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일반기술 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

저 컨택트저항 실리콘계 나노선 및 그 제조방법

저 컨택트저항 실리콘계 나노선이 제공된다. 본 기술에 따른 저 컨택트저항 실리콘계 나노선은 실리콘 또는 실리콘-게르마늄으로 이루어진 코어부; 및 상기 코어부를 둘러싸며 금속규화물로 이루어진 표피부를 포함하며, 본 기술에 따른 나노선을 이용하여 트랜지스터 기타 디바이스를 제작하는 경우 나노선과 금속 배선과의 접합시 저저항의 컨택트를 이룰 수 있으므로 고집적 저저항의 고속 반도체 장치를 제조할 수 있다.

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연세대학교

등록일

2008-12-29

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일반기술 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

나노스탬프 제조방법

해당 기술에 따른 나노스탬프 제조방법은 (a) 나노스탬프 모재의 표면에 레지스트층 형성단계 (b) 상기 (a)단계의 레지스트층 위에 복수의 요철부를 갖는 임프린트 스탬프로 임프린트 공정을 수행하여 1차 레지스트층 패턴을 형성하는 단계 (c) 상기 1차 레지스트층 패턴을 마스크로 사용해 상기 나노스탬프 모재를 패터닝하는 단계 (d) 상기 레지스트층을 제거하여 복수의 1차 요철부를 갖는 나노스탬프를 완성하는 단계 (e) 상기 복수의 1차 요철부를 갖는 나노스탬프의 표면에 레지스트층 형성단계 (f) 상기 레지스트층 위에 상기 복수의 요철부를 갖는 임프린트 스탬프를 이동하여 상기 임프린트 스탬프의 철부가 상기 복수의 1차 요철부를 갖는 나노스탬프의 1차 요부 사이에 오도록 한 후, 임프린트 공정을 수행하여 2차 레지스트층 패턴을 형성하는 단계 (g) 상기 2차 레지스트층 패턴을 마스크로 사용해 상기 나노스탬프 모재를 패터닝하는 단계 (h) 상기 레지스트층을 제거하여 복수의 2차 요철부를 갖는 나노스탬프를 완성하는 단계 및 (i) 상기 (e)단계 내지 (h)단계를 N+1차 요철부가 1차 요철부와 겹치기 전까지 N-2회 반복하여 복수의 N차 요철부를 갖는 나노스탬프를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 조밀하게 패턴된 나노스탬프를 복잡한 장비를 사용하지 않고 제조할 수 있다는 장점이 있다.

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고려대학교

등록일

2009-01-22

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일반기술 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

나노소재를 이용한 기체 센서 및 그 제조방법

해당 기술은 나노소재를 이용한 기체 센서 및 그 제조방법이 제공된다.해당 기술에따른 나노소재를 이용한 기체 센서는 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막이 차례로 증착되어 있는 반도체 기판과 상기 실리콘 질화막 상에 형성된 복수개의 IDE 패턴 형태의 히터 어레이로 이루어진 히터전극과 상기 히터전극 상에 형성되며, 전극 단자부 이외의 부분에 적층되어 있는 절연층과 상기 절연층 상에 형성된 복수개의 IDE 패턴 형태의 센서 어레이로 이루어진 센서전극과; 상기 센서전극 상에 형성되며, 나노튜브 또는 나노선이 상기 센서전극과 전기적으로 접촉하도록 분산되어 있는 감지부 및 상기 감지부 및 전극 단자부 이외의 부분에 적층되어 있는 상부 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하며, 해당 기술에따른 기체 센서는 하나의 센서로서 다양한 오염 기체를 고감도로 감지할 수 있고, 성능의 재현성이 우수하다

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고려대학교

등록일

2009-01-22

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일반기술 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

나노막대제조용 화학증착장치

나노막대제조용 화학증착장치(200)에 관한 것으로, 챔버내에 기체화된 반도체재료를 주입하여 기판(21) 상에 나노막대들(42)을 형성하는 나노막대제조용 화학증착장치(200)에 있어서, 상기 장치(200)는 반응원료 기체를 포함한 반응가스들이 반응을 일으키도록 하기 위하여 열원을 공급하는 혼합가스반응 열원부(11) 및 상기 기판(21)상에 상기 반응가스들을 통해 나노막대들을 성장시키기 위하여 베이스로서 나노입자를 성장시키는 위한 열원을 공급하는 나노물질형성 열원부(12)를 포함하여 이루어지며, 상기 챔버는 상기 각각의 열원부(11,12)에 의해 영향을 받는 혼합가스반응 영역(C2) 및 나노물질형성 영역(C3)으로 구분된 것을 특징으로 한다.

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경기기술이전센터

등록일

2009-02-06

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일반기술 화학공정 > 기타 분자·나노 화학공정 기술

나노 클레이 함유 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 이용한 기능성 필름의 제조방법 및 이를 이용한 기능성 필름

□ 기술개요해당 기술은 나노 클레이 함유 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 이용한 기능성 필름의 제조방법 및 이를 이용한 기능성 필름에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 나노 클레이의 분산성을 증대시키기 위하여 중량평균분자량이 2∼5×106 ㎏／k㏖인 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 파라핀 오일에 유기화 처리된 나노 클레이를 혼합 분산시킴으로써 완전 박리된 나노 클레이가 함유된 우수한 물성의 초고분자량 폴리에틸렌 기능성 필름을 제조하는 방법 및 그러한 방법에 의해 제조된 기능성 필름에 관한 것이다. 해당 기술은 나노 클레이 함유 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 이용한 기능성 필름의 제조방법에 있어서, 중량평균분자량이 2∼5×106 ㎏／k㏖인 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 파라핀 오일에 용해시키는 단계 클레이를 유기화 처리한 후 오일에 분산시켜 나노 클레이 분산액을 준비하는 단계 상기 단계에서 폴리에틸렌 수지가 용해된 오일에 상기 단계에서 준비된 클레이 분산액을 첨가하면서 교반시켜 나노 클레이/초고분자량 폴리에틸렌 혼합 용액을 제조하는 단계 및 상기 단계에서 제조된 상기 혼합 용액을 이용하여 기능성 필름을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 클레이 함유 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 이용한 기능성 필름의 제조방법을 개시한다. 해당 기술에 의하면, 나노 클레이를 초고분자량 폴리에틸렌 수지에 효과적으로 분산시켜 필름을 제조함으로써, 가스차단성과 강도가 매우 우수한 기능성 필름을 제공할 수 있다. □ 기술특징나노 클레이 함유 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 이용한 기능성 필름의 제조방법에 있어서, 중량평균분자량이 2∼5×106 ㎏／k㏖인 초고분자량 폴리에틸렌 수지를 파라핀 오일에 용해시키는 단계 클레이를 유기화 처리한 후 오일에 분산시켜 나노 클레이 분산액을 준비하는 단계 상기 단계에서 폴리에틸렌 수지가 용해된 오일에 상기 단계에서 준비된 클레이 분산액을 첨가하면서 반시켜 나노 클레이/초고분자량 폴리에틸렌 혼합 용액을 제조하는 단계 및 상기 단계에서 제조된 상기 혼합 용액을 이용하여 기능성 필름을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름의 제조방법.

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부산기술이전센터

등록일

2009-05-11

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