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탄소재는 결정구조의 특징으로 전기전도도와 열전도도가 매우 우수한 재료이다. 동시에 비중이 낮다. 이러한 탄소재의 특징은 열을 시스템 외부에 배출해야 하는 장치나 부품에 사용되는 방열재료로 매우 접합하다. 본 기술은 방열특성을 극대화하기 위해 탄소재 조직내에 상호연결된 구조를 가진 개기공을 도입하므로써 비표면적을 극대화한 재료로 각종 열교환기, 라디에이터, CPU 쿨러 등에 적용이 매우 유망하다본 기술은 국내에서 생산되는 석탄계 피치를 활용하여 간단한 Foaming공정을 거친후 다공성의 흑연재 내지는 탄소재를 제조하므로서 열전도도와 비표면적이 넓은 다공성의 재료이다.
본 발명은 원자력간 현미경(atomic force microscope; AFM)을 이용하여 차세대 노광 공정 마스크 중의 하나인 극자외선(extreme ultraviolet radiation; EUV) 노광 공정용 반사형 다층 박막 미러를 제조하는 방법에 관한 것으로서, 특히 기판의 다층 박막 구조 위에 증착시킨 흡수체(absorber) 물질의 패터닝(patterning)시에 원자력간 현미경의 탐침(cantilever tip)과 흡수체 물질간의 양극산화현상을 이용하여 기판으로부터 소정 높이와 폭을 가지는 금속 산화물 구조층을 형성시키고 이어 이 금속 산화물 구조층을 식각 처리하여 초미세 선폭의 흡수체 패턴을 형성, 제조하게 되는 원자력간 현미경 리소그래피 기술을 이용한 극자외선 노광 공정용 반사형 다층 박막 미러의 제조방법에 관한 것이다.이러한 본 발명의 제조방법에 의하면, 높은 해상도를 가지는 극자외선 노광 마스크 미러를 제조할 수 있는 장점과 함께 기존의 제조방법에 비해 미세한 흡수체 패턴 사이즈(선폭 30nm 미만)를 가지는 반사형 다층 박막 미러를 제조할 수 있는 장점이 있다.기존의 마스크의 미세 패턴은 electron beam을 이용하여 30 nm정도 미세 패턴을 구현한 것에 비해서, 본 발명은 AFM 리소그래피를 이용하여 패턴 사이즈를 수 nm 이하로 줄일 수 있음. 【발명이 이루고자 하는 기술적 과제】이에, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 기존 전자선 리소그래피 방식의 미세 선폭 구현의 한계를 벗어나 원자력간 현미경을 이용하여 흡수체 패턴을 최소 수 nm까지 구현할 수 있는 극자외선 노광 공정용 반사형 다층 박막 미러의 제조방법을 제공함으로써, 박막 미러의 흡수체 패턴 사이즈를 획기적으로 줄일 수 있을 뿐만 아니라 고가의 전자선 리소그래피 장치와 고진공의 상태를 필요로 하지 않고 대기 중에서도 마스크를 제작할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
열간볼트류 제조에 있어 성형단조 및 압조, 코팅에 있어 기계적 성질의 내구성이 강하고 인성이 강하여 산업특수 분야에 활용도가 큼조직이 치밀하고 안정되어 기계적 성질이 뛰어나 방산제품(군수차량 및 항공기류)등과 항만, 철도, 철교, 고속전철, 올림픽 축구장과 같은 특수구조물에 적합
화장품원료로 다량 사용되는 TiO2와 ZnO는 원료 자체가 화장품으로 사용하기에는 사용감이 나쁘다. 하지만, 백색 안료와 자외선 차단제로 TiO2와 ZnO만큼 훌륭한 무기차단제가 없기에 현 화장품에 다량 사용되고 있다. 본 기술은 이러한 사용감이 열악한 초미립 TiO2와 ZnO를 유기 Polymer에 코팅을 하여 TiO2와 ZnO자체의 화장품적인 특성은 유지하며, 사용감을 월등히 향상시킨 원료를 개발한 것이다. 본 기술은 화장품에 사용되는 무기분체상에 유기성분을 코팅하는 기술을 응용하여 유기성분에 무기분체를 코팅하는 기술로서 형상의 제어가 자유로운 유기분체에 초미립 기능성 무기분체를 코팅하여 복합분체를 형성하는 기술이다. 본 기술은 사용감이 열악한 초미립 TiO2와 ZnO를 유기 Polymer에 코팅을 하여 TiO2와 ZnO자체의 화장품적인 특성은 유지하면서, 사용감을 월등히 향상시킨 원료을 개발하는 기술이다. 본 기술은 화장품에 사용되는 무기분체상에 유기성분을 코팅하는 기술을 응용하여 유기성분에 무기분체를 코팅하는 기술로서 형상제어가 자유로운 유기분체에 초미립 기능성 무기분체를 코팅하여 복합분체를 형성하는 기술이다.
동 신물질은 1500℃이상의 고온에서의 주물 생산에 사용되며, 고강도의 충전재, GRAY CAST IRON과 함께 매우 큰 유효성을 가진다. 발열성 반응에 의해 접촉 용해 원소의 수축 cavities가 감소된다.기술적 특징 : 기술적 OUTPUT(TVG)의 20-30%의 상당한 상승 ; 트리트먼트를 위해 소비되는 물질인 주물을 2kg/t까지 감소 ; TVG unifitsirovanny 원소 증가(비록 주물의 최대 nomenclature가 2-3 그룹으로 구분되어있다 하더라도) ; 언급된 원소는 어떠한 method에 의해서든 제작 가능하다 ; 원소의 사용은 복잡한 기술적 프로세스를 필요로하지 않는다 ; 생태학적으로 안전하다.- 원소의 접촉 용해를 포함한 발열성 반응과 profits 내부로의 가스 압력에 의한 feeding profits 작동의 유효성이 증가된다. - 수축 성질의 결함에 의한 주물의 융합이 감소된다.- 사용의 용이성기술적 특징은 다음과 같다. 기술적 OUTPUT(TVG)의 20-30%의 상당한 상승 ; 트리트먼트를 위해 소비되는 물질인 주물을 2kg/t까지 감소 ; TVG unifitsirovanny 원소 증가(비록 주물의 최대 nomenclature가 2-3 그룹으로 구분되어있다 하더라도) ; 언급된 원소는 어떠한 method에 의해서든 제작 가능하다 ; 원소의 사용은 복잡한 기술적 프로세스를 필요로하지 않는다 ; 생태학적으로 안전하다.
동질이 아닌 자기장 내에서 높은 안정성을 갖는 자성 유동체(MF)의 생산을 위한 새로운 오리지널 method가 개발되었다. 자성 유동체는 filling up 장치에서 동질이 아닌 자기장의 영향하에서 layer 내부로의 분리를 실시하는 전통적 method에 의해 생산된다. 그 결과, 특수 기술적 장치에서 MF를 대신하는 것이 필요하다. 이것은 기술적 기구나 장치의 원가를 감소시킨다. 개발된 method에 의해 생산된 자성 유동체는 106 A/㎡에 접근하는 동질이 아닌 자기장을 포함하는 장치와 기구에 고정된다. 이 기술에 의해 생산된 자성 유동체는 각기 다른 기초를 가지고 있는데, 그 중 특히 탄화수소, 광물, 진공 오일, 물, 글리세린의 basis를 갖는다. 이런 매개물의 다양성은 다양한 기술적 장치와 기술적 프로세스에 MF를 적용시키는 것이 가능하도록 하며, 그 특성의 변경도 가능케 하며(밀도, 점성, 자성을 띔, 증발, 윤활, 열 전도, 전기 전도, 유독성 등), MF의 가격도 조절가능하다.특수 적용 조건에 맞는 유동체의 생산이 가능하다. 향상된 동작 특성을 갖는 MF의 생산 기업은 상당한 투자없이 표준 장비에 재 설비하는 것이 가능하다. 서비스 기간 : 작동 수행에 따라 2-5년간 사용가능.이 기술에 의해 생산된 자성 유동체는 각기 다른 기초를 가지고 있는데, 그 중 특히 탄화수소, 광물, 진공 오일, 물, 글리세린의 basis를 갖는다. 이런 매개물의 다양성은 다양한 기술적 장치와 기술적 프로세스에 MF를 적용시키는 것이 가능하도록 하며, 그 특성의 변경도 가능케 하며(밀도, 점성, 자성을 띔, 증발, 윤활, 열 전도, 전기 전도, 유독성 등), MF의 가격도 조절가능하다
금속성 섬유는 고도의 다공성 물질(다른 물질이 도달하기 어려운 상대적 다공성 포함)을 준비하는데 사용되는 것이다. 금속성 섬유는 열처리에 의해 재생된것을 포함하여, 높은 침투성의 여과기, 이온 비용제, 오일의 snatcher, 유기체 현탁액, 만드는 것이 가능하게 한다. 합성 물질에 부가적 강화를 한 섬유의 사용은 매우 효과적인 것으로, 특히, 컵 패킹, 말단의 고도로 load된 고온 패킹에 효과적이다. 디자인 컨셉은 벨로루시에서 제작된 것으로, 두께 1-100 m의 높은 다공성 여과기에 의한 알류미늄, 아연, 구리 합금으로 된 섬유의 생산이다. 이것은 중금속, 희귀 금속, 오일 catch, 유기체 현탁액에서 생산된 액체 폐기물의 클리닝을 위해 만들어졌다.열처리에 의해 재생된 single-time 여과기의 생산이 가능하다.동 기술은 경제성이 매우 높으며, 폐기물 처리에도 탁월하다. 합성 물질에 부가적 강화를 한 섬유의 사용은 매우 효과적인 것으로, 특히, 컵 패킹, 말단의 고도로 load된 고온 패킹에 효과적이다. 디자인 컨셉은 벨로루시에서 제작된 것으로, 두께 1-100 m의 높은 다공성 여과기에 의한 알류미늄, 아연, 구리 합금으로 된 섬유의 생산이다. 이것은 중금속, 희귀 금속, 오일 catch, 유기체 현탁액에서 생산된 액체 폐기물의 클리닝을 위해 만들어졌다.열처리에 의해 재생된 single-time 여과기의 생산이 가능하다. 다공성 필터는 중금속, 희귀 금속, 오일 catch, 유기체 현탁액에서 생산된 액체 폐기물의 클리닝을 위해 만들어졌다. 열처리에 의해 재생된 single-time 여과기의 생산이 가능하다.
세라믹 코팅이 되어있는 섬유 유리 직물이 사용된 내화 필터의 생산을 위한 기술은 foam-세라믹 필터의 사용으로 주물을 생산하는 분야에 적용되도록 개발되었다. 1000개의 필터가 시제품으로 준비되어 있으며, Mogilev 야금 공장과 MTZ, MZOO에서 gray cast 철을 사용한 주조 여과를 위한 생산 활동 조건하에서 테스트가 이루어졌다. 테스트의 결과는 긍적적으로 나왔다. 통풍 절단의 획득과 패킹 장비는 필터의 시리즈 생산을 위해 필요하며, 동 프로젝트에 부가적 투자 또한 필요하다. 동 기술은 친환경적이다.기술적 프로세스의 향상과 섬유 유리 직물을 사용한 필터의 주입 합성물의 개선으로 그 열 저항력이 증가되었으며, 용해의 활동적 여과 작용 또한 증가되었다. 이것은 슬래그와 비금속성 함유물의 결합을 감소시키며, 적절한 output의 증가를 가져오고, 부품의 기계적 특징을 증가시킨다. 비철 합금과 철 베이스 합금의 여과를 위한 세라믹 코팅된 섬유유리 직물이 사용된 내화 필터 기술은 환경에 나쁜 영향을 미치지 않는 친환경적 기술이다.
동 기술은 온도 ∼ +800℃에서 스팀 파이프라인의 접합부 패킹을 위해 사용되는 것으로, 연료 도관, 오일, 석유 도관, 연소 산물 도관에 사용된다. 동 기술은 밀폐 손실없이 +800℃까지 단기 가열이 가능하도록 한다. 동 물질의 기술적 특징- 전도된 매개물의 압력은 100 atm- 물질의 강도 한계는 220 MPa(22kg/㎟)을 초과하지 않으며, 상대적 신장도가 16%이상인 조인트의 구성은 신뢰성있는 가동성을 보증한다. 기하학적 형태와 사이즈 : 3에서 125mm까지의 ring 원통모양, 원뿔 모양, 늑골 모양과 그 외 모양. 고객의 요구에 의해 500mm까지의 ring 획득이 가능하다. 동 기술은 Russian Sea Register of Navigation에 의해 인가되었다.구리에 기초를 둔 열저항 침전 경화된 jointing 물질의 특징은 다음과 같다. - red copper 충전물과 유기체 베이스의 충전물과 비교하여 동 물질은 신뢰성이 증가되었으며, 수명이 1.5-2배 증가하였다. - 작동 원가가 35-40% 감소되었다.- 화재에 의한 압력의 변화가 전혀 없다. 기하학적 형태와 사이즈 : 3에서 125mm까지의 ring 원통모양, 원뿔 모양, 늑골 모양과 그 외 모양. 고객의 요구에 의해 500mm까지의 ring 획득이 가능하다. 동 기술은 Russian Sea Register of Navigation에 의해 인가되었다.
동 기술은 이종의 전기 촉매현상 범위에 관련된 것으로, 다음 부품의 타입에 따른 화학적 프로세스 속도의 증가를 위해 개발되었다. - 250 Vt·h/kg의 특수 mass 에너지를 갖는 화학적 배터리 파워 공급- 가스 분출의 중화 시스템, 이것은 Euro-1, Euro-2 의 요구에 충족되는 것이다.(탄소 일산화물 SO의 함유량이 95%, 질소 산화물 Nox가 60%, 탄화수소 Chx가 80%, 연기 발생이 90%까지인 중화물의 유효성)- 새로운 파워 유니트의 탄화 수소 연료의 스팀 전환 시스템 (연료 유효성이 10% 증가함)개발된 금속성 strip carrier 준비 method를 바탕으로 한 촉매제는 코팅에 적용되며, 세 개의 층으로 존재한다. : 내부 접착성, 중간 생성물, 외부 촉매 작용 - strip 금속성 carrier에 플라즈마 스프레이를 함으로써 얻어진다. 완료된 coat는 미정질, 나노 클리스탈라인, 비결정 구조의 합성물을 포함한다.프로세스의 원가는 낮추고 그 성과는 높이며, 미 가공 물질을 절약한다. 동 기술은 이종의 전기 촉매현상 범위에 관련된 것으로, 다음 부품의 타입에 따른 화학적 프로세스 속도의 증가를 위해 개발되었다. - 250 Vt·h/kg의 특수 mass 에너지를 갖는 화학적 배터리 파워 공급- 가스 분출의 중화 시스템, 이것은 Euro-1, Euro-2 의 요구에 충족되는 것이다.(탄소 일산화물 SO의 함유량이 95%, 질소 산화물 Nox가 60%, 탄화수소 Chx가 80%, 연기 발생이 90%까지인 중화물의 유효성)- 새로운 파워 유니트의 탄화 수소 연료의 스팀 전환 시스템 (연료 유효성이 10% 증가함)
금속성 구조 물질의 damping과 방음 장치, 내열성이 보증되며, 기계 room, laboratory placement, 자동차의 하우징 디테일 등의 소음과 내열성 분류 생산이 가능하다. 개발된 구조적 다기능 물질은 교류 금속성 층으로 이루어지며, 그사이의 폴리머 층에 의해 마무리된다. 그리고, 탄소함유 산과 경화제의 ligomeric block의 혼합물에서 제조된다. 층 두께는 금속성 박판의 전체 두께의 5%이상을 포함하며, 각 층의 두께는 0.2 mm 이하이다. 층의 탄성율은 800 MPa이상이며, loss 인자는 0.5이다.개발된 물질은 loss 인자를 0.05이상 갖고 있으며, 소음 레벨을 8-12 dB까지 낮추는 것이 가능하고, 열적 차단 특징을 갖고 있다.개발된 구조적 다기능 박판 금속-폴리머 물질은 현재 사용되는 엷은 판 금속-폴리머 물질에 비해 더 높은 기계적 특징을 갖는다. 투자 회수 기간은 1.5년이다. 층 두께는 금속성 박판의 전체 두께의 5%이상을 포함하며, 각 층의 두께는 0.2 mm 이하이다. 층의 탄성율은 800 MPa이상이며, loss 인자는 0.5이다.개발된 물질은 loss 인자를 0.05이상 갖고 있으며, 소음 레벨을 8-12 dB까지 낮추는 것이 가능하고, 열적 차단 특징을 갖고 있다.
본 물질은 나이프와 dies의 생산과 플라스틱 트리트먼트, 화학 섬유 절단, 가정용 가위와 의료용 메스의 제작을 위해 개발되었으며, 세라믹 삽입물이 장입되는 물 혼합기(Hot & cold water)에 , 원자화된 챔버 노즐, 와이어 드로잉을 위한 dies, 촉매제 운반기를 포함한다. 제품의 파일럿 샘플은 제조되었으며, 러시아 특허가 있다.물질의 특징은 높은 강도와 탄력성, 마모 방지기능이다. 이것은 절단이 어려운 기계 물질에서 blade 절단 날의 높은 저항력을 보증한다. 또한 aggressive media에서 좋은 부식 안정성을 보인다. 나노-크리스탈 구조를 가지는 세라믹의 특징은 20nm 면적에 crytallite 특징의 사이즈를 갖는 나노-결정체 구조를 가진다는 것이다. 나노-크리스탈 구조를 가지는 세라믹 혼성 물질 기술은 물질 용적의 75%까지의 전체 용적을 갖는 0.1-1,000 mcm의 범위내에서 필요로 하는 크기의 소결된 물질에 흡수공(pores)의 형성이 가능하게 한다.
높은 피에조전기 anisotropy 효과의 레벨을 갖는 강 유전성 싱글 크리스탈에서 피에조원소에 대한 연구와 획득이 이루어졌다. 특히, 피에조모듈 비율 d33/d32와 같은 피에조전기 anisotropy의 인덱스에 의해 20배 이상 이용 가능한 피에조원소의 획득이 이루어졌다. 높은 피에조전기 효과 anisotropy의 특성은 피에조원소에 의해 획득되며, 현저하게 낮은 레벨의 측면부(와류의) 진동을 공급하고, 초음파 변환기에 사용되는 피에조원소(두께가 동시에 증가됨)의 개수가 강력하게 감소(3-5배)되는 것이 가능하게 한다. (전통적 초음파 변환기는 0.1mm 두께의 128 피에조원소로 이루어진다)그밖에, 새로운 피에조원소의 사용은 측정 주파수 범위를 적어도 10MHz까지 확장시키며, 표면 구조의 진단이 가능하도록 한다. 특히 순환성 시스템의 연구에 사용된다.초음파 진단 장비의 생산을 위한 기술의 원가가 상당히 감소되도록 한다.(초음파 변환기 디자인과 장치의 전자 회로가 간이화됨) 또한, 작동의 신뢰성을 향상시키며, 동시에 획득된 이미지의 품질 증대를 가져온다. 높은 피에조전기 효과 anisotropy의 특성은 피에조원소에 의해 획득되며, 현저하게 낮은 레벨의 측면부(와류의) 진동을 공급하고, 초음파 변환기에 사용되는 피에조원소(두께가 동시에 증가됨)의 개수가 강력하게 감소(3-5배)되는 것이 가능하게 한다. (전통적 초음파 변환기는 0.1mm 두께의 128 피에조원소로 이루어진다)그밖에, 새로운 피에조원소의 사용은 측정 주파수 범위를 적어도 10MHz까지 확장시키며, 표면 구조의 진단이 가능하도록 한다. 특히 순환성 시스템의 연구에 사용된다.
동 기술은 액체와 고체, 가스체 물질의 특징을 definition하기 위해 개발된 것으로, 샘풀과 화학 물질, 식료품, 약품, 생물학적 조제, 향기 조제의 제어에 사용될 수 있다. 생태학적 시츄에이션의 작동상의 모니터링을 위한 필드 조건하에서도 사용가능하다. 동 분석기는 소형 펄스 발생 레이저를 기초로하여 개발된 것이다. 이것은 작동이 매우 간단하다. < 분석기는 다음을 포함한다. >- 소형 레이저 발생 장치- 조절 장치를 포함한 광학 모듈- 섬유 광학 변환기- 섬유 광학 셀(전도 스펙트럼 분석을 위한 것)- 소프트웨어- 컴퓨터<기초 기술적 특징>- 셋업 시간: 20분- 분석에 걸리는 시간: 5분 이내- 결정된 농도: 0.0001%- 전체 사이즈: 400×400×500 mm- 무게: 15kg- 요구되는 파워: 1kW유사한 제품과 비교했을 때, 동 제품은 무게가 가볍고, 전체 사이즈가 작은 소형이다. 소형 펄스 레이저 분석기 MILA의 기초 기술적 특징은 다음과 같다.- 셋업 시간에 걸리는 시간은 20분이다.- 분석에 걸리는 시간은 5분 이내이다.- 결정된 농도는 0.0001%이다.- 전체 사이즈는 400×400×500 mm이다.- 무게는 15kg이다.- 요구되는 파워는 1kW이다.생태학적 시츄에이션의 작동상의 모니터링을 위한 필드 조건하에서도 사용가능하다. 동 분석기는 소형 펄스 발생 레이저를 기초로하여 개발된 것이다. 이것은 작동이 매우 간단하다.
동 기술은 멀티층 낮은 방사성 코팅 위해 개발된 것으로, 그 구조는 "산화물-보호 필름-실버-보호 필름-산화물" 그리고 코팅(이 코팅은 광선을 흡수하거나 반사할 수 있므며, toning 코팅도 할 수 있다)으로 이루어져 있다. 산화물 필름은 SnO2, TiO2 등의 금속 산화물에 사용될 수 있다. sheet 유리는 한쌍으로, 수직 상태에서, 특수 카세트로 처리되며, 전기 장치에 의해 조정된다. 장치의 작동 유니트(이온 공급원, 마그네트론)는 진공 챔버의 door를 조정하므로 쉽게 조정이 가능하다.설비는 프로그램화된 논리적 제어기와 개인 컴퓨터에 베이스를 둔 제어 자동 시스템과 함께 공급된다. 컴퓨터 시각화 기술 프로세스는 작동자에게 설비 파라미터 제어의 편리한 인터페이스를 제공하며, 설비 작동 실행 조건을 보증하며, reference를 제공한다. 그리고 설비 사용법과 그 외 기술적 도면을 제공한다. 설비는 특수 loading 챔버를 포함하는데, 이것은 하나의 작동 사이클에서 load와 unloading 모두를 생산할 수 있게 한다. 동 설비의 버전은 "opal-3pro"라고 불린다.베이직 기술적 조건은 자동적으로 셋팅되며, 이것은 패널을 사용한 컴퓨터에 의해 조정된다. 동 설비는 해외 기술 라인(예를 들어, "Sun Coatings INC" 회사의 장비)의 생산성에 비해서는 다소 미흡하나 유리의 품질은 경쟁력이 있다. 더구나, 설비 "opal"은 기술 솔류션이 현실화 되었으며,(예를 들어, 유리와 타켓의 수직 run) 이것은 생산 프로세스의 안정성을 증가시켰다. 동 기술은 친 환경적이며, 폐기물이 거의 나오지 않는다. 동 기술은 금속성 물질의 박막 코팅, 마그네트론 타입 변칙적 백열 방출의 플라즈마에 의한 금속성 음극 진공에서 분리된 method에 의한 산화물과 질소화물의 박막 코팅에 사용된다.
RMT는 소형에서부터 대형 하이 파워 모듈과 single stage와 multi-stage 타입, 각각의 DC 전류 값, 맞춤 파라미터 옵션 등 광범위한 열전 냉각기를 제공한다. 300개 이상의 표준 사이즈 모듈이 있다. 냉각면 범위는 1×2㎟ 에서부터 48×60㎟ 까지이며, 최대 전류 범위는 0.3-10 Amp, DTmax는 single stage일 때 73℃부터 multi-stage에서 130℃까지이다. single과 multi-stage 열전 냉각기의 MC 시리즈는 마이크로칩과 IR 기기, 반도체 양자 전자공학 원소의 냉각과 열 안정화를 위해 디자인된 것이다. 고품질의 비스무트 텔루르 화합물의 사용으로, MC 시리즈 마이크로 냉각기는 dTmax가 증가되었으며, 더 높은 냉각 용량을 가지게 되었다. 열전 냉각기는 치수와 파워 요구량에 의해 마이크로일렉트로닉스의 구성요소와 호환성을 가진다. single stage 열전 냉각기의 새로운 ML 시리즈는 Telecom분야에 적용하기 위해 개발된 것이다. 모듈 타입 시리즈는 "butterfly", HHL, 레이저 다이오드 패키지, cooled down된 object(레이저 칩, 비 선형 크리스탈)에 최적화 되어있다. 모듈 시리즈는 효과적인 열 전달을 위해 알류미늄 질소화물 세라믹을 적용한다.모듈은 고품질 열전 물질과 세라믹 판금을 활용하여, full 전기 판금과 우수한 열 전도성을 제공한다.동 기술은 다음에 사용된다. - 고품질 비스무트 텔루르 화합물로된 열전 냉각 모듈의 모든 유형- 최대 온도차가 130K인 multi-stage 열전 모듈- 특수 열전 장치의 디자인과 제작- 온도센서 조립품 냉각면 범위는 1×2㎟ 에서부터 48×60㎟ 까지이며, 최대 전류 범위는 0.3-10 Amp, DTmax는 single stage일 때 73℃부터 multi-stage에서 130℃까지이다. single과 multi-stage 열전 냉각기의 MC 시리즈는 마이크로칩과 IR 기기, 반도체 양자 전자공학 원소의 냉각과 열 안정화를 위해 디자인된 것이다. 고품질의 비스무트 텔루르 화합물의 사용으로, MC 시리즈 마이크로 냉각기는 dTmax가 증가되었으며, 더 높은 냉각 용량을 가지게 되었다. 열전 냉각기는 치수와 파워 요구량에 의해 마이크로일렉트로닉스의 구성요소와 호환성을 가진다.
X-ray 탐지기와 튜브에 사용이 적합한 얇은 진공 타이트 Be 윈도우가 연구 개발되어 생산 중이다. 특징 - 고품질 Be- 얇은 윈도우- 진공 타이트 품질- 표준 또는 고객 디자인의 커버 또는 플랜지- mounting method의 범위와 sealingCaps 또는 플랜지는 고객에 의해 공급되거나, 또는 고객의 요구에 의해 RMT에 의해 생산된다. 표준 caps는 스테인리스 스틸, 알류미늄, 니켈로 만들어진다. 원도우 장착 사용 방법 : 온도 500℃(작동 온도:-200...+200℃)에서 연화되는 특수 진공 호환성 에폭시 봉인 또는 PbSn 합금 Tmelt=230℃에 의한 납땜 실시부품 누수 비율은 1 대기압에서 헬륨의 5×10-8 atm×㎠/sec를 초과하지 않는다.X-ray 탐지기와 튜브에 사용이 적당한 얇은 진공 타이트 Be 윈도우의 두께(um) : 8, 12.5, 25, 50, 100Caps 또는 플랜지는 고객에 의해 공급되거나, 또는 고객의 요구에 의해 RMT에 의해 생산된다. 표준 caps는 스테인리스 스틸, 알류미늄, 니켈로 만들어진다. 동 원도우의 특징은 고품질 Be와 얇은 윈도우, 진공 타이트 품질, 표준 또는 고객 디자인의 커버 또는 플랜지, mounting method의 범위와 sealing이다.원도우 장착 사용 방법 : 온도 500℃(작동 온도:-200...+200℃)에서 연화되는 특수 진공 호환성 에폭시 봉인 또는 PbSn 합금 Tmelt=230℃에 의한 납땜 실시부품 누수 비율은 1 대기압에서 헬륨의 5×10-8 atm×㎠/sec를 초과하지 않는다.
열 파이프와 파이프의 열 전도기술의 개발 목적은 전기 장비와 전자 장비의 공기 냉각 시스템을 위한 구조적 element의 개발을 위한 것이다. 동 기술의 작동 원리는 밀폐 증발로, 열 파이프의 구멍 내 열 캐리어의 압축 순환에 의해 파이프의 열 전도가 이루어 지는 것이다. 열 파이프의 특징- 형태: 원형, 판형, 굽은 형태- cross 사이즈: 3mm ∼ 20mm- 길이: ∼ 720 mm- 전도 용량: ∼ 500W열 파이프의 열 전도 특징- 냉각 종류: 자연상태에서, 제어 하에서- 열 분산 용량: 120∼4000W열 파이프와 파이프의 열 전도 기술은 컴팩트함과 극소의 무게, 높은 신뢰성과 내구성을 지닌다. 열 파이프의 특징은 다양한 형태-즉 원형과 판형, 굽은 형태의 다양성을 들수 있으며, cross 사이즈는 3mm에서 20mm까지의 사이즈를 갖는다. 길이는 720 mm까지이며, 전도 용량은 500W까지이다. 열 파이프의 열 전도 특징은 자연 상태에서 냉각이 되기도 하고, 제어 하에서 냉각이 이루어 지기도 한다. 열 분산 용량은 120W에서 4000W까지 이다. 동 기술은 다음에 이용된다. - 파워 반도체 장치의 냉각- 라디오의 기계 모듈 각각의 장치, 전자 장비, 용기, 전기 기계
"아욱과 인피 섬유식물을 사용하여 고압 고온에서 수증기 처리하여 강도, 성능이 아주 우수한 보드를 만들 수 있다. 이 제품은 리그노 셀룰로즈물질을 가열 가압해 형성한 보드로 리그노셀룰로즈 물질의 30중량%이상이 아욱과 인피 섬유물질이고, 접착제에 유래하는 성분을 실질적으로 함유하지 않고 있다. 고온 고압 수증기 처리의 최적 조건은 종래의 아욱과 인피 섬유식물 이외의 리그노 셀룰로즈물질을 수증기 처리하는 경우의 최적조건과 비교할 때 훨씬 느슨하고 용이한 것이다"종래의 리그노 셀룰로즈물질의 자기접착 작용에 근거한 보드류와 비교해서 훨씬 양호한 역학적 강도를 지니고 있어 가구,콘크리트파넬,내장재,바닥재,심지어 자동차 내장용 심재판넬 등의 파티클보드 또는 파이버 보드 제품으로 이용할 수 있다. 합성수지 성분을 일절 함유하지 않거나, 극히 소량으로도 보드를 얻을 수 있으므로, 유해물질이 발생하지 않으며, 접착제와의 혼합공정을 생략할 수 있고, 고온고압 수증기 처리하지 않아도 실용성 있는 보드를 만들수 있어 종래보다 제조공정이 간소화 되며, 또한 환경적인 면에도 친화력이 있다.
o 양성자 가속기술을 이용하여 부도체의 프라스틱 반도체 칩 운방용기에 이온을 주입하여 전도성을 발생시키는 신기술을 세계최초로 개발 (원자력 연구원과 공동개발)o 한국, 미국, 일본, 싱가폴 특허 취득o 반도체 칩을 운반하는 용기는 고용량의 메모리 생산시에 절대적으로 필요한 제품임o IC Tray 소개- 목적 : . 정전기에 의한 손실로부터 반도체 칩을 완전히 보호 . 화학처리 과정에서 생성되는 반도체 상의 습기를 증발시키기 위하여 패키지를 베이킹 . 출하를 위한 포장 . 오랜 저장기간 동안 생성되는 반도체 상의 습기를 증발시키기 위하여 조립하기 전에 베이킹 . 반도체 봉합제인 EMC에 흡수된 반도체의 품질저하를 야기하는 습기로부터 보호기존의 제품은 카본을 섞어 제조하여 여러가지 문제점이 있었으냐, 본 제품은 카본을 섞지 않고 이온을 주입하여 전도성이 생성되도록 하여 더욱 우수한 기능을 발휘함.- 전도성 : 최적의 전도성으로 주문생산- 먼지 : 카본을 섞지 않아 먼지를 근원적으로 차단- 습기 : 표면 개질로 수분 침투 예방- 경도 : 기존품의 10배 증가- 강도 : 기존품의 1.7배 증가- 무게 : 기존품보다 18g 감소- 가격 : 폐자재의 활용으로 가격상승 억제o 시장규모- 2004년 : 국내 (117억원), 국외 (10.5억불)- 2005년 : 국내 (125억원), 국외 (11.65억불)o 주요 수요처- 국내 : 삼성전자, 하이닉스, 동부전자, 엠코, 칩펙 등- 국외 : 미국 인텔, 3M, 머피, 피크인터내셔날, 엔티그리스, 일본 미쯔비시, 대만, 싱가폴 등 다수o 유사제품 경쟁업체- 국내 : 10여개 업체가 Carbon Tray 제조해 판매중- 국외 : 다수의 업체가 Carbon Tray 제조해 판매중o 향후 전망- 반도체 칩이 고집적화 및 비메모리화 됨에 따라 품질이 우수한 제품을 요구하면서 저가품을 선호하는 추세임- 세계 추세에 대처하기 위해서는 첨단기술로서 우수한 제품을 저렴한 가격으로 생산하여 판매하는 것이 필수 요소가 됨