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전기·전자 > 영상·음향기기
격자 연결 SIMD(Single Instruction Stream - Multiple Data Streams) 구조를 갖는 SliM(Sliding Memory Plane) 어레이 프로세서는 기존의 SIMD 어레이 프로세서가 갖는 근접통신 시간부담(Inter-Processing Element(PE) Communication Overhead), 데이타 입출력 시간부담(Data I/O Overhead), 복잡한 상호 연결망 등 단점들을 극복하고 성능 향상을 위해 제안되었다. 본 연구에서는 SliM 어레이 프로세서를 구현하기 위해 5 x 5 PE들이 격자연결로 구성된 SliM 이미지 프로세서 ASIC(Application Specific Integrated Circuit) 칩을 설계 및 구현하였다. SliM 이미지 프로세서 칩은 통신, 데이타 입출력 및 연산을 동시에 수행할 수 있기 때문에 통신 및 데이타 입출력 시간 부담이 크게 감소한다. 특히 Sliding 통신 방식과 Step 통신 방식은 효율적인 근접/비근접통신을 지원하며 새로운 곱셈 알고리즘을 제안하여 곱셈기를 사용하지 않고 효율적인 곱셈 연산을 수행하도록 설계하였다. 제안된 곱셈 연산 방식은 현재 특허 출원 중이다. 제작된 칩의 성능평가를 위해 병렬 알고리즘을 개발하였으며 기존의 외국 이미지 프로세서들과 비교하여 성능이 우수함을 입증하였다. 설계시 VHDL(VHSIC Hardware Description Language) 모델을 정립하였고 논리합성 및 Back-end 설계를 수행하였다. 셀 라이브러리는 0.8 cm VTITM 표준 셀 라이브러리(v8r4.4)를 사용하여 ASIC 칩을 구현하였으며 전체 게이트 수는 25개의 128 x 9 bit SRAM을 제외하고 55,255개이다. 제작된 칩은 die 크기가 326.71 x 313.24 mil2인 144핀 MQFP로 구현되었으며 동작 주파수는 25 MHz로 한 칩당 625 MIPS의 성능을 제공한다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 영상·음향기기
본 발명은 2차원의 평면상에서 3차원의 입체공간을 관람하는 장비로서 기존의 막대한 제작비,복잡한 기술,불완전한 화질상의 단점을 없애고 일반적 구조의 영사기 1대 또는 2대등의 구조변경등으로 화면의 정확한 분리 투시가 이루워져 완전한 3차원 입체 가상공간을 재현할 수 있는 발명임
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 영상·음향기기
3S(Spectral Surround System)는 2개의 스피커를 이용하여 원음의 음질 및 음색의 변화없이 돌비 프로로직으로 인코우딩 되거나 스테레오 형태의 음원에 대하여 3차원 입체감을 생성과 동시에 음악형태의 음원에 대해서는 배경음과 효과음을 되살려 라이브한 생동감을 부여할 수 있도록 하는 음향 재처리 기술이다. 또한 스테레오 사운드 이미지를 확장시키고, 증가된 스테레오 청취영역을 제공하며, 스피커 혹은 헤드폰을 사용하기 위해 원근감을 제공하는 기술이다. 3S 기술의 특징은 ① 2개의 스피커만으로 3차원 입체음향 효과 가능 ② 스테레오 원음의 재처리 과정을 최소화함으로서 원음의 충실도 유지 ③ 원음의 충실도를 유지하면서 최대의 입체음 생성 ④ Voice음 및 입체음 제어 기능 ⑤ 음악 및 영화에 동시대응 ⑥ 세계에서 가장 간단한 회로 ⑦ Dorby Stereo, Dorby Prologic, THX, DVD audio 출력신호에 대응 ⑧ 녹음시 입체감 녹음 가능하다. 또한 외국기술(SRS, Qsound ...)에 비하여 음의 분리도, 균형, 음질, 음색등이 우수한 것으로 평가되고 있다. 3S 기술은 TV sets, Power speaker, Hi-Fi audio sets, PC sound card, Car audio sets, 위성수신기, VCR, 휴대용 audio sets, 전자게임기, 전자악기, 노래방 기기등 광범위하게 응용할수 있으며 이는 3S 기술이 음악영역 및 video 영역에 공히 그 효과가 발휘되기 때문이다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
음성 통화중 스크린상에서 펜으로 작성한 메시지 동시에 주고 받기 - Fax 송수신 및 프린트 출력 - 전화번호부 내장 (수백개) - DSP 자동 응답기 - 개인 정보 관리펜을 기반으로한 사용자 인터페이스 - 유선통신과 정보기술의 결합 - 각종 응용분야의 Customization이 쉽도록 설계
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
Computer/Audio/Video통합 Multimedia Technology - 5 Channel Full Audio Dolby Unit - TV overlay VGA Control - DSVD Fax/Modem H/W 및 S/W - 전자칠판, 화상전화 응용 S/WComputer/Audio/Video 통합 Technolgy - 부분품단위(Card)의 제품상용화 가능 - 시장변화에 따른 제품사양 변경가능하여 조기에 시장에 대처 가능
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 생활가전기기 (F43)
본 고안은 걸이구를 이용하여 실내의 벽면에 부착 후 담수용기에 물을 채운 다음 전원을 연결하면 모타에 의하여 연결호스를 연통한 물이 낙수용기에 채워지게 되고, 이어서 물내림구멍과 물내림홈에서 흘러내린 물이 그림 전면을 고루 적시어 줌으로써 습기의 강제발생방식이 아닌, 세탁물의 자연 건조방식과 같이 대류 현상에 의하여 실내 온도 및 습도의 고,저에 따라서 습기가 증,감 발생토록 고안된 미적 치장 겸용 액자형 가습기이다.그림은 개인 취향에 따라 수시 교체가 용이하며 국내시판도 용이하겠지만 예술성을 선호하는 프랑스나 유럽쪽에서는 호평을 받을 수 있으리라고 생각한다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 생활가전기기 (F43)
본 고안은 공기청정기능을 겸비한 냉풍기에 관한 것으로, 회전시 2가지 정역방향의 송풍기능을 갖는 팬을 이용하여 중앙부에 필터기능, 냉수부문기능을 갖도록 처리하여 회전시에 분무된 물에 의하여 공기가 냉각되며 동시에 공기필터층을 통과하므로 공기청정기능을 갖도록 하여서 1대로 냉풍 및 공기청정기능을 함께 발휘할 수 있음.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
본 발명은 전화회선을 이용한 침입자의 감지와 방문객의 신원을 자동으로 확인하여 외부의 침입자나 재난과 같은 긴급사황을 자동으로 접수하고 처리하여 관제요원이 필요없이 간단하게 운영할 수 있는 긴급전화 자동관제 시스템으로서, 별도의 부가시설이나 전용회선의 설치가 필요없이 경보기와 관제기 만으로 운영이 가능하며, 관제업무를 정확하고 신속하게 처리하도록 자동화하여 저렴한 관리비용으로 관제서비스를 제공하며 운영관리 할 수 있는 무인 전화 자동관제 시스템
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
본 발명은 각 도어마다 각각 다른 다수개의 비밀번호를 입력시켜 메모리 저장시킨후, 원격 송신장치로 저장된 비밀번호를 입력시켜야만 도어가 열리게 함으로써, 하나의 원격 송신장치 다수개의 방의 도어를 열 수 있으며, 사용자만이 열도록 비밀번호로 저장되어 있어 도난방지가 용이하며, 원격 송신장치를 분실 및 비밀번호를 잊었을 경우에도 사용가만이 아는 설정키로서 다시 재설정이 가능하게 한 발명
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
화자 인식은 화자 식별(identification)과 화자 검증(verification)으로 나눌 수 있고, 특정한 구문을 사용하느냐에 따라서 구문 독립과 구문 종속으로 나눌 수 있는데, 본 연구는 구문 독립 화자 식별에 관한 것이다.방사형 기저 함수망(RBFN)을 이용한 화자 식별의 과정은 먼저 등록시키고자 하는 화자(기준 화자)의 음성 데이터들로 네트웍을 학습시킨 다음에 식별할 때는 미지 화자의 음성 데이터로부터 그 사람의 신원을 파악하거나 등록되지 않은 사람일 경우에는 등록되지 않았음을 판별해 내는 것이다. 각 화자마다 신경망을 따로 가지도록 함으로써 기준 화자를 늘리더라도 시스템의 확장을 용이하게 할 수 있도록 하였고, 또 각 화자에 대해서도 여러 개의 RBFN을 가질 수 있도록 하여 한 사람의 다양한 특징을 학습시킬 수 있도록 하였다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
1) 과제의 목적:본 과제는 스캐너를 통하여 문서나 그림을 영상화일의 형태로 입력한 후 영상을 전처리하는 소프트웨어에 관한 것으로 특히 문서의 위치를 찾은 후 문서가 기울어져 있는 경우 이를 자동적으로 보정해 주는 것이 목적이다. 2) 과제의 내용설명:본 과제의 내용은 다음과 같다. 먼저 스캐너 위에 자료를 올려 놓고 전체 자료를 스캔하여 전체 그레이 스케일 영상을 얻고, 이것을 이진화한다. 입력하고자 하는 부분이 직사각형의 형태를 취하고 있다고 가정하고 직선 허프변환에 의해 직사각형의 4개의 변에 해당하는 직선성분을 찾아내어 입력하고자 하는 직사각형의 꼭지점의 위치를 검출한다. 꼭지점을 포함하는 부분만을 화일로 저장하여 입력하고자 하는 부분의 위치를 찾아낸다. 직선 허프변환의 결과로부터 입력하고자 하는 영상의 기울어짐을 계산하고 기울어짐 각도만큼 영상을 반대로 회전시킴으로써 기울어진 영상을 보정한다.본 과제의 실제 적용 예:일반적인 문서나 그림을 스캔하는 경우에 본 방법을 모두 적용할 수 있으며특히 많은 문서나 그림을 컴퓨터로 입력하여 CD롬 같은 자료로 저장하여 보관할 때 본 발명을 사용하면 빠른 시간안에 스캔 작업을 끝낼 수 있다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
액정판 자체에서 직접 한 단자를 내어 전자회로기판에 직접 용접시켜 회로 접속을 완전히 하고, 이후 전자회로기판을 절연체로 피복시켜 완전방수를 시킨 전자시계를 안출하고자 고안.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 전자제품
본 발명은 하나의 구동모터에 의해 서로 120°의 각도를 유지하면서 설치 높이를 서로 달리하는 위치에 설치된 송풍팬들을 동시에 구동시키고 또한 상기한 팬이 선택에 의해 동시에 회전 가능케하는 선풍기의 팬 구동방법과 선풍장치에 관한 것임 - 종래에는 제1-제4송풍익에 회전구동력을 전달하는 구동모터에 별도의 밸트를 통해 전달해야 했고, 또한 제1-제4송풍익이 제자리에 회전하는 것이어서 송풍효과가 떨어지는 반면 그부피가 커서 많은 공간을 차지하는 단점이 있었음 - 본 발명은 이러한 단점을 제거하기 위해 서로 120°의 각도를 유지하면 서 설치높이를 서로 달리하는 위치에 설치된 3개의 송풍팬풀리에 구동모 터의 모터풀리에 걸린 벨트를 동시에 걸리도록 하는 송풍팬 구동방법과 이에 의한 송풍장치를 제공하는데 있음
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
최근 통신용 회로, 고성능 컴퓨터, 및 각종 전자시스템이 고도화됨에 따라 이들 시스템에서 신호의 지연 및 왜곡등이 설계상 심각한 병목현상으로 대두되었다. 실상 이들에 관한 본질적인 문제는 반도체소자 및 전송로상에서의 마이크로웨이브 현상에 기인하며 본연구실에서는 이들에 관련한 연구를 수행하고 있다. 따라서 본 포스터에서는 고밀도 고속 VLSI 회로 및 전자 패키징에서의 전기신호의 왜곡에 기인한 시그널 인테그러티 해석 및 이들 전기신호 노이즈 모델링에 대하여 계시하며 이들을 실험적으로 고찰하기 위한 고주파 측정 방법 및 모델링에 대하여 소개한다. 더불어 이들 부분회로에 대한 실험적 특성 분석 및 모델링을 이용한 MCM (Multi-Chip Module) 설계용 툴개발에 관한 내용도 계시한다. 특히 고주파 회로에서의 IC 인터컨넥트 및 트랜스미션 라인의 S-파라미터 측정 및 TDR/TDT 측정을 위한 테스트 패턴 설계 및 이들에 관한 특성 분석 방법에 대하여 도식적으로 기술하며 본 연구실에서 수행하고 있는 시그널 인테그러티 문제와 관련하여 IC 내에서 신호의 지연 및 크로스톡 모델링에 관한 측정 데이터 및 모델링을 예시하고 전자 패키징에 관련하여서는 동시스위칭에 관련한 패키징 노이즈 즉 칩내의 파워선 혹은 그라운드선과 같은 기준 전위의 변형에관한 시뮬레이션 결과를 예시한다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 연구에서는 CMOS 연산증폭기의 슬루율을 외부의 디지탈 신호에 의해 제어할 수 있는 방법을 제안하였고, 이를 연산증폭기의 설계에 응용하여 0.8μm twin-well double metal/single poly 공정을 이용하여 제작하였다. 슬루율의 가변화를 이루기위해 4비트의 입력신호에 의해 제어되는 병렬 전류감산기를 설계하였으며, 이를 연산증폭기 설계에 이용함으로서 입력 디지탈신호의 크기에 따라 16단계에 걸친 슬루율과 전력소모의 선형적인 변화가 가능하였다. 또한 제작된 CMOS 연산증폭기를 이용하여 4비트 데이터 변환속도 가변 D/A 변환기에 적용하여 데이터 변환속도의 가변을 실험에의해 볼 수 있었다. 슬루율 가변 연산증폭기는 재래식 연산증폭기와 동일한 소신호 특성을 보였으며, 슬루율과 전력소모의 측정결과 5.8V/μV에서 41.1V/μV까지 가변되며, 이에따른 전력소모는 1.1mW에서 4.1mW까지의 범위에서 16단계의 선형적인 변화를 나타내었다
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 연구에서는 무선 LAN(Local Area Network) 시스템을 위한 고속의 기저대역 모뎀 ASIC 아키텍쳐를 제안한다. 무선 LAN 표준안인 IEEE 802.11에서는 물리계층의 규격으로 직접대역확산(DSSS), 주파수도약확산(FHSS), 적외선(Infrared)의 세 가지 규격을 권고하고 있다. 이 중 직접대역확산 방식은 타 시스템에 간섭 영향이 적으며 ISM 무면허 대역을 사용하는 장점이 있으나 하나의 심볼을 보통 11-칩의 의사잡음부호로 나누어 처리하여야 하므로 데이타 전송속도가 낮아지는 단점이 있다. 따라서 IEEE 802.11에서는 DBPSK 변조방식으로 1 Mbps, DQPSK 변조 방식으로 2 Mbps의 전송속도를 권고하고 있다. 그러나 영상 신호를 포함하는 멀티미디어 데이타를 전송하기에는 그 전송속도가 부족하다. 적접대역확산 방식의 모뎀 수신기에서 데이타 처리속도를 제한하는 요소는 심볼 단위로 샘플링 되기전에 칩 전송속도에 두배로 샘플링 되는 ADC의 출력 샘플을 집적 처리하는 정합 필터와 타이밍 복구회로이다. 본 연구에서는 새로운 구조의 정합필터와 타이밍 복구회로를 설계하여 IEEE 802.11 직접대역확산 방식의 규격을 만족하면서 최대 전송속도가 8 Mbps인 고속의 무선 LAN용 모뎀 ASIC 아키텍쳐를 설계하였다. 본 연구에서 설계한 모뎀 아키텍쳐는 통신용 CAD 툴인 SPWTM을 이용하여 모델링하고 AWGN(Additive White Gaussian Noise) 채널 환경과 반송파 주파수 옵셋에 대한 시뮬레이션을 수행하여 알고리즘 타당성을 검증하였으며 VHDL(VHSIC Hardware Description Language)로 모델링하고 SYNOPSYSTM를 이용하여 기능검증을 수행한 후 논리합성과 타이밍 시뮬레이션을 수행하였다. 시뮬레이션 결과 본 연구에서 설계된 모뎀 아키텍쳐는 AWGN 채널 환경에서 신호대 잡음비(Eb/No)가 13 dB 일때 5.63x10-6의 오류확률을 가지며 심볼 전송속도의 최대 12%의 주파수 옵셋과 최대 10,000 ppm의 클럭 옵셋이 있는 환경에서 복조가 가능하였다. 또한 논리합성 결과 88 MHz의 동작 주파수에서 DQPSK 복조시 8 Mbps의 전송속도를 확인하였다. 추후 MAC(Medium Access Control) 인터페이스를 위한 레지스터 및 제어 블럭 설계하여 추가할 계획이다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
스마트카드용 IC설계를 위한 기반기술, 제조연계 -고유 COS 사양 및 프로그램, DES 기반기술 -MCU Core 설계기술 고유규격을 이용한 스마트카드의 설계 및 상품화 기술 - 정보보안관련기술 등 다양한 응용기술 확보가능
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
본 연구에서는 곱셈기를 사용하지 않은 새로운 구조의 실시간 영상처리용 2-D 콘벌루션 필터칩을 설계하고 제작하였다. 기존의 상용화된 2-D 컨볼루션 필터 칩은 방대한 연산량을 실시간으로 처리하기 위하여 다수의 곱셈기를 사용하는데 3x3의 윈도우를 가지는 Harris Semiconductor사의 HSP48901이나 HSP48908의 경우 9개의 곱셈기를 내장하고 있다. 이러한 곱셈기는 VLSI로 구현할 때 매우 많은 면적을 차지하게 되며 가격대 성능비를 떨어뜨리는 주요 원인이 된다. 따라서 곱셈기를 사용하지 않는 콘볼루션 필터의 아키텍쳐가 많이 연구되었는데 주요 알고리즘은 powers-of-two 계수 알고리즘이다. 이러한 powers-of-two 계수 알고리즘은 shift-and-add(SA) 구조의 조합회로로 구현되는데 기존의 연구에서 제안된 아키텍쳐에서는 3x3의 윈도우 필터의경우 9개의 곱셈기 대신 9개의 SA 블럭을 사용하여 VLSI 면적은 줄일 수 있지만 프로그램머블한 필터를 설계할 경우 데이타 처리 속도가 저하되어 가격대 성능비 즉 게이트 수대 데이타 처리속도비의 개선을 기대할 수 없다. 본 연구에서는 3x3 윈도우의 콘벌루션 필터 설계시 SA 블럭을 하나만 사용하므로써 9개의 곱셈기를 사용하는 경우는 물론 9개의 SA 블럭을 사용하는 경우에 비하여 약 2배의 가격대 성능비를 향상시킬 수 있는 아키텍쳐를 설계하고 칩을 제작하여 검증하였다. 또한 구현된 필터 칩은 MPEG2 표준안인 CCIR601의 영상신호 전송속도(10.4 Mpixel/second)를 만족한다. 본 연구에서 설계된 필터 아키텍쳐는 VHDL(VHSIC Hardware Description Language)로 모델링하고 SYNOPSYSTM을 이용하여 기능 검증과 논리합성 및 타이밍 시뮬레이션을 수행하였다. 또한 구현된 필터 칩은 제작 후 테스트 보드를 구현하여 기능을 검증하고 컴퓨터 시뮬레이션과 동일한 결과를 확인하였다. 구현된 필터 칩은 3,893 개의 게이트로 구성되며 최대 데이타 전송 속도는 15.625 Mpixel/second이다
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
Silicon-On-Insulator(SOI) 기술을 이용한 반도체 소자는 높은 신뢰성과 빠른 동작속도 및 집적도의 향상 등을 쉽게 얻을 수 있는 이점 때문에 최근에 활발한 연구가 진행되고 있다. 특히, SOI기술은 절연격리가(dielectric isolation)가 용이하기 때문에 전력 집적회로 (power IC)의 제작에 이용될 경우 소자의 스위칭 속도를 향상시킬 수 있고 논리회로와 전력소자를 구조적으로 완전히 분리시킬 수 있는 등의 여러 가지 장점이 있어 최근에 많은 연구가 활발히 진행되고 있다. 전력용 개별소자(discrete device)로 많이 쓰이고 있는 수평형 IGBT(Lateral Insulated Gated Bipolar Transistor)는 SOI 기판 위에 제작할 때 위에서 언급한 것과 같은 여러 가지 이점을 얻을 수 있으나, IGBT소자에서 최대 전류능력을 제한하는 소위 latch-up 문제는 더욱 심각하게 나타난다. Latch-up특성을 개선하기 위하여 정공 전류를 바이패스시키는 SOI LIGBT를 제안하였고, MEDICI 시뮬레이션을 통해 이를 검증하였다. 제안된 소자는 기존의 LIGBT구조에서 게이트와 캐소드의 위치를 바꾸고 트렌치 게이트를 채택하여 구현하였으며 기존의 소자에 비해서 5배 이상의 latch-up 전류능력을 가짐을 알 수 있었다. 또한, 캐리어의 수명을 여러 가지로 바꾸었을 때에도 개선된 latch-up 특성이 유지됨을 확인 할 수 있었다. 제안된 소자의 스위칭 속도는 기존의 소자와 거의 같았고 순방향 전압강하는 제안된 소자가 캐리어 수명에 따라 약 0.1V 에서 0.8V 정도 높았으나 이것은 에피층의 농도가 낮게 설계될 경우 해결될 수 있다.
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-04-07
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전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
레이저 유도반응에 의한 미세가공 기술은, 기존의 식각 기술(화학 식각, 반응성 이온 식각, 플라즈마 식각)과 달리, 마스크와 포토레지스트를 사용하지 않고 상온에서 직접 식각을 할 수 있기 때문에, 복잡했던 공정을 최소화시킬 수 있는 장점을 가지고 있다. 또한 레이저 유도반응에 의한 식각은 종횡비가 큰 식각형태를 구사 할 수 있으며, 수 마이크론의 분해능을 가지고 있기 때문에 제한된 영역의 식각이 가능하다. 또한, 레이저 빔을 시료 위에 주사(scan)함으로써 원하는 패턴을 쉽게 얻을 수 있다. 레이저 유도반응에 의한 식각은 다른 일반적인 식각 기술과 비교하여 국소부분의 온도상승에 의한 화학반응을 이용하므로 공정상에서 오는 손상(damage)이 매우 작다. 이러한 가공기술은 광전소자의 분리, 광도파로의 형성, 초소형 기기 제작 등에 필요한, 중요한 미세 가공기술로 매우 큰 관심을 끌고 있다. 화학 식각의 경우 식각용액을 사용하는 것과는 달리 건식식각에서는 반응을 돕는 가스를 사용하는데, 주로 CCl4, CCl2F2 (O 또는 He을 포함), SiCl4/SF6, CH4/H2 가스등이 사용되어 왔다. 이 중 CCl4 가스와 CCl2F2 가스를 사용한 경우에 식각특성은 매우 우수한 것으로 보고된 바 있으나, 오존층(O3)을 파괴하는 주인자로서 환경규제 물질이 되고 있다. 따라서, 이런 환경문제에 대처하기 위하여 새로 개발된 CFC 대체가스를 사용하여 레이저 유도반응을 이용한 건식식각이 필요하다.반도체 미세가공에 주로 사용되는 재료는 화합물 반도체로 GaAs, AlGaAs, InP, InAs 등이 있다. 시료는 기본 진공도 10-3 Torr인 진공 반응용기 안에 있는 내부식성이 강한 스테인레스 스틸 고정대 위에 고정을 하며, 진공 반응용기 또한 내부식성을 고려하여 스테인레스 스틸로 만들었다. 반응용기 내에 빔을 조사시키기 위해서 석영유리로 창을 만들며, 반응용기는 X, Y, Z 축으로 이동이 가능한 스테이지 위에 얹고 스테이지의 구동은 DC-서보 모터를 사용하여 이동시켰다. 속도의 제어는 기어박스를 사용하여 최저 1 μm/sec에서 200 μm/sec까지 실현시켰다. 레이저 빔은 광학현미경의 대물렌즈를 사용하여 직경 1.2 μm까지 집속 시켰으며, 빔은 고정되어 있고 스테이지를 이동시켜서 주사(scan)가 가능하도록 하였다. 한편, 반응용기 안에 반응가스의 주입양을 제어하기 위해서 니들 밸브와 압력 게이지를 반응용기와 연결시켰다. 레이저는 아르곤 이온 레이저를 사용하였으며 다중파장을 사용하였다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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