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본 발명은 서보모터의 과부하를 검출하는 방법 및 이를 이용하여 서보모터를 과부하로부터 보호하는 장치에 관한것으로서 특히 서보모터의 특성치를 이용하여 서보모터의 과부하를 검출하는 방법 및 그 보호에 관한 것이다.본발명은 상온에서 저항값과 온도, 역기전력정수 등 기지의 서보모터 특성치와 선간전압, 선간전류, 회전수등과 같은 특성치를 이용하여 서보모터의 권선의 온도를 간접적으로 산출함으로서 서보모터의 열적 과부하 상태를 정확하게 검출할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 서보모터의 영구자석 스큐구조에 관한 것으로서, 특히, 서보모터의 회전자에 설치된 영구자석의 설치 배열을 달리하여 저속시 코깅토크에 의한 토크리플을 감소시킬 수 있도록 한 서보모터의 영구자석 스큐구조에 관한 것이다.본 발명에 따른 서보모터의 영구자석 스큐 구조에 의하면, 영구자석의 스큐배열이 서로 대칭되게 이루어짐으로써, 모터가 저속 회전시 축방향으로 진동되는 것이 방지되고, 코깅토크의 발생이 현저하게 줄어들어, 저속회전시 서보모터의 정숙한 속도제어특성을 도모하는 데에 우수한 효과가 있는 것다.
본 발명은 모터의 회전자 냉각장치에 관한 것으로, 특히 공작기계의 주축스핀들로 사용되는 빌트인 모터의 회전자를 냉각하기 위한 장치에 관한 것이다.NC선반,머시닝센터등과 같은 공작기계는 성능을 향상시키기 위해 고속화되고 있는 추세이다. 이러한 주축 속도를 증가시키기 위하여 빌트인 모터를 채택하고 있다.본 발명은 스핀들축과 마찰하면서 발생하여 회전자쪽으로 전달되는 열은 스핀들축의 나선홈을 따라 유입된 공기에 의해 냉각하게 되므로, 스핀들축의 변형을 방지하여 정밀가공을 할 수 있으며, 베어링의 윤활유 및 오일의 증발을 막아서 베어링의 내구성을 향상시키므로 스핀들축의 수명을 연장시킬 수 있다
본 발명은 공작기계의 스핀들모터로 사용되는 빌트인 모터에 관한 것으로, 특히 빌트인 모터의 회전자 단열구조에 관한 것이다.본 발명은 모터가 고속으로 회전하면서 발생하는 열을 고정자측에서는 냉각자켓 안으로 공급되는 냉각유체로 냉각시키고, 회전자쪽으로 전달되는 열은 상기 회전자 코어에 구비된 단열재가 차단하여 회전자코어 및 스핀들축 을 열로부터 보호하게 된다.따라서 본 발명은 간단한 구조로서 모터의 부품 수명을 연장시킬 수 있는 것이다.
본 발명은 빌트인 모터의 냉각장치에 관한 것으로, 특히 공작기계의 주축스핀들로 사용되는 빌트인 모터를 냉각하기 위한 장치에 관한 것이다.본 발명은 냉각유체를 케이싱안으로 유입시켜 스핀들축 및 베어링 등의 부품도 냉각시킬 뿐아니라 직접 고정자 안으로도 냉각유체를 유입시켜 엔드코일을 직접 냉각시킨다.따라서 모터 전체 부품을 골고루 냉각시켜 냉각효율을 향상시키고, 이에 따라 내부에 결로현상이 발생하는 것을 방지하는 한편, 엔드코일 캡은 엔드코일 선단을 밀폐하므로 쇼트현상도 방지할 수 있는 것이다.
본 발명은 서보모터 회전자 제작방법 및 그 회전자에 관한 것으로, 특히 일체형 코어에 자석을 조립설치한 후 코어연결부를 절삭가공하여 코어연결부를 분리한 서보모터 회전자 제작방법 및 그 회전자에 관한 것이다.본 발명에 따른 서보모터 회전자 제작방법 및 그 회전자에 의하면, 1. 코어를 적층할 때 접착제를 사용하지 않으므로써 코어의 적층조립성을 향상할 수 있다.2. 착자자석을 적층된 코어의 끼움공간부에 끼우도록 되어 착자자석을 오조립하더라도 간단하게 분리하여 재조립할 수 있다.3. 금형에서 코어가 일체형으로 제작되어 타발 횟수를 줄여 금형의 수명연장과 함께 금형 제작비용을 절약할 수 있다.
본 발명은 서보 모터의 샤프트에 조립되는 로터에 관한 것으로, 특히 로터를 이루는 로터 코어와 자석의 배치를 선형적인 스큐(skew)각을 줄 수 있도록 조립함으로써 서보 모터의 진동과 소음의 원인이 되는 코깅 토크 및 토크 리플을 저감시킬 수 있도록 한 서보 모터용 로터의 조립구조에 관한 것이다.본 발명에 따른 서보 모터용 로터의 조립구조에 의하면, 1.서보 모터를 이루는 로터에 선형적인 스큐각을 부여함으로써 서보 모터의 진동 및 소음의 원인이 되는 토크 리플이나 코깅 토크를 저감시킴으로써 서보 모터의 작동을 원활하게 유지시킨다.2. 로터의 조립구조를 간편하게 함으로써 서보 모터를 제작하기 위한 시간 및 노력을 줄여주게 되어 작업성과 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
본 고안은 모터의 팬블레이드에 관한 것이다. 즉 전동지게차의 직류모터의 프레임 자체에 팬 블레이드를 일체형으로 형성하여 외관을 미려하게하고, 제작공정의 개선에 의한 비용을 절감할 수 있도록한 모터의 팬 블레이드에 관한것이다.본 고안은 통풍구를 형성한 프레임에 팬블레이드를 일체로 형성함으로서, 제작공정을 줄임에 따른 생산성의 향상 및 원가절감은 물론, 외관을 미려하게 하고 안전사고를 미연에 방지할 수 있는 유용한 고안이다.
본 고안은 모터등과 같은 회전기기에서 내부회로와 외부회로를 결성하기 위한 회전기기용 터미널조립체에 관한 것으로, 특히 터미널조립체 자체의 회전 및 밀림을 방지하여 기기의 안정을 유지하기에 적당하도록 고안된 것이다.본 고안은 터미널조립체의 두 부재간이 축방향으로 밀려들어감이 없어졌으며, 볼트 체결시 조임토오크가 커져 결합력이 양호하여 제품의 하자 발생이 없어져 장기간 사용할 수있는 잇점이있다.
본 고안은 전기 모우터용 절연지 이송 및 절단장치에 관한것으로, 특히 절연지 자동절곡장치에서 절곡된 절연지를 이송하여 일정한 길이 만큼 자동으로 절단할 수 있게한 전기모터용 절연지 이송 및 절단장치에 관한 것이다.본 고안을 적용한 구조 및 동작으로된 절연지 이송 및 절단장치를 사용함으로서 짧은 시간동안에 대량의 절연지를 절단할 수 있게되어 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한 필요한 길이 만큼 정확하게 절단할 수 있으므로 제품의 품질을 균일하게 할 수 있게된다.
본 고안은 전동기의 작동을 제어하는 전동기용 브레이크 유니트에 관한것으로 특히 브레이크 유니트가 전동기와 별개로 만들어져 필요에 따라 전동기에 조립 또는 분리하여 사용할 수 있도로 규정한 전동기용 브레이크 유니트에 관한것이다.본 고안의 장점은 다음과 같다. 본고안의 브레이크 유니트를 사용함으로서 일반 전동기를 브레이크가 설치된 전동기로 간단하게 개조할 수 있다. 또한 이 브레이크 유니트가 설치된 전동기를 간단하게 분리할 수가 있으므로 일반전동기로 개조하는 작업도 간단하게 할 수 있다. 따라서 여러가지의 전동기를 구비할 필요없이 간단하게 일반 전동기와 브레이크가 구비된 전동기를 개조 사용할 수가 있다는 효과를 얻을 수 있다.
본 고안은 동기형 AC 서보모터의 로터에 관한 것이다. 즉 영구자석을 세그먼트(SEGMENT)형으로 하여 로터코어(ROTOR CORE)에 결합한 원통형의 결합체를 로터샤프트에 조립하는 동기형 AC 서보모터에 관한 것이다.본 고안에 따른 동기형 AC 서보모터의 로터에 의하면 로터코어에 형성된 결합공의 조합에 의하여 자석에 착자되는 스큐각을 세밀하게 구현할 수 있음과 더불어 다양한 자석의 조합으로 토크리플이나 코킹현상을 저감하면서 소요의 출력을 얻을 수 있다.
본 고안은 AC 서보모터의 로터에 관한것으로 특히 로터샤프트에 영구자석을 세그먼트형으로 하여 로터코어에 결합한 원통상의 결합체를 삽입하도록 된 AC 서보모터의 로터에 관한 것이다.본고안의 장점은 자석과 접촉되는 로터코어 일측에만 돌기부를 형성하여 다수의 로터코어와 자석의 조립을 간편하게 할 수 있음과 더불어 자석의 정확한 위치에 접착제를 도포할 수 있는 효과가 있다.
[구성]본 발명은 유기금속화학증착(MOCVD)법에 의해 에피층을 성장시킬 때 CCl4 또는 CBr4 가스를 소량 유입시켜 수평 방향으로 PN 접합 어레이 구조를 제조할 수 있게 한 수평 방향 반도체 PN 접합 어레이 제조방법에 관한 것으로, 종래에는 수평 방향으로의 PN 접합을 형성할 수가 없었다. 이러한 점을 감안하여, N형 GaAs 기판에 V형 또는 U형의 홈을 형성하고, 이후 상기 N형 GaAs 기판 위에 유기금속화학증착(MOCVD)법으로 P형 에피층을 성장시키되, CCl4 또는 CBr4 가스를 유입시켜 수평방향의 P-GaAs/N-GaAs 또는 P-AlGaAs/N-GaAs PN 접합 어레이를 제조함으로써 입사된 광이 손실이 거의 없이 PN 접합부분에 곧바로 도달되고, 광전소자의 효율을 높이거나 낮은 문턱전류의 레이저 다이오드 또는 도파손실이 작은 광도파로의 제작 등에 응용될 수 있게 한 것이다.1. N형 GaAs 기판에 비평면 성장을 이용하여 홈을 형성하는 공정과, 상기 N형 GaAs 기판에 형성된 홈에만 유기금속화학증착(MOCVD)법으로 에피층을 성장시키되, CCl4 또는 CBr4 중 선택된 하나의 가스를 유입시켜 P형 GaAs 및 P형 AlGaAs 에피층중 선택된 하나의 에피층을 형성함으로써, 수평 방향의 P-GaAs/N-GaAs 및 P-AlGaAs/N-GaAs중 선택된 하나의 PN 접합 어레이를 제조하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 수평 방향 PN접합 어레이 제조방법.2. 제1항에 있어서, N형 GaAs 기판에 형성된 홈은 V자 및 U자 모양의 패턴중 하나의 패턴에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 수평 방향 PN 접합 어레이 제조방법.3. 제2항에 있어서, N형 GaAs 기판의 홈은 N형 GaAs 기판 위에 광감광제 및 마스크를 사용하여 사진 식각 방법으로 V자 및 U자 모양중 선택된 하나의 패턴을 형성하고, 이후 습식 에칭법에 의해 에칭시켜 V자 및 U자 모양중 하나의 모양으로 형성하는 것을 특징으로 하는 수평 방향 PN 접합 어레이 제조방법.4. 제3항에 있어서, 상기 습식 에칭법에 H2SO4, H2O2, H2O의 혼합용액을 사용하는 것을 특징으로 하는 수평 방향 PN 접합 어레이 제조방법.
[구성]본 발명은 광학 변조기 및 광학 스위치의 제조에 사용될 수 있는 신규한 2차 비선형 광학 고분자로서 화학식 1 및 화학식 2로 표시되는 폴리이미드의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 내열성이 크고 유리 전이 온도가 높으며 유기 용매에 대한 용해성이 우수하고 전기 광학 계수의 열안정성이 우수한 2차 비선형 광학 활성을 갖는 폴리이미드를 제공한다.식 중, R1, R2 및 R3는 수소, 플로라이드, 또는이다.(식 중, m은 2 내지 6이다)1. 하기 화학식 1로 표시되는 반복 단위를 갖는 측쇄형 이차 비선형 광학 특성 고분자 화합물.화학식1-(-MO-)10-----(-ITCN-NLO-)8-식 중, m과 n은 그의 합이 5내지 10000이고 m/(m+n)=0.05~0.95를 충족시키는 값이며; ITCN-NLO는 ......이며; X는 존재하지 않거나, 또는 탄소수 1내지 6의 알킬렌 또는 탄소수 6내지 12의 방향족 탄화수소이고;Y는 에테르, 에스테르, 아미드, 탄소수 1내지 5의 알킬아미노, 카르바메이트 및 설폰으로 구성되는 군에서 선택되는 2가 결합단이며; NLO는 공역 방향족 고리가 비치환되거나 또는 전자 주게 및(또는)전자 받게로 치환될 수 있는 일반적인 이차 비선형 광학 특성 화학단으로서, 벤젠, 스틸벤, 아조벤젠 및 디페닐로 이루어지는 군으로부터 선택되는 화학단이고, MO는 ITCN-NLO와 공중합가능한 임의의 모든 중합성 단량체이다.2. 제 1항에 있어서, 상기 m과 n의 합이 15내지 1000인 것인 고분자 화합물.3. 제 1항에 있어서, 상기 화합물이 전장 분극화 후의 열처리에 의해 사슬내 및 사슬간 열 가교 현상 또는 광 가교 현상을 나타내는 화합물인 고분자 화합물.4. 제 1항에 있어서, 상기 MO가 메틸메타크릴레이트, 4-히드록시페닐 말레이미드 또는 글리시딜 메타크릴레이트인 고분자 화합물.5. 제 1항 기재의 고분자 화합물로 제조되는 비선형 광학 재료.6. 제 1항에 있어서, 공역 방향족 고리가 벤젠인 고분자 화합물.7. 제 1항에 있어서, 공역 방향족 고리가 스틸벤인 고분자 화합물.8. 제 1항에 있어서, 공역 방향족 고리가 아조벤젠인 고분자 화합물.9. 제 1항에 있어서, 공역 방향족 고리가 디페닐인 고분자 화합물.10. 제 1항에 있어서, 전자 주게가 산소, 황, 탄소수 1내지 6의 알킬아미노 또는 시클릭 알킬 아민인 고분자 화합물.11. 제 10항에 있어서, 시클릭 알킬 아민이 피페리딘 또는 피롤리딘인 고분자 화합물.12. 제 1항에 있어서, 전자 받게가 니트로, 말로니트릴, 트리시아노에틸렌, 탄소수 1내지 3의 퍼플루오로알킬, 니트로페닐술포닐 또는 메틸술포닐인 고분자 화합물.13. 제 1항에 있어서, 하기 고분자 1의 반복 단위를 포함하는 고분자 화합물.14. 제 1항에 있어서, 하기 고분자 2의 반복 단위를 포함하는 고분자 화합물.15. 제 1항에 있어서, 하기 고분자 3의 반복 단위를 포함하는 고분자 화합물.16. 제 1항에 있어서, 하기 고분자 4의 반복 단위를 포함하는 고분자 화합물.
[구성]자동차, 항공기, 선박 등의 각종 항행체에서 운전자가 시선을 돌리지 않고도 주변 광경과 컬러 영상으로 주어지는 항행 정보를 동시에 투시가능하게 하는 천연색 홀로그래픽 표시 장치에 관하여 기술하였다. 주변 광경과 항행 정보를 동시에 투시가능하게 해주는 홀로그래픽 결합기는 렌즈 또는 구형 반사경의 특성을 가진 홀로그래픽 광학 소자가 매트릭스 형태로 된 것을 사용하며, 각 광학 소자는 대응하는 정보표시판의 천연색 화소로부터의 빛만을 눈통으로 입사시킬 수 있게 아주 좁은 대폭을 가진다. 본 발명의 표시 장치는 밝고 또한 상호 변조 잡음에 의한 화질 저하가 없는 천연색 영상의 표시가 가능하다.1.투사될 정보를 표시하기 위한 정보 표시판, 상기 정보 표시판에 표시된 상(image)을 전달하기 위한 중계 광학계(Relay Optical System),및 상기 중계 광학계로부터의 상을 관찰자의 시야를 형성하는 눈통(Eye Box)에 전달하기 위한 홀로그래픽 결합기(Holographic Computer)를 포함하여 구성된 홀로그래픽 결합기가 상기 정보 표시판의 화소수와 동일한 수의 홀로그래픽 광학 소자들로 구성되면, 상기 홀로그래픽 광학 소자들이 상기 정보 표시판의 화소 배열과 동일한 매트릭스 형태로 배열된 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.2. 제 1항에 있어서, 상기 홀로그래픽 광학 소자들이 투명 유리나 투명 플라스틱 기판에 접착된 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 홀로그래픽 광학 소자들이 적색, 청색, 및 녹색에 해당하는 발광 대폭(Spectral Bandwidth)의 빛 중에서 어느 하나만 선택적으로 반사시키는 구형 반사경(Spherical Reflecting Mirror)의 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.4. 제 1항에 있어서, 상기 관찰자의 시야를 형성하는 눈통의 크기가 상기 홀로그래픽 광학 소자의 가로, 세로 길이와 초점 거리에 따라 정해지는 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.5. 제 1항에 있어서, 상기 중계 광학계는 상기 정보 표시판의 천연색 화소 각각을 상기 홀로그래픽 결합기 내의 대응하는 홀로그래픽 광학 소자에 입사시키는 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.6. 제 1항에 있어서, 상기 홀로그래픽 광학 소자들이 렌즈특성을 갖는 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.7. 제 1항에 있어서, 차량의 뒷창에 장착된 정지 지시기용으로 사용되는 것을 특징으로 하는 천연색 홀로그래픽 헤드 업 표시 장치.
[구성]기존의 구형 반사경 대신 역반사체판을 사용하여 각종 용도에 맞는 홀로그래픽 스크린을 제작하는 방법과 역반사체판을 제작하는 방법을 개시하였다. 구형 반사경을 사용하여 홀로 그래픽 스크린을 제작하는 종래의 방법을 개시하였다. 구형반사경을사용하여 홀로그래픽 스크린을 제작하는 종래의 방법은 스크린의크기및 초점거리가제한되고 스크린 특성을 최적화하기가 어려운 단점이 있다, 본 발명에서는 초서형 코너 큐브(corner cube) 가 면 배열된 평판으로 서각각의 코너 큐브에서 반사된 반사광이 입사광의 진행 방향을 역으로 되돌아 나가는 특성을 갖는 역반사체판을 사용하여 홀로그래픽 스크린 만들었다. 이에 따라 구형 반사경을 이용하여 스크린을 만들 때와 비교하여 가변 초점 거리를 가지며 회절 효율이 뛰어나고 또한 크기에 제한이 없는 홀로 그래픽 스크린을 만들 수 있었다. 대형 홀로그래픽 스크린은 역반사체판의 조합이나 필름형 홀로 그래픽 스크린을 사용하여 제작가능하다. 산광기와 창이 열린 마스크를 사용하면 주사레이저 빔에 의해서도 시역의 재생이 가능한 홀로그래픽 스크린을 만들 수 있다.기존의 구형 반사경 대신 역반사체판을 사용하여 각종 용도에 맞는 홀로그래픽 스크린을 제작하는 방법과 역반사체판을제작하는 방법을 개시하였다. 구형 반사경을 사용하여 홀로 그래픽 스크린을 제작하는 종래의 방법을 개시하였다. 구형반사경을사용하여 홀로그래픽 스크린을 제작하는 종래의 방법은 스크린의크기및 초점거리가제한되고 스크린 특성을 최적화하기가 어려운 단점이 있다, 본 발명에서는 초서형 코너 큐브(corner cube) 가 면 배열된 평판으로 서각각의 코너 큐브에서 반사된 반사광이 입사광의 진행 방향을 역으로 되돌아 나가는 특성을 갖는 역반사체판을 사용하여 홀로그래픽 스크린만들었다. 이에 따라 구형 반사경을 이용하여 스크린을 만들 때와 비교하여 가변 초점 거리를 가지며 회절 효율이 뛰어나고 또한 크기에 제한이 없는 홀로 그래픽 스크린을 만들 수 있었다. 대형 홀로그래픽 스크린은 역반사체판의 조합이나필름형 홀로 그래픽 스크린을 사용하여 제작가능하다. 산광기와 창이 열린 마스크를 사용하면 주사레이저 빔에 의해서도시역의 재생이 가능한 홀로그래픽 스크린을 만들 수 있다
[구성]본 발명은 광학 변조기, 광학 스위치에서 이용가능한 새로운 2차 비선형 광학 활성을 갖는 고분자로서 하기 화학식 1로 나타내는 비선형 광학 폴리벤족사졸에 관한 것이다. 본 발명의 2차 비선형 광학 폴리벤족사졸은 우수한 내열성, 높은 유리 전이 온도, 및 열안정성이 우수한 전기 광학 계수를 갖는다. 상기 식에서, R은 -C(CN)=C(CN)2 또는 -N=N-Ph-NO2기를 나타내고, n은 10n1000 범위 내이다.1. 하기 화학식 1로 나타내는 2차 비선형 광학 폴리벤족사졸.화학식1.상기 식에서, R은 -c(CN)=C(CN)2또는 -N=N-Ph-NO2기를 나타내고, n은 10n1000범위 내이다.2. 제 1항 기재의 2차 비선형 광학 폴리벤족사졸로 제조되는 비선형 광학 재료.
[구성]본 발명은 간접천이형 에너지 밴드갭 구조를 가진 실리콘 반도체를 미세결정 구조화함으로써 직접천이형 반도체 재료에서와 같은 고효율의 광특성을 갖게 하여 가시광 영역의 광소자에 응용할 수 있도록 한 실리콘 미세결정 제조방법에 관한 것으로, 특히 전기화학부식법 및 후열처리 공정에 의한 실리콘의 나노(nano) 결정립을 제작함에 있어 실리콘 웨이퍼 및 비정질 실리콘 박막으로부터 상온에서 아주 안정되고 강한 적색발광(파장 680)과 황색발광(파장 543)을 얻도록 하였다.즉, 본 발명은 간접천이형 에너지 밴드갭 구조를 갖는 반도체 재료로부터 발광 특성을 나타내는 미세결정 구조를 제작하는 방법을 제공함으로써 실리콘 광소자의 가능성을 제공하는 것이다.1. 실리콘 기판 위에 비정질 실리콘을 부분적으로 증착하는 제1공정과, 상기 비정질 실리콘이 부분적으로 증착된 시료를 전기화학부식 시키는 제2공정과, ㅅ아기 전기화학부식된 시료를 급속열처리 하는 제3공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 미세결정 제조방법.2. 제1항에 있어서, 상기 비정질 실리콘은 직류 마그네트론 스퍼터링법(magnetron sputtering)으로 증착하는 것을 특징으로 하는 실리콘 미세결정 제조방법.3. 제1항에 있어서, 상기 전기화학부식은 HF:H2O:Ethanol이 1:1:2의 비율로 혼합된 용액에 넣고 백금전극을 이용하여 200㎃/㎠ㄹ의 전류밀도로 30초간 급속처리함을 특징으로 하는 실리콘 미세결정 제조방법.4. 제1항에 있어서, 상기 급속열처리는 질소가스 분위기로 800℃의 온도에서 10분간 행하는 것을 특징으로 하는 실리콘 미세결정 제조방법.
[구성]본 발명은, 열적으로 안정된 나노 결정립의 실리콘 결정상을 비정질 실리콘내에서 급속 열처리와 같은 후속 공정없이 직접 형성시키기 위하여, 실리콘 웨이퍼 기판 또는 상기 실리콘 웨이퍼 기판 위에 실리콘 산화막이 형성된 기판을 제조하는 단계; ECR-CVD 법으로, 상기 기판을 상온 내지 200℃의 온도 범위로 유지하고, 원료 가스로 고순도 실란을 사용하고 운반 가스로 불활성 가스를 사용하여 반응 챔버내의 압력을 7 - 9×10-4 Torr로 유지하면서, 상기 기판 위에, 비정질 실리콘 박막내의 실리콘 결정립의 직경이 나노미터 크기인 비정질 실리콘 박막을 증착하는 단계;로 이루어지는 가시광 범위의 발광 특성을 가지는 미세 실리콘 결정립 제조 방법을 제공한다.1. 실리콘 위에퍼 기판 또는 상기 실리콘 웨이퍼 기판 위에 실리콘 산화막이 형성된 기판을 제조하고, ECR-CVD법으로, 상기 기판 위에, 비정질 실리콘 박막내의 실리콘 결정립의 직경이 10nm이하가 되도록 비정질 실리콘 박막을, 후속 공정 없이 성장 조절함으로써 상온에서 안정된 가시광 범위의 발광 특성을 가지는 실리콘 박막을 형성시키는 것을 특징으로 하는 가시광 범위의 발광 특성을 가지는 미세 실리콘 결정립의 제조 방법.2. 제 1항에 있어서, 상기 성장은, 원료 가스로 고순도 실란을 사용하고 운반 가스로 불활성 가스를 사용하여 반응 챔버내의 압력을 7-9×10/(4)Torr로 유지하여 행해지는 것을 특징으로 하는 가시광 범위의 발광 특성을 가지는 미세 실리콘 결정립의 제조 방법.3. 제 1항에 있어서, 상기 기판의 온도를 상온 내지 200℃의 온도 범위로 유지하는 것을 특징으로 하는 가시광 범위의 발광 특성을 가지는 미세 실리콘 결정립의 제조 방법.