산업기술 통합검색
폴리아닐린 유도체를 전도성 입자로 구성한 전기유변유체에 관한 것이다. 해당 기술의 전기유변유체는 화학처리되지 않은 천연 전분 또는 셀룰로즈를 이용한 수계 전기유변유체와 달리 수분이나 별도의 첨가제가 필요하지 않으며, 입자 자체의 분극화로 인해 높은 전기유변효과를 나타내므로 온도나 외부환경에 장애요인 없이 작동할 수 있다. 또한 폴리아닐린을 이용한 비수계 전기유변유체보다 전기적 안정성이 더욱 우수하여 자동차 및 항공산업 등을 비롯한 로봇산업에 유용하게 이용할 수 있다.
다충 PBC제작공법을 이용하여 정밀하게 설계된 회전 가진기용 코일패턴을 인쇄회로기판에 형성함으로써 질량 불균형에 의한 성능저하를 방지하고, 코일의 감을 수조절을 용이하게 할 수 있을뿐만 아니라, 코일의 전기적인 특성을 균일하게 유지할 수 있는 회전가진기용 회전코일의 제조방법이다.또한 등각동 신호수집기법(Equi0Angle Sampling Method:EASM)을 구현할 수 있는 진동센서의 출력신호 측정, 레이저 간섭계를 이용한 진동 진폭 측정, 선형 혹은 회전 엔코더를 이용한 진동 진폭 측정 장치 및 방법을 제공함으로써, 연산시간과 컴퓨터 메모리 부하를 감소시키면서기존의 프린지 카운팅방법보다 개선된 진동진폭 측정 정밀도를 제공할수있는 회전진동 교정장치 및 방법이 제공된다.
해당 기술은 헬스기구에 관한 것으로, 특히 모터 구동시 사용자의 운동방향과 반대로 발생하는 반력을 이용하여 웨이트트레이닝을 할 수 있도록 하는 전자식 헬스기구에 관한 것이다.상기와 같은 목적을 달성하기 위한 해당 기술의 기술적 사상에 의한 전자식 헬스기구는, 각각의 구성요소를 지지하는 본체와, 상기 본체에 설치되는 모터와, 사용자가 상기 모터의 출력을 선택하여 입력하는 입력부와 상기 모터의 부하량을 측정하는 부하량 측정부와 상기 입력장치와 상기 부하량 측정부로부터 제공받는 데이터에 따라 상기 모터의 출력을 제어하는 제어부를 포함하는 모터 출력 제어수단과, 사용자가 신체 일부로 잡거나 걸어서 외력을 가하는 외이트트레이닝부와, 상기 외이트트레이닝부와 상기 모터를 연결하는 연결수단으로 구비되어 상기 모터 구동시 사용자의 운동방향과 반대로 발생하는 반력을 이용하여 웨이트트레이닝을 하는 것을 특징으로 한다.
해당 기술은 미세전자기계시스템 (MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 이하 MEMS라 약칭함) 기술을 이용하여, 경사각을 측정할 수 있는 센서에 관한 것으로, 미세전자기계시스템 기술을 이용함에 따라 초소형화 및 고감도로 경사를 감지할 수 있는 경사각 센서에 관한 것이다.즉 내부에 미리 설계 제작된 저항체의 양단 간에 전압을 인가하면, 양단 간에는 인가전압이 고르게 배분되는 전압 분배기 특성을 나타낸다. 이때 경사각에 따라 해당 기술을 통하여 제작한 경사각 센서 내부의 수은 (혹은 전해질)은 반원형 채널 속의 일정 지점에 위치하게 되고, 수은과 접촉하게 되는 상부 전극 (ELECTRODE 2)은 수은 (혹은 전해질)이 위치한 지점과 접지전극 간의 전압을 측정하게 되므로 인해 경사각의 변화에 대응하는 전압을 출력하게 된다
해당 기술은 평면 스테이지의 면내 위치 검출 방법 및 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 2축 운동 및 가동부의 회전 운동(YAW MOTION)까지 구현 가능한 평면 스테이지의 3축 이동량을 측정하는 방법 및 장치에 관한 것이다.해당 기술에 따르면, 고정단 위에서 격자형태로 배치되어 있는 리니어 모터 등에 의해 2차원 운동을 하는 평면 스테이지의 면내 위치(IN-PLANE POSITION; X, Y, Θ), 즉 평면 운동량을 검출하기 위해, 가동부와 연동하는, 서로 다른 기울기로 사면(DECLINED) 가공된 평판의 공극량을 측정하고 이를 변환관계를 통해 연산하여 간접적으로 평면 위치를 검출함으로써, 두 축으로의 평면 운동 및 가동부의 수십도에 달하는 회전 운동을 측정할 수 있다
해당 기술은 옹벽 조립장치에 관한 것이다. 해당 기술은 내부에 흙이 채워지는 공간부가 각각 관통 형성되고, 하부수평조립부재로써 적정 길이로 조립유지되는 제1,2하부블럭으로 이루어진 하부블럭; 내부에 흙이 채워지는 공간부가 각각 관통 형성되고, 상기 하부블럭의 제1,2하부블럭 상부에 수직조립부재로써 적정 높이로 조립유지되며, 상부수평조립부재로써 적정 길이로 조립되는 제1,2상부블럭; 및 상기 하부블럭과 상기 상부블럭의 공간부 전후면 영역에 구비되어 시공 후 토압을 유지시키기 위한 배수부재를 포함하여 구성된다.이와 같이 구성된 해당 기술은 좌우 및 상하로 연속 반복적으로 적층하여 조립하게 됨으로써 안전한 조립이 가능하게 되었으며, 빗물 등의 배수가 용이하여 시공 후 토압력(土壓力)을 충분히 견딜 수 있어 붕괴 되는 등의 안전성이 보장되며, 하단부에는 배수기능을 갖는 생태이동로가 형성되고, 전면 영역에는 자연미를 살리기 위한 문양 또는 그림이 표기되어 있어 자연친화적인 효과가 제공된다
해당 기술은 노즐에서 엔진으로 공기가 유입됨에 따른 엔진 시동 특성 실험을 위하여 노즐을 순간적으로 개방할 수 있도록 하는 엔진 시험용 노즐 개방장치이다. 엔진 시험용 노즐 개방장치는 덮개 지지용 바와 프레임의 결합 시, 복수개의 결합홀을 갖는 힌지 결합에 의하여 외부 조건에 따른 노즐의 위치 변경에도 노즐을 밀폐하여 기밀을 유지하게 해준다. 이러한 엔진 시험용 노즐 개방장치는 아래와 같이 구성된다. - 노즐의 상측 및 하측에 위치하는 프레임 - 노즐의 출구측에 구비되며 출구의 개폐를 조절하는 노즐 덮개 - 노즐의 상측에 프레임에 형성된 고정 실린더 - 고정실린더의 일단과 힌지를 결합하며, 회전운동에 따라 노즐 덮개의 일측을 선택적으로 지지하여 노즐 덮개의 개폐를 조절하는 걸림 부재 - 노즐 덮개의 일부와 결합되며 노즐의 하측에 위치하는 프레임의 소정부위와 힌지를 결합하는 덮개 지지용 바 □ 기술의 특징ㅇ 공기 공급용 노즐의 기밀을 유지하다가 순간적으로 노즐을 개방하면 제한된 노즐부 장착 구조물에 장착하게 해줌 ㅇ 엔진에 공기가 공급됨에 따라 다양한 엔진 시동 특성을 파악할 수 있는 실험이 가능함 ㅇ 덮개 지지용 바와 프레임의 결합에 있어서 복수개의 결합홀을 갖는 힌지 결합에 의하여 외부 조건에 따른 노즐의 위치 변경에도 노즐을 밀폐하여 기밀을 유지하게 해줌 □ 기술의 시장현황선박용 고출력 엔진 생산기업은 전 세계에 걸쳐 20여개 기업이 있다. 한국은 현대중공업, STX엔진, 두산엔진 등이 있으며, 이외에 일본 6개, 중국 6개, 베트남 2개, 러시아 1개, 폴란드 1개, 크로아티아 1개, 덴마크 1개, 브라질 1개 기업이 엔진을 생산하고 있다. 지난해 한국, 일본 중국 3국의 선박용 고출력 엔진 생산량 합계는 약 2,900만 마력으로 전 세계 생산량의 약 90%가 아시아 3국에서 생산됐다. 국가별로는 한국이 1,610만 마력, 일본 880만 마력, 중국 310만 마력을 각각 생산한 것으로 집계되고 있다. 엔진 생산능력은 앞으로도 증대될 계획이다. 한국, 일본, 중국의 선박용 엔진업계는 생산능력 증강과 관련한 설비투자가 활발하게 이뤄지고 있다. 앞서 언급한 한국, 일본, 중국의 세 나라의 생산능력 확대 계획이 모두 실현된다면 2010년 전세계 선박용 고출력 엔진 생산능력은 약 6,300만 마력에 달하게 될 것으로 전망된다.기술이전정보
해당 기술은 터빈 로터의 케이싱과 밴디지 간극을 최소화하여 가스의 누설손실을 해소할 수 있는 밴디지를 구비한 터빈의 팁 간극 조절장치이다. 해당 기술에 따른 팁 간극 조절장치는 아래와 같이 구성된다. 제 1 외부링 : 제 1 요부가 형성됨 내부링 : 제 1 요부와 마주하는 동일 원주 상에 비연속적으로 형성된 제 2 요부를 구비함 제 1 요부에 제 2 요부가 형성된 단부가 삽입됨 스프링 부재 : 제 1 요부와 제 2 요부 사이에 설치됨 제 2 외부링 : 내부링이 제 1 외부링으로부터 이탈되지 않도록 제 1 외부링과 연결됨 간극 조절나사 : 내부링의 위치를 조절하도록 제 2 외부링에 관통 설치됨 제 1 외부링의 내주벽은 외주벽보다 높게 설치됨 내부링의 내주벽은 제 1 외부링의 내주벽에 대하여 부분 노출되어 있으며, 이 노출된 내주벽에 절곡된 면을 갖는 단차부가 형성됨 고속으로 회전하는 항공기, 로켓 및 발전용 터빈의 팁 간극을 가변적으로 구현함으로써 가스의 누설 손실을 최소화하며, 터빈의 효율을 극대화함과 동시에 연료의 절감 및 전체 시스템을 개선할 수 있다. □ 기술의 우수성해당 기술에 따른 팁 간극 조절장치를 터빈에 적용하는 방법은 아래와 같다. ㅇ 충분한 팁 간극을 두어 터빈을 조립한 다음 밴디지를 갖는 터빈 로터 블레이드를 실제 작동 조건에서 작동시킴 ㅇ 노즐 출구로부터 나오는 가스량과 터빈의 터빈 회전 속도를 비교해 가면서 간극 조절나사를 돌려 내부링을 밴디지 방향으로 접근시킴 ㅇ 내부링의 단차부와 밴디지의 접촉되지 않는 최소한의 거리까지 이동시키게 되면, 노즐 출구로부터 나오는 가스가 팁 간극으로 누설되는 것이 최소화되고, 이에 따라 터빈의 성능을 개선할 수 있음 위와 같이 팁 간극의 크기 조절이 가능한 형상으로 터빈을 제작함으로써, 실제 작동 조건에서 회전체와 케이싱 간의 마모를 회피하고, 이와 동시에 최적화된 팁 간극을 용이하게 유지할 수 있다. □ 국내외 시장현황미 상무성에서 발표한 수출입 통계자료에 따르면 한국의 가스터빈 수출은 2006년 11월 기준, 2005년 같은 기간보다 30.3% 증가함에 따라 10대 수입수요 급증 유망상품으로 선정되었다. 한국은 지난 1995년 가스터빈 및 터빈 관련 부품을 3,667만 달러 수출한 이래 10년 뒤인 2005년 기준, 약 2억 달러로 445%가 넘는 거대한 수출 성장을 보였다. 한국 상품이 독일ㆍ영국ㆍ프랑스 제품에 견주는 기술력과 높은 가격 경쟁력으로 보유하고 있으므로 미국 시장을 비롯한 전 세계 시장에서 그 위치를 확립하고 있다. 현재까지 중국은 일반 소비제품 면에서 저임금에 따른 가격 경쟁력을 보이고 있으나, 최첨단 기술력이 뒷받침 되지 못한 상황이므로 한국이 중국에 비해 높은 경쟁력을 가지고 있는 가스터빈, 터빈 부품, 자동차 부품, 반도체, 철강제품, 항공 부품이 유망한 것으로 간주되고 있다.
해당 기술은 터보 기계용 볼류트 구조, 즉 펌프용 터보 기계에 관한 것으로, 원심형 터보기계의 볼류트 구조에 있어서, 비대칭 볼류트가 내측부에 형성된 하부 케이싱, 하부 케이싱에 회전 가능하도록 내장된 임펠라를 구비한 회전축 및 하부 케이싱에 결합된 상부 케이싱으로 구성된다. 본 펌프용 터보 기계는 케이싱의 조립에 의해 볼류트를 형성하지 않고, 하부 케이싱에 볼류트를 편중 형성시킴으로써 볼류트의 형상과 무관하게 일반적인 선반에 의한 내면 가공에 의해서도 제작이 가능하다. 이에 따라 제작 시간의 단축 및 제작 비용을 절감할 수 있다. □ 기술의 우수성 ㅇ 가공성을 개선하기 위해 하부 케이싱의 내부에 비대칭 볼류트를 편중 형성함 ㅇ 제작 비용의 절감 및 제작 시간 단축 - 하부 케이싱은 상부와 하부가 개방된 중공 구조로, 내측 주연부에 비대칭 볼류트가 형성 - 일반적인 선반 가공에 의한 내면 가공으로 용이하게 형성 ㅇ 임펠라가 외주연에 결합된 회전축은 하부 케이싱의 하부 내측부에 회전이 가능하도록 베어링이 지지되어 있음 ㅇ 간단하고 저렴하게 제작 - 하부 케이싱 측 볼류트 입구부의 폭이 최대값을 가짐으로써, 절삭 공구의 유입이 용이하므로 기계 가공이 보다 원활해 짐 - 주물 공정과 같은 복잡한 고가의 공정을 요하지 않음 ㅇ 편중 형성된 볼류트에 의하여 유동 효율이 증대됨 ㅇ 결합 단부를 지그재그 타입으로 결합 단턱부를 형성하여 보다 바람직한 실링을 구현할 수 있음
해당 기술은 압력용기에서 발생된 고온·고압의 스팀을 이용하여 피세척물을 세척하는 스팀세척기나, 스팀다리미, 스팀분무를 필요로 하는 의료기기 등에 적용할 수 있는 고압증기 생산장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 압축공기를 이용하여 증기의 온도와 압력을 증가시켜 줄 수 있는 고압증기 생산장치 및 방법에 관한 것이다.
해당 기술은 건축 시설물이나 산업용으로 광범위하게 사용되는 스테인레스 파이프의 외부에 보호용 필름을 씌워주어 파이프의 운반이나 적재 및 2차 가공 작업 시 흠집으로 인한 손상을 방지하도록 하는 것으로, 외측으로 접합부가 없는 원통형의 비닐 튜브를 파이프의 외측에 자동으로 씌워줄 수 있도록 하는 비닐튜브 포장 장치에 관한 것이다.해당 기술은 스테인레스 파이프의 한 쪽에서 공기 분사노즐을 끼워 스테인레스 파이프가 공기분사 노즐에 의해 공중에 떠있게 한 상태에서 파이프의 일측으로 공급롤러에 밀착되어 배출된 원통형의 비닐 튜브가 파이프의 외측에 일부 씌워지게 한 상태에서 공기 분사노즐에서 공기를 분사시키면 공기는 파이프의 일측에서 비닐 튜브의 내측으로 분사되어 비닐 튜브의 내측과 파이프의 외측 사이로 배출되게 함으로써 공급롤러에서 비닐 튜브를 공급할 경우 비닐 튜브가 공기의 흐름에 의해 파이프의 외측과 일정 간격을 유지하면서 공기의 이동 속도와 비례하여 이동하면서 파이프의 외측에 씌워지는 것이다.
해당 기술은 곡물이송장치에 관한 것으로, 프레임, 곡물이 흡입되는 흡입호퍼, 흡입호퍼로 외부의 곡물이 유입되는 곡물흡입관, 상기 곡물흡입관을 통해 곡물이 유입되도록 공기흡입관을 통해 흡입호퍼의 내부에 음압을 발생시키는 흡입팬, 흡입호퍼로부터 낙하하는 곡물을 포집하는 배출호퍼, 상기 흡입호퍼의 곡물을 배출호퍼로 이송시키는 배출팬 및 상기 배출호퍼로부터 외부로 배출되는 곡물을 계량하는 로드셀을 포함하는 구성에 의해, 곡물이 낙하하는 과정을 줄이고 장비를 간소화함으로써 곡물의 손상을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 곡물을 일정량 단위로 용이하게 계량하여 포장할 수 있게 된다.
□ 기술개요폭발성 압착에 의한 세라믹-금속 제품의 제조 기술이 개발 되었다. 해당 기술은 폭발성 차지를 사용하는 특수 용기 내 세라믹-금속 분말의 처리에 기반을 두고 있다. 폭발 처리 후 용기들은 제품의 필수적인 일부가 된다. □ 기술 평가 및 경제성 폭발성 압착에 의해 제조되어 상업적 용도로 사용되는 절연체는 2,000 V의 파괴 전압을 견디며, 700℃에 달하는 온도와 수천 톤의 하중을 이겨 낸다. 위의 제시된 상태 하에서 이러한 장비의 수명은 약 8년이며, 이는 기존 절연체의 수명과 비교 시 약 10배가 더 긴 것이다. 폭발성 압착에 의해서 생산된 부품과 장치는 이산화황 및 금속 먼지를 함유한 대기에서 작동 가능하며 수리나 유지 관리를 필요로 하지 않고 절연 장비의 신뢰도를 향상시킨다. □ 응용분야세라믹-금속 제품은 용해보온로 내의 절연 장비로, 가스 터빈 제트의 봉합 요소 등으로 사용 할 목적이다. □ 개발 단계 금속 세라믹 제품은 10년 이상 노보시비르스크에 있는 플랜트에서 상업용 품목의 생산 과정에 이용되었다. □ 특허 현황 노하우 기술이전 및 기술협력조건/ 희망사항 □사업 제안 세라믹-금속 폭발성 기술의 개발을 위한 계약 생산 및 공급 계약 거래처에서 폭발성 압착 기술을 위한 장비의 생산 및 공급을 위한 계약 산정 가격 협의 후 결정
본 비중계는 지구물리학, 측지학 그리고 계측학적 문제들을 풀 때 중력의 절대 값 및 변수를 측정하기 위해 개발되었다. 본 비중계의 작용 원리는 광학 각도 반사기의 자유 낙하 시경로와 시간을 측정하여 중력의 절대 값을 결정하는 탄도법에 기반을 두고 있다. 낙하물에의해 그려진 경로는 레이저 간섭기(경로는 방사능 스펙트럼에서 핵에 대해 안정한 레이저 파장이다)에 의해 측정되는데 반해 그 시간 간격의 수치는 정밀(예, 루비듐) 주파수계 표준 신호들이 된다. 중력을 측정하는 비대칭법은 가블 레이저 비중계 시리즈에서 사용된다.
□ 기술개요기체 충돌 기계 태풍은 지하 가스관, 동력 전도 은촉, 이중 T빔, 홈쇠 등과 같은 특정 건설업의 동력 전도 철관을 위해 고안되었다. 충돌장치는 쇠파이프 안에서 왕복운동을 하고, 기계 연소실의 앞뒤에서 연료를 대는 압축공기 아래의 쇠파이프의 모루에 영향을 준다. 쇠파이프나 모루의 원뿔형표면에 고정되어 있는 머리부분은 파이프의 끝부분으로 이동하는 추진력 효과를 전이시킨다. □ 기술적 평가와 경제적 이익 pneumatic punches에 비교하여 이 기계는 다음과 같은 이점을 가지고 있다가장 높은 충돌력 / 기류비율 전 사용기간중 기류비율의 보장 지속 기본요소 생산을 위한 기술적 요구 절감 일정한 충돌력의 충돌 지속성과 기류비율 조절 가능성 동절기 기계동결 없음 작동이 쉬움 이러한 이점들은 참신한 디자인과 압축 공기 생산을 위한 최소비용의 기계 작동을 보증한다. □ 적용분야동력 전도 은촉, 이중 T빔, 수직 방향의 홈쇠 등과 같은 특정 건설업의 동력 전도 철관 뿐만 아니라 수평방향의 지하가스관 부설
□ 기술개요공기해머 MP 145는 촘촘한 토양에서 터널을 만들기 위해, 촘촘한 토양에서 수평 시추공을 통해 구멍을 뚫기 위해, 그리고 파이프를 관통시키기 위해 고안되었다. □ 기술적인 사항 파이프 직경 300mm까지 부설길이 60m 까지 시추공의 직경 145mm 이상 시추공 길이 40m 이하 유닛 충격 에너지 400J 충격 주파수 4Hz 이상 에너지 입력 유형 압축공기 치수(호스 길이 제외) 1830mm □ 기술적 평가와 경제적 이점 도랑 없는 운용방법의 장점 예비단계와 최종단계에서 최소부피와 최소비용(파이프라인 관통에서, 굴착의 부피가 6-10 계수만큼 줄어듬). 전력공급의 가동성(압축공기는 이동펌프로부터 공급받음). 시추공의 충분한 정확성 추운 조건에서도 파이프 관통이 가능함 □ 적용범위 공기해머 MP 145는 건설에서 사용된다. 공기해머의 적용은 고속도로와 철도 밑의 통신시설 정렬에, 운영 중인 기업이 있는 지역에서, 그리고 제한된 도시 지역 등에서 특히 효과적이다.
□ 기술개요이 방법은 결합 개방 그리고 퇴적층(석탄, 소금, 석고 등)의 지하채굴을 위해 고안된 것으로 아래와 같이 구성된다. 개방된 영역과 지하 채굴 영역 사이의 경계에서(1) 표토의 마지막 채굴을 끝냈을 때(2), 표토바위층은(4) bed를 형성하면서(3) 최소한 bed 생성의 두 배 정도의 두께로 남겨진다. 보호 지주의 넓이 B는 B= H-3m, H가 표토 채굴의 넓이일 때, m은 형성된 bed의 두께이다. 장치를 세정하는 것(7)은 mounting camera 안에서 작동하는 데(6), 국지적인 발열기 또는 다른 것에 의해 0도 이상의 온도가 유지된다. 석탄은 컨베이어에 의해 운송된다(8). (7)의 작동은 작업이 진행된 영역을 채우며 작업 영역에 차가운 공기의 침투를 막는 표토바위의 부분적 붕괴와 함께 기초지붕의 붕괴를 야기한다. 그러고 나서 표토는 보호 지주를 벗겨냄으로써 제거되는데, 보호 지주 또한 자원의 손실을 막기 위해 제거되는 것이다. 일반적 관행으로는 광맥을 노출하는 것은 종종 초기에는 개방하고 나서 다음으로 지하 채굴을 통해 진행되며, 그럼으로써 많은 자원들이 보호 지주로부터 개방된 곳과 지하층들 사이에서 손실된 채로 남게 되는 것이다. 결합 개방 및 지하 채굴 1- 개방된 곳과 지하 채굴 영역 사이의 경계 2- 개방된 채굴 영역의 마지막 채굴 3- producing bed (석탄) 4- 표토 바위 5- 보호 지주 6- mounting camera 7- 채굴 표면 8- 컨베이어 □ 기술적 평가와 경제적 이점 3~5년의 단축되는 건설 및 사업의 시작(bedded deposits에 대한 현재의 채굴 방식과 비교하여) 30~50% 더 낮아진 설비 및 지원 비용 15~20% 더 작아지는 땅의 훼손된 영역 및 mining lease 경계 및 장벽 지주에서의 석탄의 무손실 지하채굴영역에 fall-throughs, 차가운 공기 및 빗물의 무침투 due 기후적, 영구동토층, 지반공학 채굴 조건에 관한 적용 영역 광업 이 방법은 1~5m 두께의 평면층이거나, 지표면에 노출되어 약간 경사진 producing beds 및 제 4기 퇴적층의 25~35m 아래 광물층에 적용된다.
본 장비의 취지는 다음과 같다. . 기계와 메커니즘의 샤프트의 크로스컷 부분 형태 정밀 제어; . 작업의 정지 및 활동 모드에서의 콜렉터 프로파일과 전기 기계의 접촉 고리 측정; . 기계와 메커니즘의 선형 마이크로디스플레이스먼트와 구성 요소의 진동 측정; . 측정 정보의 프로그램 프로세싱 . 측정 결과 기록 □ 기술개요. 와동 전류 컨버터와 대상과의 거리, 마이크론 0 ÷ 500; . 장비의 해상도, 마이크론 0,5; . 제어 표면의 최대 속도, 80m/s 이하. □ 장점 . 입수 정보의 처리 및 측정의 특수한 방식은 측정 에러를 감소시키는데 적용된다. . 대상을 제어하기 위한 회전 장치의 측정 결과를 공간적으로 바인딩하기(spatial binding) 위한 동조 시스템이 있다. . 제어 가능한 회전 표면과 특수 기술 및 소프트웨어 제품을 기반으로 구동되는 장비의 베어링 장치의 진단면 분리 선명도.
와퍼 직경 - 100mm ^100mm 직경에서 이온 농도의 불균질성 - <±1 % ^동작 압력 -10-4 - 10-2 torr ^잔류압력 - 2x10-6 torr ^고진공 펌프 유형과 생산성 - 터보 분자, 750l/с 이상 ^포배큠 (forvacuum) 펌프 유형과 생산성 ^기계적 14 l/min이상 ^작용 가스 -SiH4, O2, He, Ar 등. ^채널 가스 흐름 양과 가스 보급 레귤레이터 유형 - 4, 표준 (RRG- 6 or RRG-3) ^자석 시스템 - Nd-Fe-B합금 영구자석 ^플라스마 여기 - 플라스마 고주파유도 여기의 전극없는 방전 ^와퍼 온도의 자동 유지 범위 - 80-500℃ ^온도 유지 정확도 - ± 10°С이상^배양 필름의 두께 측정, 장비 유형 및 두께 - 멀티채널, Elipsometer;EK-70, 0.1nm ^실리콘 이산화물의 최대 생장율 - 0,2 microns / min 이상 ^와퍼 홀더에 가해지는 전기 볼트 - 13.56 MHz, 0-500 W, 정전위는 범위가 +20 + - 400V ^무게 -800kg 이하.
그라우팅 모르타르와 드릴링 플루이드 제조 자원절약 기계화학 기술이 개발되었다. 이기술은 연속 구동 다중 목적 로터-펄스 장치 안의 그라우팅 모르타르와 드릴링 플루이드를 활성화한다. 이 장비 내에서 그라우팅 모르타르와 드릴링 플루이드는 결합된 고속 시프트와 캐비테이션의 영향을 받고, 따라서 기계화학적 변화가 일어난다. 그라우팅 모르타르와 드릴링 플루이드의 활성화로 다음이 가능하다. : 동질성 증가; 3-4배까지 침전안정성 증가; 비싼 특정 재료 비용 30-40% 감소; 제조시 특정 전력 공급 감소; 그라우팅 모르타르의 발수 시간 감소와 최소 두배의 시멘트 내구성 증가.