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일반기술 화학공정 > 나노소자 제조공정 기술

균일한 크기의 복합기능 나노 입자 제조방법

본 발명은 코어-쉘 나노 결정을 합성하는 방법에 관한 것으로, 구체적으로는높은 결정화도, 균일한 크기, 높은 화학적 안정성을 갖는 코어-쉘 (core-shell) [예를 들어, 산화철-금 (FeOx@Au)] 나노 결정을 합성하는 방법에 관한 것이다. 코어-쉘 구조는, 산화철 전구체를 환원하여 코어에 해당하는 산화철 시드(seed)를 형성한 후, 연속적으로 금(Au) 전구체를 환원하여 산화철 위에 금을 코팅하는 과정으로 복합기능 산화철-금 나노 결정을 합성한다.

보유기관
고려대학교
등록일
2008-04-07
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일반기술 화학공정 > 나노소자 제조공정 기술

복합기능 자성체 코어 - 반도체 쉘 나노 입자 및 그의제조방법

본 발명은 자성체 코어 - 반도체 쉘 나노 결정을 합성하는 방법에 관한 것으로, 구체적으로는 높은 결정화도, 균일한 크기, 높은 화학적 안정성을 갖는 자성체 코어(core) - 반도체 쉘(shell) [예를 들어, 마그네타이트-카드뮴 셀레나이드 (Fe3O4@CdSe)] 나노 입자 및 이를 합성하는 방법에 관한 것이다. 코어-쉘 구조는, 마그네타이트 전구체를 환원하여 코어에 해당하는 마그네타이트 시드(seed)를 형성한 후, 연속적으로 CdSe 전구체를 환원하여 마그네타이트 위에 CdSe를 코팅하는 과정으로 복합기능 마그네타이트-카드뮴 셀레나이드 나노 결정을 합성한다.

보유기관
고려대학교
등록일
2008-04-07
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일반기술 화학공정 > 나노소자 제조공정 기술

산화아연 물질에 대한 건식 식각 방법

본 발명은 산화아연 물질(ZnO)에 대한 건식 식각 방법에 관한 것이다. 특히 식각 가스로 브로민계 가스와 수소가스를 사용하고, 상기 식각 가스를 플라즈마화하여 ZnO 물질을 식각하는 단계를 포함하는 산화아연 물질에 대한 건식 식각 방법에 관한 것이다. 본 발명의 건식 식각 공정에 따라 제조되는 ZnO 물질은 종래 다른 식각 가스와 식각조건을 사용한 경우들에 비해 그 결과로서 복잡한 공정을 수반하는 하드마스크를 사용하지 않고 일반적인 포토레지스트를 사용하여 적절한 식각속도와 재증착이 없는 깨끗한 이방성(anisotropy) 식각 프로파일을 보이는 등 우수한 식각 특성을 나타냄으로써 여러 가지 광전자 소자들에는 물론 최근에 활발히 연구되고 있는 ZnO 박막을 사용하는 센서와 대면적의 TFT LCD 등에 사용될 수 있는 유용한 효과를 제공한다.

보유기관
인하대학교
등록일
2008-08-29
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일반기술 화학공정 > 나노소자 제조공정 기술

ZnO 나노막대의 제조방법 및 그를 이용하여 제조된 ZnO 나노막대

본 기술은 버퍼층이 코팅된 기판 상에 아연염 및 암모니아수를 포함하는 수용액을 이용하여 ZnO 나노막대를 성장시키는 방법, 리쏘그라피법(lithography)을 사용하여 ZnO 나노막대를 선택적으로 성장시키는 방법 및 상기 방법에 의하여 제조된 ZnO 나노막대를 제공한다. 본 기술의 방법에 따르면, 아연염 및 암모니아수의 수용액을 사용한 수열합성방법에 의하여 ZnO 나노막대를 성장시킴으로써 저온에서 대면적으로 ZnO 나노막대를 제조할 수 있으며, 아연이온과 암모니아수의 비율에 따라 착화합물의 안정성을 조절함으로써 반응속도를 조절하여 ZnO 나노막대의 성장을 조절할 수 있을 뿐만 아니라, 액상침전에 의한 아연 소스의 손실을 줄일 수 있으므로 매우 안정적이고 경제적으로 ZnO 나노막대를 성장시킬 수 있다. 또한 리쏘그라피법을 이용할 경우에는 기판상의 원하는 위치에 나노막대를 배열할 수 있어 태양전지, 투명전극, LED, 광촉매 등 더욱 다양한 응용이 가능하다.

보유기관
포항공과대학교
등록일
2008-10-31
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일반기술 화학공정 > 나노소자 제조공정 기술

실란화합물로 개질된 점토화합물, 이를 함유하는고분자/점토 나노복합체 및 이의 제조방법

본 발명은 실란화합물로 개질된 점토화합물, 이를 함유하는 고분자/점토 나노복합체 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 1 내지 3개의 메톡시기와 C1 ~ C20 알킬기로 치환된 실란화합물로 개질된 고분자/점토 복합체는 투명성을 유지하면서도 적은 양의 점토를 이용하여 인장 탄성율, 인장 신율, 항복 강도 등의 기계적 물성이 뛰어나므로 자동차용, 전자정보용, 건축토목용 및 의료용등 기계의 진동 및 충격 흡수용 탄성체와 같이 탄성체의 물성 및 투명성이 완제품의 내구성이나 품질에 지대한 영향을 미치는 부품 등에 있어서 유용하게 사용할 수 있다.

보유기관
인하대학교
등록일
2008-12-19
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