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전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
DRAM(Dynamic Random Acess Memory)이 간단한 정보저장용 기억단위 소자로서 반도체 메모리 시장을 개척한 이래로 하나의 트랜지스터와 하나의 캐패시터로 이루어진 기억소자는 초미세화 및 초고집적화의 엄청난 개발속도를 가속화하는데 기여하게 되었다. 반도체 메모리의 고집적화가 가속됨에 따라 DRAM과 FRAM의 Cell capacitor에서 높은 축적량을 보이는 물질인 PZT, 스트로늄-타이타늄 산화물 리튬-나이오뷰 산화물을 비롯한 강유전체 박막을 이용한 정보 저장방법이 연구되고 있다. 본 연구는 유전체 박막 커패시터를 RF magnetron sputtering을 이용하여 유전상수가 높은 강유전체 박막을 235nm 에서 275nm두께로 RuO2전극위에 증착하여 그 전기적 특성을 개선하였다. 저온에서 비정질 BTO층을 증착하였으며 600℃이상의 높은 온도에서 다결정 BTO층을 증착하였다. 미세결정위의 다결정 이중구조를 갖는 커패시터의 용량은 단위면적당 (2.5±0.1)×105 pF/cm2이었으며, 누설 전류는 전계 2×105v/cm에서 10-10A/cm2이었다. DC전도도는 2×105V/cm에서 10-13/cm이하로 나타났다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
세계적으로 기술적 문제로 인하여 아직까지 고온초전도 S-I-S 접합이 개발되어 있지 않다. 또한 low angle S-N-S biepitaxial 접합을 개발할 필요가 있다. 본 연구는 이러한 문제를 극복할 수 있는 방법을 택하여 새로운 low angle S-N-S접합과 새로운 S-I-S접합개발을 위한 base layer를 제작하였다. 새로운 방법에 의한 low angle biepitaxial 죠셉슨 접합의 제작을 위하여 [001]축이 20o 비스듬이 cut된 STO기판의 반쪽은 CeO2/YSZ 이중 buffer layer가 사용되었다. YBCO박막은 STO위에 직접 성장한 부분은 c축이 20o 기울어져 있고 buffer layer위에서 성장한 부분은 c축에 수직이다. 따라서 전체적 YBCO박막은 20o a축 tilt 혹은 a축 twist biepitaxial 죠셉슨접합을 형성하였다. 또한 S-I-S 접합을 위하여 수백 Å의 gap(D)을 갖는 두 영역의 YBCO가 제작되어야 하는데 이러한 YBCO가 성장할 수 있는 기초 gap을 갖는 base layer를 개발하였다. 이러한 base layer로써 MgO를 경사지게 증착하여 고온 초전도박막을 증착하기 전에 V자 형태의 골을 미리 제작하는 새로운 방법으로 제작한 SNS 죠셉슨 접합의 가능성, 장접과 기초적인 특성을 측정해 보았다. 또다른 방법으로 STO와 MgO 혹은 STO와 YSZ의 열팽창계수의 차이를 이용하여 수백 Å의 gap을 가진 base layer의 제작을 시도하였다
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 반도체
'90 년대 후반기에 들어서 세계 반도체 시장은 급격한 변화를 겪고 있다. 기존 업체의 대규모 설비 증설과 신규 업체들의 연이은 시장 진입에 의한 DRAM의 공급 과잉으로 더욱 치열한 가격 경쟁을 벌이게 되는 등 위기 의식이 고조되고 있는 현실이다. 이에 따라 반도체 디바이스의 회로 패턴은 미세화, 고집적화가 그리고 생산 현장에 있어서는 보다 높은 생산 수율이 요구되고 있다. 현재 약 440 여개에 이르는 단위 공정을 갖는 16메가 DRAM은 각 생산 공정이 끝나는 즉시 계측 공정을 통하여 엄격한 품질 관리를 실시한다. 이러한 품질관리를 통하여 불량률을 낮추고 높은 수율을 목표로 한다. 현재 반도체 산업현장에서는 이탈이 발생하였을 경우 숙련된 엔지니어의 판단에 전적으로 의존하고 있다. 그러나 현재 우리나라 반도체 생산현장에서 숙련된 엔지니어의 수는 극히 부족한 상태이므로 이들에 의한 이탈처리에는 많은 어려움이 존재한다. 특히 이들의 부재시, 혹은 아직 숙련되지 않은 엔지니어가 이탈처리를 관리할 경우 많은 판단착오를 일으키기 쉽다. 그러므로 이를 방지하기 위하여 전문가 시스템의 도입이 필수적이다. 즉 숙련 엔지니어의 지식을 지식 베이스(Knowledge Base)화하고 이를 바탕으로 Rule을 구성한 후 추론엔진을 구축하면 숙련 엔지니어에 대한 의존도가 낮아지고 이탈처리 관리가 매우 수월하게 된다. 따라서 본 연구에서는 숙련 엔지니어의 지식을 최대한 도출하여 지식 베이스를 구축하고 최적의 Rule을 구성하여 추론 결과가 최대한 숙련 엔지니어의 판단에 근접하는 것을 목표로 한다. 이를 통하여 빠른 이탈처리, 엔지니어의 판단착오 방지, 미숙련 엔지니어의 이탈처리 관리 등의 효과를 얻고 궁극적으로는 높은 수율을 얻고자 한다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 반도체
본 연구에서 개발된 단축 얼라이너는 반도체 공정에 사용되는 클러스터툴로써, 실리콘 웨이퍼를 정렬하는 데 사용된다. 웨이퍼를 척(chuck)에 올려놓고 1회전시키는 동안에 고휘도 LED와 CCD 라인 센서를 이용하여 웨이퍼의 중심 및 fiducial mark의 위치를 판단하고 이를 정해진 방향에 위치하도록 정렬한다. 이 장비로는 직경 150mm 웨이퍼를 기준으로 0.3도 이하의 표준편차를 갖고 fiducial mark를 찾아낼 수 있으며, 편차는 15마이크로미터 내의 정밀도로 구할 수 있다. 얼라인 시간은 위치 정렬을 포함하여 평균 4.1초밖에 소모되지 않는다.개발된 얼라이너는 고온의 웨이퍼를 진공중에서 다루기 때문에 일반 얼라이너와 같이 진공빨판을 사용하여 웨이퍼를 chuck에 고정시키지 못하고 단지 3-4개의 금속핀위에 올려놓고 회전하기 때문에, 회전하는 동안에 웨이퍼가 척(chuck)에 대해 상대적으로 움직이지 않도록 해야 한다. 이로 인해 얼라이너의 최대가속도가 제한되며, 또한 웨이퍼의 미소 진동을 방지하기 위한 척과 서보제어기가 필요하였다. 또한, 진공을 유지하기 위해 회전축에는 실링이 설치되는데, 이로 인한 점착-미끄럼 마찰로 인해 서보의 제어가 더욱 어렵게 된다. 또한 마찰특성이 시간에 따라, 또는 실링 설치상태에 따라 달라질 수 있기 때문에, 마찰 특성변화에 따른 제어능력이 필요하였는데, 본 연구에서는 시지연제어를 사용하여 이에 대응하였다. 본 시스템의 개발 기술이 누적된 기술은 반도체장비를 비롯한 초정밀 위치제어기술, 진동을 줄이는 구동 시스템 설계 기술, 실링등으로 인한 마찰 및 마찰변화에 대응하는 서보제어기술, 비접촉 센서인 CCD 라인센서를 이용하는 측정기술 등이다
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 반도체
현재 세계 센서시장의 대부분을 차지하고 있는 압력센서 가속도 센서 온도습도 센서 유속 유량센서 등의 설계 및 제조기술을 보유하고 있는 본 연구실은 국산 시제품 개발단계에 있다. 이번에 개발된 반도체 센서의 주요 기술은 설계기술 제조기술 시험기술 등으로 대별할 수 있다. 여기에는 기계적 구조에 대한 이론적 시뮬레이터 개발과 같은 설계기술은 물론 미세 신호를 증폭 변환하는 회로 설계, 이론적 분석에 근거한 마스크 설계 등이 증폭된다. 현재 마이크로 머시닝, 박막 도포, 식각, 접합, 패키징 기술등의 제조기술과 개발된 센서의 감도, 온도 특성, 장기 안정성, 기계적 강도 등을 시험하고 평가하는 기술도 이미 개발된 상태다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
액정표시소자(LCD)는 경량,박형,저소비전력의 장점으로 인하여 최근 notebook computer, monitor를 중심으로 그 수요가 급격히 증가하고 있으며 특히 정보화 사회에서 display소자의 중요성이 부각되면서 새로운 산업의 한 축으로 성장해가고 있다. 우수한 특성을 갖는 LCD를 설계하기 위해서는 각종 물성 및 공정 parameter의 최적화가 요구되는데 이러한 최적설계에는 약간의 검증실험을 포함한 simulation방법이 대단히 유용하다. simulation의 목적은 TN-LCD의 특성에 미치는 각 parameter의 영향을 상세히 분석하고 동시에 공정 parameter의 tolerance를 크게 하여 최적의 특성을 갖는 TN-LCD를 설계하기 위한 parameter의 최적화에 있다. 본 연구에서는 TN-LCD 광학 simulation의 핵심인 액정의 분자배열 해석과 투과율계산에 대한 이론을 구체적으로 기술한다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
본 기술은 현재 전량 외국에서 수입 사용하는 교통신호등용 백열전구를 대체하는 반도체 LED를 220V 상용 고전압에서 고효율로 사용하게 하는 교통신호등 LED 전구에 관한 기술임고효율(기존의 전구에 비해 효율이 9배 정도임) - 장수명(기존의 전구에 비해 20배 이상으로 반 영구적) - 수명 및 에너지 절약대비 가격이 저렴
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 집적회로설계 기술 (B63)
1. 백색 EL 표시소자 제조기술 개발 [ 가. 고휘도 ELD를 위한 재료 및 박막 공정 개발 연구 나. 칼라필터 재료, Inverted 구조용 박막 전극 연구 다. 표시장치의 자동화 특성 분석 시스템 연구 및 구현 ] 2. 청색 LED, LD용 반도체 개발[ 가. 본 연구실에서 제작한 MBE 장치에 RHEED를 부착 나. Planar 도핑방법으로 n·p 형 도핑을 행하여 박막의 특성을 개선 다. ZnSSe와 ZnMaSSe 박막의 성장조건에 대하여 연구 라. TEM, PL 등의 방법을 이용하여 성장된 박막의 구조와 결함을 분석 마. 제작된 LED에 대해서 발광 특성을 분석 바. 오음 접속을 개선하기 HgSe의 성장조건에 대하여 연구 ] 3. 고휘도 황색 LED 개발[ 가. GaInP 성장층의 n Doping 제어 및 deep level 형성 연구 나. Se, Te의 doping조건 연구 다. p-InGaP/n-InGaP pn 접합의 형성 라. MOCVD로 성장한(Al0.5Ga0.5)In0.5P의 Si 및 Zn doping 마. MOCVD로 성장된(AlGa) InP 층의 산소의 혼입 확인 바. AlGaP의 DH 구조 LED의 특성 연구] .
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 소프트 스위칭 기술
특고압(저압) 전력선의 이상유무를 감시하는 장치로서 결상(휴즈단선), 정 전,누전,과전류,과전압,저전압,역상,불평형전압등의 전기이상 발생시 자동으 로 전원을 차단하고 즉시 담당자에게 음성,호출,전화,휴대폰으로 고장내용 을 정확히 구분하며 알려주며 정상전원이 회복되면 다시 알려주고 전원을 재투입해주는는 장치로서 소방,가슬,도난시스템 동작유무도 알 수 있는 세계에서 유일한 통합보호계전기시스템차단기(VCB,ACB,MCCB)와 연계하여 선로차단 및 재투입동작이 수행되므 올 무인운전이 가능함 저압측에 취부하여 고압측결상(휴즈단선)시 2차측 모타 유기전압이 발생하면 기존 국내외 계전기는 전압검출방식을 택하여 동작이 불확실했으나 이런 결점을 완벽하게 보완하여 역전압에 무관하게 위상 검출방식으로 프로그램화하여 정확히 결상을 검출함 전용 P.T가 불필요하며 POR, UVR, OVR등을 일체화한 통합보호계전기시스템누전, 과전류계전기는 설정치의 60-80%가 되면 1차경보(음성,호출)하고 설 정치의 100%에 도달하면 CB를 차단해주므로 화재, 감전사고를 사전에 예 방할 수 있음(1차경보는 선택사항임), 고장내용을 구분하여 음성, 호출, 전화, 휴대폰으로 알려주므로 전혀 모르 는 미숙련자도 고장내용을 알 수 있음
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
Machine. Co가 보유한"U"자형 벨트구동전달장치(발명특허 제87821호)의 특허권을 응용한 ONE MOTOR-ONE BELT-FOUR FAN SYSTEM -FAN의 장착수는 용도에 따라 증가할 수 있음 -4개의 FAN을 각기 다른 방향으로 착설하여 회전없이 360°어느 방향에 서도 송풍이 된다. -구동모터부와 FAN의 완전한 이격으로 모터에서 발생한 더운 열을 미연 에 차단한다. -FAN의 위치가 각기 다른 각도로 설치되어 송풍의 구획범위가 극대화된다. -실내의 구석구석에 바람을 전달시켜주어 항상 쾌적한 실내환경을 만든다. -FAN부위외의 부위는 흡풍이 이루어지므로 AIR POCKET을 형성 충분 한 송풍과 흡풍에 의한 제 바람을 낼 수 있다. -직접 구동이 아니므로 소음과 진동을 억제할 수 있다. -실내 바람의 기류가 입체적이므로 각종 벌레들의 접근을 미연에 차단할 수 있다. -기존의 선풍기가 보여주는 획일적 디자인에서 탈피 전혀 새로운 디자인 구성으로 신 상품에 대한 고부가가치를 창출할 수 있다. -한 대의 제품으로 기존 선풍기 4대에 가까운 효과를 표현할 수 있다. -공기청정기로도 사용할 수 있어 계절에 관계없이 사용할 수 있다.
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
젖은 음식물쓰레기의 배출에 대한 규제가 강화되면 젖은 상태로 배출하기 어렵기 때문에 건조장치의 사용이 불가피하며 비교적 제조공정이 단순하게 구성하는 것이 가능하다.고압 및 저압설비의 용량에 무관하게 설치 가능함
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
본 기술은 밀페된 실내에 사용하는 에어콘에 산소를 발생하는 장치를 부가시켜 실내에 산소를 공급함으로써 실내에 거주하는 사람에게 충분한 산소를 공급하여 작업능률 향상과 건강에 유익한 에어콘 부가 장치에 관한 기술임장점 - 물을 전기분해하여 산소를 공급하도록 되어 있음
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
공중전화 크기의 기계본체에 일반 샤워기처럼 전기가 통하지 않는 호스와 손잡이가 연결되어 전신 어느 부위나 자유롭게 때를 밀수 있고 동시에 시원한 안마도 해주며 자력선 치료 효과도 발휘하도록 된 불황무관 안전 고수익 영구적 안마시스템일정 기간 단위로 특허권 전용실시 계약을 하되 사업화 할 형식종류별로 각각 계약보증금 1000만원에 계약 다음달부터 매월 로얄티 200만원만 지불하고 일절의 사업관여 없이 국내 생산판매 독점. 개발자가 초기에 생산기타 관련기술을 지원. 기타 상호협의 함.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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전기·전자 > 계측기기
본 고안은 균형의 여부를 감지하여 어떠한 동작의 제어를 하고자 하는 장치로서 어떠한 기기나 물체에 부착하여 어느 일방향으로 기울어 균형을 잃게 되면 이를 감지하여 동력의 전원을 연결시켜 이 동력에 의해 균형을 유지한다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
가공기계 정밀도에 영향을 주는 정적인 오차로서는 기하학적 오차, 기구학적 오차, 열적 오차 등이 있으며, 동적인 오차로서는 서보게인 오차, 동특성 오차 등이 존재한다. 본 연구에서는 기구볼바를 이용하여 가공기계의 기하학적 오차인 위치오차, 직각도 오차, 각도오차, 진직도 오차 등을 구하고, 또한 동적 오차인 서보게인의 오차 등을 평가하였다. 기구볼바 측정법은 공작기계의 가공정도 평가를 고정밀도와 고능률로 가능하게 하기 때문에 많은 관심을 모으고 있다. 기존의 기구볼바 측정은 2차원 작업공간에서의 오차평가로서, 본 연구에서는 공작기계의 3차원 작업공간에서의 공작기계의 기하학적 기구학적 오차를 체계적으로 분석하는 새로운 방법으로 공작기계의 입체오차 방정식을 고려하고, 기구볼바를 이용한 오차 측정 기법과 연계하여 위치 오차, 각도 오차와 같은 각각의 파라메트릭 오차 성분들 평가하고 해석하는 방법을 개발하였으며 실제로 상용의 공작기계에 대해서 3차원 작업공간에서의 입체오차를 고려한 해석 모듈을 개발하여 3차원 공간에서의 각 파라메트릭 오차는 물론, 서보게인 오차등의 동적 오차 등도 매우 효율적으로 분석할 수 있는 시스템을 구현하였다.
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- 한국생산기술연구원
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- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
본 고안은 실린더고정부, 시편탈착부, 로드셀고정부를 수평으로 조립하여 일체화시킨 서어보유압식 피로시험기이다. 종래의 피로시험기는 로드셀고정부, 시편탈착부, 실린더고정부가 수직적으로 배치되기 때문에 부식피로시험시 부식용액의 누출로 인해 하부의 서어보구동부가 손상되는 경우가 많고, 부식조를 밀폐형으로 만들어야 하기 때문에 시편의 탈착이 힘들고, 균열길이측정을 위한 각종 게이지의 장착이 어려웠다. 또한, 하중축과 고정축이 다른 시편의 경우에는 시편탈착부와 로드셀의 위치를 바꾸고 대형의 지그를 설치하여야 하는데 기존의 시험기로서는 어려움이 많았다. 따라서, 이러한 제문제점들을 해소하기 위하여 시험기를 크게 세부분(실린더고정부, 시편탈착부, 로드셀고정부)로 나누어 수평으로 조합함으로써, 부식피로시험시 발생하는 제문제점들을 해결하였고, 각 이음부를 볼트로 체결하고, 인장압축 겸용로드셀을 사용하여 하중축과 고정축이 다른 시편의 시험시 각부분의 위치변경이 용이하도록 하고, 소형, 경량으로 제작하여 시험의 편의성을 도모하였다.
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
쌀통 하단에 쌀의 무게를 측정할수 있는 저울을 부착 쌀통에 남아있는 쌀의 잔여량을 손쉽게 알수있게하고 새로 구입한 쌀의 함량을 정확히 측정 함량 미달로 인한 피해방지와 계획성 있는 식생활을 영위할 수 있게 하기 위한 고안
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
구조물에 질량을 가진 물체가 부딪치면 구조물은 동적 반응을 보이게 되고, 심각한 경우 구조물의 안전에 위험을 초래하게 되며, 구조물의 건전성을 평가할 때, 부재의 충격하중에 대한 강도를 고려하지 않으면 안된다. 구조물의 형상이 복잡해지면 응력장의 변화를 실험적으로 가시화하는 것이 극히 어려우므로 수치해석적인 방법에 의한 동적거동해석을 필요로 하게 된다. 본 연구에서는 수치해석적인 방법으로 충격하중에 의해 형성되는 응력장의 분포 양상 및 시간의 흐름에 따라 형성되는 응력장의 크기를 해석하고, 응력 집중부위를 고찰하여 구조물의충격손상 및 관통저항을 예측할 수 있는 프로그램을 개발하였다.
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
전자기 음파(Electromagnetic acoustic transducer)를 이용하여 비접촉으로 냉연강판에 판파를 발생시켜 냉연강판의 3축(0도, 45도, 90도)에서의 초음파 속도를 측정하여 강판의 성형성을 구하는 장치를 개발함장점 - 비접촉, 비파괴 방법이므로 생산라인에 직접 활용하여 재품 전구간의 성형성을 측정하여 품질보증의 자료 단점 - 전자기 음파를 이용하여 판파를 발생하므로 대상재료는 자성을 띤 금속에 제한됨
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-04-07
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
표준규격 : IEC Pub. 651 type 1, 측정범위 : 30 - 140 dB rms(A), 4 range switch, 주파수 범위 : 20 - 12,500 Hz, 청감보정회로 : A, C, F , 동특성 : Slow, Fast & Impulse, Display : 4-digit LCD, 0.1 dB step, 자체교정기능 내장 (1,000 Hz sin wave), 전원 : 6 v DC장점 - 측정음압을 0.1 dB의 단위로 디지탈 표시, 측정결과는 별도의 기록계 또는프린터표시(RS-232C), 청감보정회로에 의한 환경, 기계 소음의 측정 및 F 특성에 의한 주파수 측정기와의 연결 - 주파수 분석, 동특성에 의한 Fast, Slow 동작 및 Impulse 기능
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2000-04-07
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