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플라즈마 비적용 건식 에칭에 의한 저반사도 대면적 실리콘 기판의 블랙화 방법 이용한 태양전지용 기판 및 태양전지의 제조방법 및 그 제조방법에 의해 제조된 태양전지용 기판 및 태양전지(MANUFACTURING METHOD OF SUBSTRATE FOR SOLAR CELL AND SOLAR CELL USING BLACKEN METHOD OF LOW REFLECTANCE LARGE AREA SILICON SUBSTRATE BY DRY ETCH

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보유기관
한국생산기술연구원
등록일
2024-03-18
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