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일반기술 통신 > 기타 무선·이동통신

데이터 송수신에 있어서 채널 충격 응답 줄임 방법

본 기술은 데이터의 송수신에 있어서 채널을 통하여 왜곡된 송신신호를 수신기에서 올바르게 판별하기 위한 방법에 관한 것으로서 채널의 충격 응답의 길이를 줄여, 역 방향 필터 탭 수를 감소시키는 동시에 이로 인한 잡음 전력 증폭을 현저하게 둔화시켜 손실을 최소화 하는 필터를 설계하고, 송수신기의 초기 훈련 과정 중 충격 응답 줄임필터를 실시간으로 구현하는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 주어진 채널의 충격 응답에 확률적으로 독립인 백색 잡음 신호를 부가하여 고유값 들을 증가시켜 고유값의 최대값과 최소값의 비(ESR : Eigenvalue Spread Ratio)를 줄일 수 있다. IRSF를 통과한 신호의 잡음 전력이 현저하게 둔화되어 수신기의 성능열화를 최소화 할 수 있다. 그리고 채널의 충격 응답을 줄임으로써, 결정 궤환 등화기의 역방향 필터 탭 수를 줄일 수 있다.

보유기관
서울대학교
등록일
2004-11-24
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일반기술 통신 > 기타 무선·이동통신

기계적으로 빔의 방향을 조정할 수 있는 안테나 및 그 제조 방법

본 기술은 전기적 위상 제어와 기계적인 마이크로스트립 패치 안테나의 움직임을 동시에 이용하여 안테나의 효율을 향상시키는 안테나 시스템을 구축하기 위한 기본 요소 안테나에 대한 것이다. 본 기술에 따르면 각 요소 안테나에 전기적인 위상차를 주어서 원하는 방향으로 빔을 조정할 수 있을 뿐만 아니라 기계적으로 그 방향으로 요소 안테나를 움직여 줌으로써 목표물의 방향에 관계없이 안테나 효율을 최대로 하는 효과를 볼 수 있다. 효율이 높기 때문에 이 안테나를 수신 안테나로 사용할 경우 보다 적은 전력을 발생시키는 송신기를 사용하더라도 수신 각도에 상관없이 수신 정도를 높일 수 있다. 또한, 송신 안테나로 사용할 경우에도 보다 적은 양의 전력으로도 원하는 방향으로 각도에 상관없이 신호를 충분히 보낼 수 있게 된다.

보유기관
서울대학교
등록일
2004-11-24
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일반기술 통신 > 데이터·IP 서비스제공 기술

P2P

현재 인터넷은 제2의 혁명인 (WWW) 월드와이드 웹의 서버와 클라이언트의 단방향 기반 기술에서 벗어나, P2P 피어와 피어를 다이렉트로 역어 양방향으로 공유하는 제3에 혁명에 들어서고 있다. 이에 P2P기술은 제 3에 혁명으로 불리고 있는 시점이다. P2P에 대표적 기술제품으로는 국외 넵스터, 국내 소리바다등과 같이 파일공유 기술 형태로 개발되어 무수한 네트즌 사용자들과 함께 공유되어 음성적으로 성장한 인지도 높은 기술중 하나이다. 이들에 수익기반은 배너광고 수익등이 주를 차지하고 있다.본 소개 기술은 기존 P2P기술에 단순한 파일공유 기술을 을 이용한 사용자간 유형,무형 상품 매매 시스템이다.본 기술은 기존 P2P에 단순한 파일공유 형태로 개발되지 않고, P2P기반에 전자상거래 결재시스템 과 불법복제를 막는 DRM기술을 결합하여, 개인사용자간에 무형상품(디지털컨텐츠 제품인 텍스트, 이미지, 사운드, 동영상, 정보) 과 유형상품(일반 쇼핑몰에 모든 상품)등을 P2P기반으로 이끌어 사용자간 무형.유형상품을 불법복제 없이 안전하게 매매하는 "P2P기반 사용자간 무형,유형상품 매매 시스템"을 특징으로 하며,이때 사용자간 P2P 거래 수수료가 주요 수익모델이 된다.향후, P2P기반기술을 이용하여, 전자상거래, 통신(모바일), 메신져, 화상강의등 다한 한 기술로 개발되어 사용될수 있다.본 기술은 현재 발명특허 2건이 현재 출원됨.

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(주)이네시아
등록일
2005-01-03
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일반기술 통신 > 기타 통신망

광 링 통신망 구성방법

본 기술은 전광(全光) 어드레스 처리기를 이용하는 새로운 광패킷 교환기를 사용하는 전광(全光)링 통신망 및 다채널 전광링 통신망의 설계에 관한 것이다.초고속의 송수신을 위하여 광섬유 케이블(optical fiver cable)을 사용하는 광 링 통신망에 있어서 각 지국(또는 노드 : Node)은 광신호의 셀이 입력될대, 셀의 목적지 어드레스와 자국의 어드레스와의 일치 여부를 조사하여 광신호 셀의 수신여부를 결정하는데, 종래의 광 링 통신망에서는 셀의 목적지 어드레스와 자국의 어드레스와의 일치여부의 판단을 위하여 우선 입력되는 셀의 광 신호를 전기신호로 변환한 다음 전기적 어드레스 처리기로 수신여부를 결정하였다.본 기술에서는, 이러한 광전(光電)신호 변환의 번거로움과 전기적 어드레스 신호처리로 인한 통신망의 속도제한의 단점을 제거하기 위하여 광섬유 지연선로 정합 여과기와 문턱값 감지기로 구성되는 광 어드레스 처리기를 이용하는 전광 패킷 교환기를 사용하여, 초고속의 광통신망을 실현한 것으로, 전광 링 통신망에 파장 다중화 방식을 적용하면 통신망의 대용량화를 실현할수 있는 장점이 있다.

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

광 패킷 교환기

본 기술은 전광 어드레스 처리기(all optical address pro-cessor)와 효율적인 어드레스 지정 및 검출 알고리즘을 상요한 광 패킷 교환기(photonic packet switching device)에 관한 것이다.광섬유 지연 정합 여과기와 문턱값 감지시로 구성되는 전광어드레스처리기를 사용하며, 광 지연선로 정합 여과기에 의해 출력되는 신호 즉, 패킷의 어드레스와 광지연선로 정합 여과기내의 어드레스와의 상관 펄스들은 비가간섭적으로 더해져서 만들어지고 문턱값 감지시로 입력되고, 자기 상관 펄스의 첨두치는 항상 교차 상관펄스의 첨두치 보다 크기 때문에 문턱값 갑지기는 상관 펄스의 크기를 이용하여 자기 어드레스와의 일치 여부를 결정할 수 있게 되며, 광패킷 교환을 위한 어드레스 지정 및 검출 알고리즘을 이용하면 최소한의 어드레스 비트로 최대한의 어드레스 지정이 가능하며 용이하게 어드레스 일치 여부를 감지하게 되어 종래의 기술의 전기적인 어드레스 처리시 발생되는 전기적신호 처리속도 제한 문제를 제거함으로써 패킷 어드레스필드의 전송속도와 데이터 필드의 저송속도를 같게 하여 디지틀 통신망의 시스템 용량을 월등히 증가시킬 수 있는 장점이 있다.

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

광패킷 교환을 위한 어드레스 부호화 및 검출방법

본 기술은 광패킷 교환을 위한 효율적인 어드레스 지정 및 검출을 위하여 어드레스 필드내에서 한정된 비트수를 사용하여 통신망 내에서 최대한의 사용 가능한 어드레스 수를 지정케 하고 수신단에는 수신될 셀(혹은 패킷)헤더, 즉 어드레스 필드로 부터 어드레스 정보를 검출하는 방법에 관한 것이다.본 기술을 위한 어드레스 처리장치는 광섬유 지연선로 정합 여과기와 문턱값 감지시로 구성되며, 입력된 셀의 어드레스 필드가 정합 여과기에 들어왔을때, 정합 여과기는 정합 여과기 내의 노드 어드레스와 입려된 셀 어드레스와의 상관 펄스들을 문턱값 감지기로 출력하는데, 노드 어드레스와 셀 어드레스가 일치하면 자기 상관펄스의 첨두치가 교차 상관펄스의 첨두치 보다 항상 큰 원리를 이용하여, 설정된 문턱값을 사용 어드레스 일치 여부를 결정하며, 입력된 광신호를 어드레스가 노드 어드레스와 일치하면 문턱값 감지기를 트리거 펄스를 발생하여 게이트 펄스 발생기를 구동시킨다.

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

다중 신호 송수신 장치

본 기술은 여러개의 스위치 신호를 하나의 신호선으로 송수신 전달하기 위한 다중 신호 송수신 장치에 관한 것으로 다수개의 스위치 신호 전송시 스위치와 신호선을 1:1 구성시킬 경우 신호선의 과다 사용과 이에 따른 고장 부위 확인에 어려움이 따르게 된다.본 기술은 다수개의 스위치 신호를 송수신 함에 있어서, 다수개의 병렬 스위치 신호 입력을 정해진 시간안에 시분할하여 각 스위치의 온/오프 상태를 나타내는 직렬 다중화 신호로 출력시키는 다중신호 송신장치를 구비하여 하나의 신호선으로 시분할 다중화 신호를 송신하고 이를 수신하여 클럭동기를 맞추어 시분할된 병렬 스위치 신호로 출력시키는 다중 신호 장치를 구비시킴으로써 하나의 신호선으로 다수개의 스위치 신호를 송수신할 수 있게 된다.

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

종합정보통신망을 위한 2선식 댁내망에서의 1대 다중점 접속방법

본 기술은 종합정보통신망을 위한 2선식 댁내망에서의 1대 다중점 접속 방법에 관한 것으로서, 망종단기와 단말기가 서로 다른 펄스폭의 의사 삼진 부호화 기법을 사용하여 한 비트 슬롯의 다른 시간에 단일의 링크를 점유하고, 여러 단말기들에서 오는 신호의 전달 지연 시간이 서로 다르므로 망종단기는 모든 단말기의 데이터가 안정적으로 나타나는 시점에서 데이터를 샘플링하고, 망종단기 신호와 단말기 신호가 서로 다른 펄스폭을 가지므로 망종단기와 단말기들이 접속되어 통신하고 있는 상태에서 새로운 접속을 시도하고자 하는 단말기는 비동기 상태로부터도 망종단기의 신호를 검출하여 동기를 복구하는 것임을 특징으로 한다. 본 기술에 의하면, 추가적인 회선의 증설없이 종래의 2선식 댁내망을 이용하여 ISDN 서비스를 제공받을 수 있고, 4선식 접속 규격에서 규정하는 프로토콜을 적용하므로 4선식에서 개발된 시스템을 대부분 그대로 이용하면서 2선식 댁내망에서의 ISDN 서비스가 가능하도록 하는 장점이 있다본 기술에 의한 2선식 댁내망에서의 1대 다중점 접속을 위한 방법에서는, 망종단기와 단말기가 서로 다른 펄스의 의사 삼진 부호화 기법을 이용하여 다른 시간에 단일의 링크를 점유하도록 한다. 여러 단말기들이 경합을 벌이는 경우 망종단기는 모든 단말기의 데이터가 안정적으로 나타나는 시점에서 데이터를 샘플링하고, 또한 망종단기 신호와 단말기 신호가 서로 다른 펄스폭을 가지므로 망종단기와 단말기들이 접속되어 있는 중간에 접속하는 단말기는 비동기 상태에서도 망종단기의 신호를 구별하여 동기될 수 있다. 따라서, 본 기술에 의하면, 추가적인 회선의 증설없이 종래의 2선식 댁내망을 이용하여 ISDN 서비스를 제공받을 수 있고, 4선식 접속 규격에서 규정하는 프로토콜을 적용하므로 4선식에서 개발된 시스템을 대부분 그대로 이용하면서 2선식 댁내망에서의 ISDN 서비스가 가능하도록 하는 장점이 있다.

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 무선·이동통신

코드분할다중접속 방식의 이동통신 시스템에서의 호 연결제어 방법

본 기술은 CDMA 방식의 이동통신 시스템에서의 호 연결 제어 방법에 관한 것이다.본 기술에서는 각 주파수 대역마다 핸드오프를 위한 대기 큐를 두고, 신규 호 연결 요구에 따라 최저 점유 주파수 대역을 선택한 후 유휴 채널의 존재 여부에 따라 채널을 할당하거나 호를 절단한다. 또한, 핸드오프 호 연결 요구에 따라 최대 점유 주파수 대역에 대한 요구가 아닐 경우 소프트 핸드오프를 실행하 고, 최대 주파수 대역에 대한 요구일 경우 유휴 채널의 존재 여부에 따라 대기 큐 사용 여부를 검사하거나 하드 핸드오프를 실행하며, 대기 큐를 사용할 경우 대기 큐에 대기중인 핸드오프 호를 포함한 최대 점유 및 최소 점유 주파수 대역에서 서비스중인 호의 수에 대한 차이와 하드 핸드오프 임계치와의 크기를 비교하여 그 결과에 따라 소프트 핸드오프 또는 하드 핸드오프를 실행한다. 본 기술에 의하면 각 주파수 대역간의 트래픽 점유를 균형적으로 할당할 수 있고, 소프트 핸드오프와 하드 핸드오프의 발생율을 인위적으로 조절할 수 있으며, 진행중인 핸드오프 호에 대한 절단율을 줄일 수 있다.

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

파장분할 다중화 방식을 이용한 양방향 다채널 광 링 통신망

본 기술은 시계방향으로 전파되는 일군의 파장채널(λ1, λ3, λ5,…)과 반시계방향으로 전파되는 또다른 일군의 파장채널(λ2, λ4, λ6,…)을 갖는 링 통신망을 구성하여 노드제어기의 제어에 따라 자국으로 부터 목적지 노드까지의 거리가 짧은 방향으로 신호를 주입시켜 통신망내에서 신호의 전파지연시간을 감소시켜 통신망 성능을 향상시키는 양방향 다채널 광 링 통신망에 관한 것이다.종래의 광 링 통신망 구성에서는 모든 채널들의 신호전송이 단일방향으로만 이루어지므로, 한 노드가 그 신호 전송방향의 반대쪽 인접 노드들에게 데이터를 송신할때도 신호의 전파시간은 링을 거의 한바퀴 도는데 걸리는 시간, 즉 링순환 시간과 거의 같게 된다.그러나 본 기술에서는 신호를 전송할 수 있는 채널들의 방향을 양방향으로 하여 링통신망을 구성하여, 통신망내의 각 노드는 목적지 노드까지의 거리가 짧은 방향의 채널로 신호를 주입시킴으로써, 종래의 단일 방향 다채널 광 링 통신망 구성보다 신호의 전파시간을 평균1/2로 감소시키고 데이터의 평균전달 지연특성을 향상시키며, 통신망의 용량은 약 2배로 향상시킬 수 있다

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고려대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

격자쌍을 이용한 투과형 광 결합 시스템 및 그 응용

본 기술은 격자쌍을 이용한 투과형 광결합 시스템 및 그 응용에 관한 것으로 격자를 포함하는 두개의 광도파로를 서로 근접시킴으로써 한 광도파로에서 다른 광도파로로 광 결합이 발생하여 특정파장의 빔만이 입사빔의 진행방향과 같은 방향으로 출사되도록 하는 투과형 광 결합 시스템 및 그 응용에 관한 것이다. 격자를 포함하는 두 개의 광도파로를 서로 근접시킴으로써 한 광도파로에서 다른 광도파롤로 광 결합이 발생하여 특정파장의 빔만이 입사빔의 진행방향과 같은 방향으로 출사되도록 하는 투과형 광 결합 시스템이다. 본 기술에 따르면, 고가인 셔큘레이터가 필요없는 투과형 광 결합 시스템을 이용하게 구성할 수 있기 때문에 저렴하고 소형으로 투과형 분산보상기, 양방향 파장 다중화/ 역다중화 광 시스템, 양방향 파장 추출 광시스템 등에 응용된다.

보유기관
성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

광섬유 평광자

광섬유에 진행하는 s-평관된 빔은 기계적으로 형성되는 격자에 의해서 손실되고, p-편광된 빔은 손실없이 투과되는 원리를 활용하여, 광섬유 평광자를 구현한다. 평관 축을 쉽게 회전시킬 수 잇으며, 편광 정도를 가변할 수 있다는 장점이 있다.쉽게 구현할 수 있기 때문에 제작비용이 싸고, 편광축을 쉽게 회전시킬수 있으며, 모든 광섬유에 구현이 가능하다. 개로운 개념이 편광자 개발로 광통신 분야의 관련 과학기술의 활발한 응용이 기대된다. 상품화는 경우, 수입 대체효과와 수출 효과가 기대된다.

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 무선·이동통신

무선 네트워크에서 트랜잭션 처리를 위한 로킹 프로토콜 처리방법

본 로킹기법에서는 모바일 네트워크에서 접속단절이 발생했을 시, 많은 객체를 점유한 트랜잭션의 처리 시간이 연장되는 것을 줄이기 위해 기부 연산을 모바일 환경에 맞게 새롭게 적용하였으며, 모플렉스 트랜잭션 모델을 사용하기에 적합하게 확장형 이타적 로킹 기법을 적용한다.본 로킹기법은 무선 네트워크 환경에서 보다 빠르고 안정적인 트랜잭션 처리를 위한 기능을 제공함으로써 현재 무선단말기에 적용이 가능하다. 현재 무선 단말기, 즉 PDA, 휴대폰 데이터 전송을 사용한 모바일 뱅킹, 주식 거래 분야에서 사용이 가능하다.

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 무선·이동통신

무선통신환경을 위한 키 분배 프로토콜 방법

본 기술의 키 분배 프로토콜은 등록 과정과 키 분배 프로토콜의 수행 과정으로 구성되어 있다. 등록 과정은 사용자와 서버가 비밀 정보를 나누어 갖는 과정이다. 키 분배 프로토콜의 수행 과정은 기존의 키 분배 프로토콜에서 제공하지 않은 양방향 상호 개체 인증, 양방향 익명성 보장, 양방향 부인 봉쇄 등의 보안 요구 사항을 제공하며, IC 칩을 이용하여 단말기의 연산 부담을 줄여 무선 단말기 환경에 효율적으로 적용할 수 있다.본 키 분배 프로토콜은 사용자와 서버가 등록 과정을 통해 비밀 정보를 나누어 갖고, 이 정보를 이용하여 기존의 키 분배 프로토콜과 동일한 통신 횟수로 인증과 세션키를 생성하는 프로토콜이다.

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 무선·이동통신

무선환경에서 트랜잭션 유형에 따른 복제기반의 동시성 제어방법

본 기술에서는 모바일 네트워크에서 트랜잭션들의 장기 대기 현상을 줄이고자, 확장형 이타적 잠금 기법(XAL)에 유형에 따라 분류된 트랜잭션을 적용하여, 객체로의 접근 허용 범위를 넓혔다. 모플렉스 트랜잭션 모델을 적용하였으며, 모바일이라는 불안정한 환경하에서의 트랜잭션의 일관성을 보장하고 그 트랜잭션들의 처리 지연 시간을 줄여 무선환경에 서늬 트랜잭션처리 효율성을 높이고 있다확장형 이타적 잠금 기법(XAL)을 무선 환경에 맞게 재구성하였으며, 무선 환경에서는 장기 대기 현상이 비효율적으로 많은 부하를 일으킬 수 있으므로, 그 처리 대기 현상의 지연을 최소화 시켰다. 즉, 접속 단절의 현상을 예방할 수 있다

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 전파 기술

비대칭 구조의 광 결합기를 이용한 광섬유 증폭기용 이득 평탄 필터

본 기술은 서로 상이한 두 광 도파로로 이루어진 비대칭 구조의 광 결합기를 이용하여 온도 안정성이 우수하고 반사광으로 인한 궤환 잡음이 없으며 광 결합기의 파라미터에 따라 다양한 이득 평탄 스펙트럼을 구현할 수 있는 광섬유 증폭기용 이득 평탄 필터를 구현하는 것이다.본 기술은 기존의 이득 평탄 필터에 비해 온도 안정성이 우수하고 반사광으로 인한 궤환 잡음이 없으며 광 결합기의 파라미터에 따라 다양한 이득 평탄 스펙트럼을 구현할 수 있다.

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 기타 통신

서로 다른 인증 도메인에서 공개키를 검증하기 위한 방법

본 기술은 인증서 없이 공개키 자체만으로 정당성 검증이 가능하고, 어플리케이션에 사용되어 문제가 발생한 경우 어플리케이션과 자체 인증 공개키 중 어느 쪽에 이상이 있는지를 확인할 수 있으며, 서로 다른 인증 도메인에 있는 사용자간에도 상대방의 공개키를 검증할 수 있는 방법을 제공한다. 본 방식은 자체 인증 공개키의 발급, 사용, 검증 과정으로 이루어진다.본 기술은 자체 인증성, 검증 가능성, 상이한 도메인의 사용자간의 검증 가능성을 제공한다. 또한, 모듈러 합성수 상에서의 이산대수 문제에 기반을 하고 있기 때문에, 제 3자에 의한 사용자 공개키 및 키 발급 기관의 공개키 파라미터의 대체 공격, 공개키 사용자의 부인 공격에 대해 안전하다

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 안테나

압전현상을 이용하여 주파수 조정이 가능한 마이크로스트립 안테나

압전현상을 일으키는 material을 기판에 적용하여 electricfield를 인가하였을 때 공진 주파수를 콘트롤 할수 있는 antenna를 PZT를 이용하여 air-gab antenna와 Linbo를 이용하여 microstrip antenna를 설계하였다.기존의 공지주파수 조정의 문제점을 압전 현상에 의한 antenna기판 변화를 이용하여 microstrip antenna의 주파수특성을 조정하는 것으로 송수신 중에도 공진주파수와 대역폭을 직접 조정가능하고, 기존의 microstrip antenna의 단점이었던 협대역을 개선하는 방법에서 안테나에 물리적인 변형을 가하지 않고 최대한의 감도를 유지하도록 antenna의 송수신 공진 주파수와 대역폭을 안테나 제작 후에도 조정, 이동할 수 있다.

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 안테나

자장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생 장치

냉장형 병렬 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 기존의 대면적용 선형 안테나가 극 초대면적으로 확장 시 생길 수 있는 정상파 효과를 없앤 병렬 안테나이다. 이는 기판의 면적이 현재보다 더욱더 커져도 각각의 플라즈마 소오스를 더하거나 보강함으로써 확장성이 가능한 플라즈마 소오스라 할 수 있겠다. 이러한 소오스위에 자장을 인가함으로써 대면적 플라즈마에서 가장 중요한 플라즈마 균일도를 획기적으로 증가시켰다.TFT-LCD 그리고 PDP 등의 초대면적 기판을 기본적으로 사용하는 디스플레이 산업에 있어 고밀도, 고효율, 그리고 높은 플라즈마 균일도를 가진 소오스의 필요성이라는 측면에서 고려해 보았을 때, 본 기술인 자장강화된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 이러한 산업에 있어 핵심적인 기술중에 하나이며, 기술적인 면에서 대면적화 하기 용이하다

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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일반기술 통신 > 안테나

자장이 강화된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적처리용 유도결합 플라즈마 소오스

자장이 인가된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 우선적으로 소면적의 기판에 대하여 플라즈마 처리 공정을 수행할 수 있도록 상대적으로 상호 인덕턴스값이 낮은 외장형 선형 안테나를 이용한다.본 기술에서는 대면적 플라즈마 발생기술에 있어서 종래의 외장형 유도결합 플라즈마가 지니는 문제점 및 내장형 유도결합 플라즈마 소스 기술의 문제점을 동시에 해결하였다.

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성균관대학교
등록일
2004-11-29
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