휴대용산소센서제조기술
용도 : 고농도(0.1-25%)산소영역에서 사용가능한 산소센서 제조기술임. 휴대가 용이한 한계전류방식에 의한 홀-형의 구조를 갖음* 특징 : 지르코니아 세라믹스의 닥터블레이드 성형기술, 코디어라이트 복합재료를 사용한 세라믹쉬트의열충격저항성 향상, 스크린프린팅에 의한 소형 세라믹 히터의 일체화 기술등을 이용한 소형화된 고농도의 산소농도 측정에 관련된 제조기술임.
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- 2000-08-29
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27 / 866 페이지유리창내외면청소기
- 고층건물등과 같이 실외에서 우리창을 닦을수가 없는 곳에서 유리창의 내외면을 실내에서 청소구의 손잡이를 잡고 닦거나, 리모콘을 이용하여 안전하고 용이하게 닦을 수 있게한것- 호우스의 감개를 창문틀 상부에 고정하거나 레일을 따라 이동되게 구성하고 호우스 감개의 호우스를 실외기(외부용청소구)에 연결하여 실외기가 지상으로 떨어지는 것을 방지하였고, 세척수를 고급 배수되게한 실내외기를 유리면에 흡착되게 구성하고 실내기를 리모콘으로 조정할수 있게 구성함으로서 유리창을 실내에서 안전하고 용이하게 닦을수 있으며 세척수를 호우스를 통해 실내의 하수구등으로 흐르게하여 아래층 또는 지상으로 떨어지지 않으므로 유리창에 대한 물청소를 수시로 할 수 있어 항상 깨긋한 유리면을 유지할 수 있으며 리모콘으로 조정하여 유리창을 닦을수 있어 사용자가 힘들이지 않고 유리창을 닦을수 있다.
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- 2000-08-29
자동조리기계
본 발명은 특히 시간에 쫓겨사는 바쁜 직장 사회인들에게 신속하게 대용 주식을 제공해주기 위한 자동 햄버거조리기로서 종전의 생활방식을 보다 윤택하게 하고 아울러 제한된 시간을 유용하게 활용할 수 있는 최적의 생활도구로서 구성된 기계장치임o 작동원리를 네단계로 나누어 설명하면, 1. 10개들이 적재실에 스위칭을 하면 문이 자동으로 열리고 하나의 빵이 아래오 이동됨 2. 내려진 빵은 세로로 놓인 상태에서 톱칼에 의해 자동으로 절반 슬라이싱 되어 이동됨 3. 내려진 빵이 맨 하단에 오게되면 이때 자동으로 내용물인 고기튀김 작업이 시작됨 4. 고기튀김작업이 완료되면 fork에 의해 튀김고기가 건져져서 활송장치 에 넣어지면 자동으로 빵속으로 들어가는 동시에 완성된 햄버거가 나오게 됨
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- 2000-08-29
SOD소자용 다이아몬드 박막의 응력 측정 및 응용
SOD(Silicon on Diamond)소자란 SOI(Silicon on Insulator)소자에서 출발된 개념의 소자형태이다. SOI는 기존의 MOS 소자와는 달리 절연체위에 소자가 존재하여 소자내 절연특성을 향상시켜, 소자사이의 간격을 좁힙으로서 고밀도, 고성능 반도체소자의 개발에 중요한 역할을 하고 있다. 실재로 최근에 개발된 16M DRAM등의 반도체들이 SOI를 이용하여 개발되고 있다. 일반적으로 SOI소자의 경우 절연체로 SiO2등의 산화물을 사용하고 있다. 그러나 절연체로 사용되는 산화물의 열발산에 한계가 있어서 소자의 고밀도화, 고성능화에 장애가 되고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 절연체로 다이아몬드를 사용하는 것이 바로 SOD이다. 다이아몬드는 열전도성이 은이나 구리등의 금속보다 뛰어날뿐만 아니라 현재 존재하고 있는 재료중 가장 높은 범위의 저항값을 가지는 재료로, 고성능화에 따른 열발생이나 전기절연의 문제를 해결할 수 있는 가장 촉망받는 소자이다. 박막에 발생하는 응력은 기판을 변형시켜 곡률을 발생시키고, 박막자체의 파괴를 유발시킨다. 특히 박막다층화되는 경우 복잡한 경향의 응력이 발생하여 전기적 특성이나 기계적 특성에 영향을 줌으로써 원래 의도하던 성질을 왜곡시키는 역할을 하게된다. 전도성 박막의 경우 금속에서 발생되는 electromigration 현상에 의해 void를 형성시켜 전도성질을 감소시키거나 기계적인 파괴가 발생된다. 특히 박막의 공정이 고온, 장시간이거나, 다층의 박막이 필요한 경우 박막에 발새되는 응력을 해석하지 않으면 소자의 제조과정에서 치명적인 오류가 발생된다. 따라서 모든 소자의 개발에 있어서 박막의 응력해석이 수반되어야, 원하는 성질과 성능을 얻을 수 있다. 박막의 응력을 해석하기 위해서는 박막의 응력을 측정해야한다. 일반적으로 박막의 응력은 기판에 발생되는 곡률을 이용하거나, 박막이 금속이 아닌 경우 Raman Spectroscopy의 Peak의 이동을 이용하기도 한다. 또, 응력에 의해 발생되는 격자내 격자상수의 변화를 XRD 방법으로 측정하여 응력을 측정하기도한다다이아몬드 박막의 경우 고온, 장시간의 증착조건과 큰 값의 탄성계수로 인해 발생하는 응력의 양이 다른 박막에 비해 상대적으로 크다. 따라서, 박막에 발생되는 응력을 측정하고, 해석함으로써 박막에 발생되는 응력을 완화시키는 것이 SOD소자의 개발에서 중요한 문제점으로 떠오르고 있다. 박막내 응력의 제어는 최적 조건의 응력상태를 만들어 이후 소자의 제조공정이나, 소자의 특성을 향상시키는 중요한 의미를 가지고 있다.
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- 2000-08-29
저수조 탱크 청소 장치
본 고안은 저수조 탱크의 내부면을 청소하는 청소장치에 관한 것으로서 저수조 탱크내의 물을 저장한 상태로 이동하면서 회전 작동하는 롤 브러쉬에 의해 탱크내의 물 때 및 녹물의 농축물을 효과적으로 제거하여 분리하되 상기 롤 브러쉬가 탄발수단에 의해 일정 가압력을 받게 되므로 바닥면이 고르지 않거나 단턱이 형성된 부위도 용이하게 이동하면서 탱크 내부의 물 때 및 녹물의 농축물을 더욱 효과적으로 제거하게 되고 또한 처음 펌프에 의해 흡입되는 물때 및 녹물과 같은 농축물이 많이 포함된 물은 외부로 배출하고 적게 포함된 물으 정화부에 의해 정화한 상태로 내부로 재공급하므로 물의 소비를 최소화하여 경제성을 극대화하면서도 청소효율 및 그 정화효율을 최대화하게 되어 소비자에게 위생적인 상태의 물을 만족할 수 있게 제공하게 되고, 청소작업 중에도 소비자는 단수되지 않아 탱크 내의 물을 계속적으로 사용하게 되는 편리성을 제공하는데 그 특징이 있다.
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- 2000-08-29
진동/소음 측정에 의한 기계류의 고장진단
-기계계에서 발생하는 진동과 소음은 작업환경의 공해 이전에 기계의 운전상태 즉, 노화여부와 고장유무를 표시하는 좋은 지표이다. 본 연구실에서는 공작기계, 섬유기계, 프레스, 펌프, 컴프레서등 일반산업기계, 진동과 소음을 가속도계, 마이크로폰, gap snensor등 센서를 이용하여 진동과 소음을 측정함으로서 해당 기계의 운전상태, 즉 고장유무와 노후도를 알아냄으로서 수리, 부품교체, 혹은 설계변형 여부 판단하는 방법을 연구하고 있고, 그 간 실제 산업현장에서 다수의 경험을 축적한 바 있다. 대부분의 산업현장의 문제는 학문적 이론해석 및 계산만으로는 충분하지 않은 공차(tolerance), 마찰(friction), 측정렬불량(misaoignment), 조립오차 등의 비선형(nonliner)문제로서 실제 운전하고있는 기계의 거동을 측정함으로서 문제의 본질을 파악하고 이에 대처하는 방안을 마련하여야 한다. 이를 위해 본 연구실에서는 혀장을 직접 방문 진동, 소음등 기계의 운전상태를 다각도로 측정, 기록하고 현장 혹은 실험실에서 실측자료를 분석하여 기계의 운전상태를 분석함으로서 고장유무를 진단하고 해당 대책을 마련한다.
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- 2000-08-29
충격 손상과 관통저항 측정 및 평가 기술
-구조물에 질량을 가진 물체가 부딪치면 구조물은 동적 반응을 보이게 되고, 심각한 경우 구조물의 안전에 위험을 초래하게 되며, 구조물의 건전성을 평가할 때, 부재의 충격하중에 대한 강도를 고려하지 않으면 안된다. 구조물의 형상이 복잡해지면 응력장의 변화를 실험적으로 가시화하는 것이 극히 어려우므로 수치해석적인 방법에 의한 동적거동해석을 필요로 하게 된다. 본 연구에서는 수치해석적인 방법으로 충격하중에 의해 형성되는 응력장의 분포 양상 및 시간의 흐름에 따라 형성되는 응력장의 크기를 해석하고, 응력집중 부위를 고찰하여 구조물의 충격손상 및 관통저항을 예측할 수 있는 프로그램을 개발하였다.
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- 2000-08-29
맛사지 겸용 목욕용 패드
소형 건전지(충전용 포함)로 회전하는 DC 모터에 진동 유니트를 붙이고 이것을 작은 (비눗갑 정도의 싸이즈) 케이스에 넣고, 이위에 이태리 타올등을 씌워목욕중에 맛사지를 하면서 힘들이지 않고 때를 밀 수 있는 맛사지 겸용 목욕용 패드1. 진동 유니트의 진동에 의하여 맛사지 효과와 동시에 때를 밀 수 있도록 되어 있슴.2. 케이스는 방수가 잘 되어 있어 목욕중에 사용할 수 있슴.3. 이태리 타올을 벗기면, 평소에도 맛사지기로 사용할 수 있슴.
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- 2000-08-29
선택적 열처리 장치
시료의 부분적인 열처리가 불가능하여 전체를 열처리 함으로쏘 연처리가 불필요한 부분의 전기적, 물리저그 기하학적 변형이 발생하는 종래기술의 문제점을 극복하기 위하여 열처리시 시료의 특정 영역의 선택은 물론 주입되는 불순물 중 특성불순물의 선택과, 시료의 증착 박막중 특정 박막만을 선택적으로 열처리 할 수 있도록 열원에서 발산되는 빛을 집속하여 필터를 통과시킨후 소정의 마스크를 거쳐 시료에 조사되도록 한 장치반도체 제조장치 중 특히 선택적 열처리 공정을 수행할 수 있도록 한 열처리 장치
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- 2000-08-29
수력회전식 다목적 세척기
본 발명은 수력회전시 다목적 세척기에 관한 것으로 무동력의 원리로 세척시 사용하는 수도, 지하수, 옥상탱크물통의 관수로서 구동팬을 회전시켜 3차에 얻어지는 구동력으로 세척반을 회전시켜 세척의 목적을 달성하며 수평회전식과 수직회전식의 그 기능으로 겸용이며, 물, 인력, 시간, 세제 등 절약적인데 더 큰 특징이 있음.
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- 2000-08-29
스프링을 이용하여 보행이나 오르막길 또는 경주할시 힘을 덜들이고 갈 수 있는 기계
본 고안은 한쪽발에 체중이 실렸을 때 그 체중의 무게로 스프링을 압축시켰다가 반대편 발에 체중이 옮기려할 때 체중이 실렸던 발에서 힘을 내는데 그때 스프링도 그 발에 힘이 가산되므로 힘을 덜들이고 발을 옮길수 있으며 또 보폭을 넓힐 수 있음
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- 2000-08-29
반도체 공정에서의 이탈 처리 자동 분석 시스템
-'90 년대 후반기에 들어서 세계 반도체 시장은 급격한 변화를 겪고 있다. 기존 업체의 대규모 설비 증설과 신규 업체들의 연이은 시장 진입에 의한 DRAM의 공급 과잉으로 더욱 치열한 가격 경쟁을 벌이게 되는 등 위기 의식이 고조되고 있는 현실이다. 이에 따라 반도체 디바이스의 회로 패턴은 미세화, 고집적화가 그리고 생산 현장에 있어서는 보다 높은 생산 수율이 요구되고 있다. 현재 약 440 여개에 이르는 단위 공정을 갖는 16메가 DRAM은 각 생산 공정이 끝나는 즉시 계측 공정을 통하여 엄격한 품질 관리를 실시한다. 이러한 품질관리를 통하여 불량률을 낮추고 높은 수율을 목표로 한다. 현재 반도체 산업현장에서는 이탈이 발생하였을 경우 숙련된 엔지니어의 판단에 전적으로 의존하고 있다. 그러나 현재 우리나라 반도체 생산현장에서 숙련된 엔지니어의 수는 극히 부족한 상태이므로 이들에 의한 이탈처리에는 많은 어려움이 존재한다. 특히 이들의 부재시, 혹은 아직 숙련되지 않은 엔지니어가 이탈처리를 관리할 경우 많은 판단착오를 일으키기 쉽다. 그러므로 이를 방지하기 위하여 전문가 시스템의 도입이 필수적이다. 즉 숙련 엔지니어의 지식을 지식 베이스(Knowledge Base)화하고 이를 바탕으로 Rule을 구성한 후 추론엔진을 구축하면 숙련 엔지니어에 대한 의존도가 낮아지고 이탈처리 관리가 매우 수월하게 된다. 따라서 본 연구에서는 숙련 엔지니어의 지식을 최대한 도출하여 지식 베이스를 구축하고 최적의 Rule을 구성하여 추론 결과가 최대한 숙련 엔지니어의 판단에 근접하는 것을 목표로 한다. 이를 통하여 빠른 이탈처리, 엔지니어의 판단착오 방지, 미숙련 엔지니어의 이탈처리 관리 등의 효과를 얻고 궁극적으로는 높은 수율을 얻고자 한다.
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- 2000-08-29
반도체 얼라이너 개발
-본 연구에서 개발된 단축 얼라이너는 반도체 공정에 사용되는 클러스터툴로써, 실리콘 웨이퍼를 정렬하는 데 사용된다. 웨이퍼를 척(chuck)에 올려놓고 1회전시키는 동안에 고휘도 LED와 CCD 라인 센서를 이용하여 웨이퍼의 중심 및 fiducial mark의 위치를 판단하고 이를 정해진 방향에 위치하도록 정렬한다. 이 장비로는 직경 150mm 웨이퍼를 기준으로 0.3도 이하의 표준편차를 갖고 fiducial mark를 찾아낼 수 있으며, 편차는 15마이크로미터 내의 정밀도로 구할 수 있다. 얼라인 시간은 위치 정렬을 포함하여 평균 4.1초밖에 소모되지 않는다. 개발된 얼라이너는 고온의 웨이퍼를 진공중에서 다루기 때문에 일반 얼라이너와 같이 진공빨판을 사용하여 웨이퍼를 chuck에 고정시키지 못하고 단지 3-4개의 금속핀위에 올려놓고 회전하기 때문에, 회전하는 동안에 웨이퍼가 척(chuck)에 대해 상대적으로 움직이지 않도록 해야 한다. 이로 인해 얼라이너의 최대가속도가 제한되며, 또한 웨이퍼의 미소 진동을 방지하기 위한 척과 서보제어기가 필요하였다. 또한, 진공을 유지하기 위해 회전축에는 실링이 설치되는데, 이로 인한 점착-미끄럼 마찰로 인해 서보의 제어가 더욱 어렵게 된다. 또한 마찰특성이 시간에 따라, 또는 실링 설치상태에 따라 달라질 수 있기 때문에, 마찰 특성변화에 따른 제어능력이 필요하였는데, 본 연구에서는 시지연제어를 사용하여 이에 대응하였다. 본 시스템의 개발 기술이 누적된 기술은 반도체장비를 비롯한 초정밀 위치제어기술, 진동을 줄이는 구동 시스템 설계 기술, 실링등으로 인한 마찰 및 마찰변화에 대응하는 서보제어기술, 비접촉 센서인 CCD 라인센서를 이용하는 측정기술 등이다
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- 2000-08-29
고온초전도 마이크로웨이브 디바이스 개발
고온초전도 마이크로웨이브 소자들중 공진기와 필터를 개발하기 위하여, 박막제조 분야에서는 RF-sputtering법으로 임계온도가 86K, 임계전류가 1X106 A/㎠의 좋은 특성을 갖고 있는 박막을 제조하였으며, 공진기 분야에서는 450MHz meander 라인 공진기, 7GHz 라인과 링공진기를 설계 및 제작하였다.공진기 특성은 Q-factor가 8,000정도이며, 표면저항은 약 0.4mΩ정도를 얻을 수 있었다. 필터분야에서는 가장 기본적인 구조이면서도 필터의 여러 가지 특성을 연구할 수 있는 parallel-coupled 형태의 설계 및 분석기술을 확보할 수 있었다. 또한 본 연구기간 동안에는 공진기와 필터 설계기술 확보 뿐만 아니라, 저온 측정시 가장 중요한 부분중의 하나인 마이크로웨이브 package를 제작하였다.
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- 2000-08-29
생체 안압 계측 용 안구 방수유출률 계측기
-병원 안과에서 백내장, 녹내장등의 치료약품의 효능을 검사 할 때 안구의 안압 또는 안구의 방수 유출률 측정장비가 필수불가결한 계측장비이다. 안과에서 의사들이 동물의 생체실험에서 안구 방수 유출량을 연속적으로 자동적으로 계측할 수 있는 장치를 개발하였다. 시약 reservior를 step moter를 이용하여 높이가 자동으로 제어되도록 하였으며, 유량계측은 미세강관의 유체저항의 calibration 수치를 table로 계산하였고 일정한 유입압력을 계측하는 것은 정밀 저압용 액체 압력센서를 사용하였다.
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- 2000-08-29
고압 및 저압선로용 결상경보 재투입장치
o 특고압(저압) 전력선의 이상유무를 감시하는 장치로서 결상(휴즈단선), 정 전,누전,과전류,과전압,저전압,역상,불평형전압등의 전기이상 발생시 자동으 로 전원을 차단하고 즉시 담당자에게 음성,호출,전화,휴대폰으로 고장내용 을 정확히 구분하며 알려주며 정상전원이 회복되면 다시 알려주고 전원을 재투입해주는는 장치로서 소방,가슬,도난시스템 동작유무도 알 수 있는 세 계에서 유일한 통합보호계전기시스템 o 차단기(VCB,ACB,MCCB)와 연계하여 선로차단 및 재투입동작이 수행되므 올 무인운전이 가능함 o 저압측에 취부하여 고압측결상(휴즈단선)시 2차측 모타 유기전압이 발생하 면 기존 국내외 계전기는 전압검출방식을 택하여 동작이 불확실했으나 이 런 결점을 완벽하게 보완하여 역전압에 무관하게 위상 검출방식으로 프로 그램화하여 정확히 결상을 검출함 o 전용 P.T가 불필요하며 POR, UVR, OVR등을 일체화한 통합보호계전기시 스템 o 누전, 과전류계전기는 설정치의 60-80%가 되면 1차경보(음성,호출)하고 설 정치의 100%에 도달하면 CB를 차단해주므로 화재, 감전사고를 사전에 예 방할 수 있음(1차경보는 선택사항임) o 고장내용을 구분하여 음성, 호출, 전화, 휴대폰으로 알려주므로 전혀 모르 는 미숙련자도 고장내용을 알 수 있음 o 고압 및 저압설비의 용량에 무관하게 설치 가능함 o 고장신고기억(16-99회로) 및 일자, 시간을 알 수 있으며 고장내용을 프린 트로 출력이 가능함 o 각기능별 확장이 용이하며 지시계기가 내장되어 있어 원가절감 효과가 큼
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- 2000-08-29
금속유도 측면결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막트랜지스터
평판 디스플레이 분야는 전자산업에 있어서 미래를 선도해 나갈 수 있는 기술분야로 평가되고 있으며 그중 LCD(Liquid Crystal Display)가 가장 유력한 방법으로 평가되고 있다. 90년도 들어서 LCD기술은 응답속도가 빠른 TFT형 LCD 가 주류를 이루게 되었다. 액정을 구동하는 TFT Matrix 제조기술로, 현재 양산에는 대면적 증착과 저온공정(＜400℃)이 유리한 비정질 실리콘을 사용하고 있다 그러나, LCD의 수율향상과 속도향상을 위해서는 다결정 Si-TFT가 필수적인데 재면적의 LCD를 위해서는 저온에서의 공정 방법이 개발되어야하는 문제점을 지니고 있다.본 연구는 금속 유도 측면 결정화(Metal-Induced Lateral Crystallization; MILC)법을 이용한 비정질 실리콘의 결정화 온도를 500℃ 이하에서 대면적의 유리기판위에 다결정 Si-TFT를 형성하는기술이다.. 금속 유도 측면 결정화란 비정질 실리콘 위에 선택적으로 증착된 얇은 금속박막을 형성한 뒤 500℃ 정도의 낮은 온도에서 열처리하면 금속 막이 증착되지 않은 측면 영역의 비정질 실리콘이 결정화되고 이 결정질 실리콘에는 금속오염이 없고 큰 결정립을 갖는 다결정 실리콘 박막을 얻을 수 있어 우수한 전기적 특성을 보인다. MILC 방법으로 500℃의 온도에서 유리기판위에 형성한 다결정 실리콘 TFT는 드레인 전압 20V에서 <1nA/1m의 낮은 누설전류, 전자이동도 100cm2/sec 이상의 특성을 보인다.
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- 2000-08-29
표면확산에 의한 Ba3Cu5Oy/Y2BaCuO5 경계면에서 Y1Ba2Cu3Oy 후박막제작방법
박막의 특성을 이용하여 고온초전도 조셉슨 접합 소자 즉 tunable Josephson oscillator, SQUID, RSFQ, mixer, sensor 등에 이용할 수 있고, 박막 자체의 특성을 이용하여 antenna, filter, delay line, phase shifter, transmission line 등에 활용가능저렴한 가격과 쉬운 공정으로 고온초전도 박막을 제작할 수 있는 기술
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-08-29
화재감지를 위한 초정밀 연기농도 감지기
-기존의 화재 감지기는 열감지식과 연기감지식 두종류가 있다. 전기 누전으로 인한 화재의 경우 실제 열과 빛을 발생하는 화재 이전에 전선에서 발생하는 열에의해 피복이 녹고 눈에 보이지 않는 연기가 발생 한다. 이러한 현상을 감지 한다면 실제 화재 발생 수분전에 감지가 가능하고 , 조기 진화 및 화재 방지가 가능하다. 하지만 기존의 연기 감지식 화재 감지기는 연기농도 1% Obs/m 의 정밀도에 약 10 ~ 15 % Obs/m에서 작동되어 조기 감지에는 미약하다. 이번에 개발한 연기감지 장치는 크세논 램프 섬광을 이용하여 연기 입자에서 산란되는 미약한 광량을 Photo diode를 이용하여 매우 정밀하게 초저밀도의 연기농도를 감지한다. 연구 결과 0.05% obs/m 의 연기농도를 감지하여 기존의 감지기와 비교하면 20 배의 정밀도가 향상되었다
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-08-29
DSP를 이용한 실시간 영상 추적 시스템
-영상추적 시스템은 카메라나 적외선센서 등의 영상획득장치로부터 얻은 시변영상에서 표적의 이동정보를 추출하여 그 표적을 지속적으로 추적해 나가는 장치이다. 이에 사용되는 추적기술은 차량, 항공기 등의 자동 감시 및 탐지, 기상 관측, 교통량 측정 등의 다양한 분야에 응용될 수 있다. 실시간으로 입력되는 영상을 바탕으로 추적 알고리듬을 수행하려면 고속의 연산 기능이 요구된다. 본 연구에서는 Texas Instruments 사의 Digital Signal Processor인 TMS320C31을 사용하여 실시간으로 영상 추적 기능을 수행하는 추적 시스템을 구현하였다. 구현된 시스템은 CCD카메라와 DSP 보드, NTSC 모니터 그리고, 카메라 구동부로 구성된다. 카메라로부터의 입력영상은 실시간으로 획득(Capture)되어, DSP 보드에서 처리되며, 표Q의 이동정보 및 추적상황은 모니터에 출력된다. 또한, 카메라 구동기능을 갖추어 표적의 이동에 따라 자동적으로 카메라의 각도 조절이 이루어 지도록 하였다.
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-08-29