진공 시료 전처리 및 검출기로 주입하는 장치 - 반도체 관련 LCD, 유기 EL 및 PDP 내부 가스 시료 포집 장치 - 시료 전처리 부분과 주입부분의 절대 압력 측정 장치 - 저진공 시료 가스 중의 성분가스별 분압 측정 시스템 - 시료 전처리 시스템은 자동 밸브 시스템을 장착 - 절대 진공측정기(Baratron gauge)를 검출기 주입부분(Max 1 torr)과 시료 전처리 부분(Max 760 torr)에 장착하여 총량 정량이 가능하게 함 - 저 진공 가스 시료를 QMS를 사용하여 분석을 할 경우 본 기술이 적용되는 시료 주입 시스템의 장착 및 전처리 시스템이 없을 경우 정확한 분석이 불가능함, 따라서 반도체 및 display 관련 제품중의 가스 분압의 정량적 data를 산출하기 위하여 본 기술관련 시스템이 장착되어야 함. - 국내외를 비롯하여 이와 같은 시스템이 장착된 저 진공가스 분석 장비의 보급이 전무하여 이들 장치의 기술이전으로 즉각적인 국내 및 외국 관련 산업체에 보급이 가능함. - 기본적인 시스템 제작기술을 기반으로 다양한 종류 및 형태의 시료중의 모든 가스 성분의 분석이 가능함으로 가스분석기기로서의 선택성이 대단히 높음 - 반도체, 전구, display 관련 산업체의 다양한 수요가 예상됨(년 5대 이상) - 상품화 후 년 간 20 % 이상 성장 예상 - 반도체 소자 및 관련 제품 중의 내부 저진공 가스분석(제품 개발 및 품질관리) - Display 관련 PDP 및 LCD panel 중의 가스 성분 분석 - OLED 소자중의 극 미량 가스 분석을 통한 신제품 개발 공정에 활용 - Scrubber 효율측정 및 반도체 관련 장비의 성능평가 - 조명기기 개발과정에서의 저 진공 조명가스 분석에 활용 - 반도체 칩등의 고체 시료에서 발생하는 가스의 분석에 활용 - 산업체 공정용 가스중의 H2를 포함하는 무기가스 성분의 분석에 활용

보유기관

한국표준과학연구원

등록일

2006-06-12

상세보기

일반기술 화학공정 > 특수공정 기술

광 배향성을 갖는 액정 배향막

광 배향성을 갖는 액정 배향막 (Liquid Crystal Photo Orientated Layer) :본 발명은 광배향성을 갖는 액정배향막으로서, 폴리실록산과 쿠마린기의 유도체를 포함하는 고분자 소재로 이루어진다. 폴리실록산 소재의 배향막에 선형 편광된 UV를 조사했을때 고도로 균일한 배향이 이루어지며, 선형 편광된 UV조사량을 변화시켜 예비경사각의 변화를 유도하는 것이 용이하다.광배향성을 갖는 액정 배향막으로서, 1) 폴리실록산과, 2) 쿠마린기의 유도체로 구성된 액정 배향막이 있다.제1도는 본 발명에 따른 액정 배향막을 적용한 액정판의 단면도, 제2도는 배향막의 광배향 도해를 나타낸 예시도, 제3도는 본 발명에 따른 배향막의 건조시간과 UV조사량에 따른 예비경사각의 변화를 나타내는 그래프.청구항1 광배향성을 갖는 액정 배향막으로서, (1) 폴리실록산과, (2) 쿠마린기의 유도체로 구성된 액정 배향막.청구항2 제1항에 있어서, 폴리실록산이 -C6H5(페닐) 또는 -CXH2X+1 (x는 1 내지 10이다)의 치환체를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막. 청구항3 제1항에 있어서, 쿠마린기의 말단기로서, 또는 -CXH2X+1 (x=1 내지 10이다)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고분자 소재. 청구항4 하기 일반식의 고분자 소재로 이루어진 광배향성을 갖는 액정 배향막; (여기에서, R1=-C6H5(페닐) 또는 -CXH2X+1 (x는 1 내지 10이다)이고, n=10 내지 100이며, m=1,3,5 또는 7이고, R2= 이다(여기에서, R3= 또는 -CXH2X+1 또는 -CxH2x+1(x는 1 내지 10이다)이다).

보유기관

대구기술이전센터

등록일

2006-11-08

상세보기