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팬 어셈블리는 수송용 터널 (고속도로와 철도) 및 지하 통로의 환기 시스템을 위해 고안되었습니다.팬 어셈블리 효율은 10 ~ 70 Pa의 압력에서 20~80 m3/sec까지 범위에 있습니다.자동 제어시의 환기 흐름이나 비상시 역 환기 흐름은 30-50 초 이내에 정지하지 않고 15 ~ 135º 까지 작동하는 휠 블레이드의 회전으로 인하여 보장됩니다. 리버스(역) 모드에서 공기 이송속도의 변경 범위는 표준 모드의 95%에 이릅니다. 30-40 초 동안에 20 ~ 80m3/sec까지의 제어가 가능합니다. 팬 어셈블리에는 마이크로프로세서 제어기가 포함된 자동화 시스템이 장착되어 있습니다. 제어 시스템은 환기장치의 상태를 제어하고 비상 모드로부터 보호하며, 자동으로 팬 어셈블리를 조절합니다. 로컬 모드, 원격 모드 (운영 관리자), 자동 모드(컴퓨터)와 같이 서로 다른 모드에서 효과적인 제어가 수행될 수 있습니다.이 장비는 “Aeroturbomash” 연구소(노보시비르스크)와 공동으로 러시아 과학원 시베리아 분원의 채굴 연구소에서 개발하였습니다.□ 기술의 평가 및 이익 제안한 팬 어셈블리를 사용하면 다음이 가능합니다: - 지하 통로 환기 구조의 비용 및 크기를 50-65%까지 줄일 수 있습니다. - 수송용 터널 및 지하 통로의 환기에 소모되는 에너지를 25-27%까지 줄일 수 있습니다.
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산업 설비의 연도 기체 청소를 위한 와류 집진기 (Vortex scrubber)□ 기술설명기체의 습식 청소를 위한 장치는 봉지 수집기와 전기 필터로 높은 효율을 내는 그러한 장치에 의해 얻을 수 있는 레벨에 필적하는 높은 수준으로 청소할 수 있습니다. 목적과 작동 조건에 따라, 와류 집진기를 단일 장치 또는 직렬로 생산할 수 있습니다. 이러한 장치의 기체 출력은 시간 당 수백 입방 미터가 가능하며, 1개 접촉 단의 수력 저항은 물 기둥의 40에서 150 mm까지 가변시킬 수 있습니다.와류 집진기의 주요 부품은 와류 챔버입니다. 와류 집진기의 고효율은 개발 인터페이스, 집중적인 혼합, 및 회전 기체-액체 층의 고 분산으로 확보됩니다. 와류 집진기 효율, 수력 저항, 물 방울 유입 (drop entrainment), 및 고체 잔류물에 의한 방해 정도는 설계의 완전성과 그리고 주로 소용돌이 구조에 의존한다. 이 장치를 효율적으로 작동하기 위한 조건은 소용돌이의 전체 내부 표면을 덮는 기체-액체 층이 균일하게 형성되는 것인데, 이렇게 함으로써 액체에 닿지 않고 기체가 건너 뛰는 가능성을 없앱니다.□ 기술의 평가 및 이익교체된 것보다 실제 투입된 모든 장치의 효율이 더 높은 것으로 증명되었습니다. 더 깊이 청소하며, 수명이 더 길고, 수력 저항이 현저히 감소하며, 장치 생산에 필요한 소재의 양이 더 작으며, 필요한 면적이 줄어들었습니다.습식 집진기는 무수 불화 수소 (HF)를 잡는 데 아주 효율적이었습니다. 앞서, 에칭 산 생산에서 불화 수소를 수집하는 데에 충전형 집진기를 사용했습니다. 400 mm 높이의 충전 층을 폴리에틸렌 튜브 조각으로 만들었습니다. 유속이 16,000-20,000 m3인 기체 및 물 기둥의 초기 수력 저항이 120-130 mm인 경우, 장치는 72-74%의 효율로 2-3개월만 연속적으로 작동시킬 수 있습니다. 충전물은 점차적으로 고체 잔류물로 막혀가고, 저항이 증가하며, 충전물을 바꾸기 위해 장치를 정지시켜야 합니다. 신형 와류 집진기는 점검을 하지 않고 1년 동안 작동하였습니다. 장치 감시 결과 20-25 mm 물 기둥의 저항에 대해 HF 청소 수준은 100%였습니다.
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금속, 강화 콘크리트, 및 콘크리트 구조물의 정적 및 동적인 변형 (strain)을 측정할 수 있는 센서를 개발합니다. 센서는 힘, 무게, 및 투여량 측정 도구의 구성 요소로써 작동 가능합니다.□ 기술의 평가 및 이익- 유사한 탐침에 비해 감도가 더 높음 (차수 수준으로 더 높음).- 소형이며 대상에 설치하기가 손 쉬움.- 이용이 편리함.
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차별적 특징 비접촉식 측정, 고효율, 고정확도.□ 시스템의 기능- 깊이 방향으로 312 셀 복구 (cell restoration) 프로파일- 모니터 상에 “품질/거부” 정렬 기능이 있는 격자 간격재로 측정 결과를 시각화- 추가적인 통계 처리 및 기술 공정을 시험하기 위하여 측정 결과가 데이터베이스에 저장됨- 안내 채널 (guide channel)에서 셀 사용 가능성을 시험함□ 기술의 평가 및 이익러시아 과학원 시베리아 분원 과학 기기 공학의 기술 설계 연구소에서 개발한 레이저 측정 기계는 12 분 이내에 격자 간격재를 측정합니다 (각 격자 간격재 요소를 16 단면으로 측정함).비접촉식 시험 방식을 사용함으로써 측정의 질과 정확도가 향상됩니다.
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1. 열 레이저 영상 세터 (Thermal laser imagesetters)1.1. 레이저 조각기 (Laser engraver)조각기는 열 레이저 조각 또는 절단 방법을 사용하여 서로 다른 소재 위에 고품질 영상을 코팅하기 위한 것입니다. 컴퓨터 보조 설계 시스템의 도움을 받아 래스터 (raster) 방식 또는 벡터 방식으로 출력 정보를 준비할 수 있습니다.□ 기술의 평가 및 이익기존의 기계적인 방법과 레이저가 구별되는 근본 이유는 다음과 같습니다.비접촉식 처리,유연성, 고속 및 재생 가능성,경쟁력을 갖춘 기술 특성 및 해외 유사품에 비해 훨씬 낮아진 비용,국내 유사품이 없음.1.2. ROMB-T 열 레이저 영상 세터ROMB-T 열 레이저 영상 세터는 СО2 또는 YAG 레이저, 각 광학 센서가 달린 드럼 스캐너, 및 볼 나사 (screw-and-ball) 쌍 패커 (pecker)로 광학 기록 헤드의 위치를 정하는 방식을 기반으로 하여 만들어집니다.영상 세터는 다음에 의하여 일반적이고 효율적으로 작동됩니다.독창적인 열 레이저 기록 방식, 마스킹 코팅의 파괴 및 온도 전달, 폴리머 막 표면의 국부적인 증발, 다양한 소재 위에 금속 영상을 도금하기 위한 열화학적 반응의 시작.□ 기술의 평가 및 이익알려진 영상 세터와는 달리, 해당 장치는추가적인 화학 공정 없이 기록 공정 중에 직접 모든 인쇄 형태에 대한 포토마스터 (photomaster)와 인쇄 판을 제공합니다. 장치의 정확도 및 해상도는 제일 우수한 해외 유사품과 거의 동일합니다1.3. 복수레벨 마킹 (multilevel marking)용 레이저 시스템설레이저 마킹 시스템은 СО2 레이저의 스캐닝 레이저 빔 형태를 사용합니다. 전기기계적 거울 스캐너를 이용하여 레이저 빔을 2 좌표로 스위프 (sweep) 합니다. IR 렌즈는 방사선을 제품 표면에 집중시킵니다. 품질 향상을 위하여, 고정 제품에 마킹을 합니다. 정지시키고 제품의 위치를 잡기 위해, 표준 충전 및 포장 라인에 기계식 위치 지정 블록 (positioning block)이 설치됩니다. 블록으로 인해 라인의 정상적인 생산성이 떨어지지는 않습니다. 기본적인 산업 라인의 컨베이어 드라이브를 사용하여 위치 지정 블록을 작동시킵니다. 이로써 마킹 공정과 컨베이어를 정확하게 동기화시킬 수 있습니다. 마커는 오프라인 마이크로프로세서 제어 장치에 의해 제어되는데, 이는 정보 로딩 및 업데이트를 위한 표준 직렬 연결 채널에 의해 PC와 연결됩니다.□ 기술의 평가 및 이익 고해상 영상, 접촉식 기계 방식으로는 얻기 어려움,제품 소재 및 포장 표면에 조각,코팅을 파괴하지 않고 레이저 빔으로 투명한 필름 코팅이 된 소재 표면에 조각,가시 영상을 생성하기 위하여 소재 표면을 열화학적으로 변형 (조각을 하지 않음),얇은 시트 소재의 윤곽 절단, 물이나 알코올 염료에 의해 젖지 않는 소재로 만들어진 제품의 마킹,공정이 비접촉식이기 때문에 기계적으로 접근할 수 없는 제품 지점 (공동, 슬롯 및 틈)을 마킹.마킹 공정에 소모품을 사용하지 않으므로, 본질적으로 정비 비용을 줄여 주며 신속하게 장비의 원금을 회수할 수 있습니다. 레이저 마크는 좋지 못한 기후 조건에서도 안정하며 사실상 제거가 불가능합니다 (영상을 제거하려면 제품 표면을 파괴하는 정도로 집중적인 기계적인 작업이 필요함)1.4. ROMB-VIS 레이저 광 플로터 (laser photoplotter)□ 기술설명스캐닝 방식의 정밀 레이저 광 플로터는 회전식 외부 드럼과 고속 노출이 가능한 16 채널 광 기록 방식을 기반으로 합니다. 이 장치는 lineature가 최대 200 라인/인치인 복사기와 4~5 등급 인쇄 기판의 포토마스크를 위한 색 분리 (color-separation) 대형 스크린의 포토마스터를 인쇄하기 위하여 설계되었습니다.□ 기술의 평가 및 이익광 플로터의 기술 사양은 제일 우수한 해외 유사품에 필적합니다. 국산 부품 기초, 레이저 소스 및 광전자 부품을 응용함으로써 본질적으로 해외 시제품에 비해 장치의 비용이 감소합니다.
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고출력 이온 레이저와 2차 조화 발생기에 의해 주입되는 조정 가능한 (색소, Ti:Sa) 레이저를 기반으로 하는 레이저 시스템은 UV, 가시 및 IR 범위를 포함하는 전체 광학 스펙트럼을 포괄하는 독특한 CW 협대역 방사선 소스입니다. PC 인터페이스로 자동화된 변수 제어가 시스템에 통합되는데, 이는 데이터 처리뿐만 아니라 연구 또는 기술 공정을 하는 동안 레이저 변수도 제어합니다.□ 기술사양- 시스템이 모듈식 구조이기 때문에 사용자는 연구 중인 문제/공정 별로 시스템을 구성할 수 있습니다. 기본적인 시스템 구성 변수는 다음과 같습니다. - CW 출력이 청-녹색으로 최대 70W, 적색 15W 및 자외선 스펙트럼으로 10W인 이온 레이저,- CW 딥 UV (deep UV) 운전을 위한 공명 주파수 더블러 (203-257 nm에서 최대 0.5W).- AMETIST 색소 레이저가 장착된 SPECTROMED 의료 장치 (630-660 nm에서 최대 4 W).- 레이저 유도 별 여기 (star excitation)를 위한 색소 증폭기 (589 nm에서 최대 10 W).- 단일 주파수 (1 W CW) 및 펨토 초 (30 fs) 옵션의 Ti:Sa 레이저.□ 기술의 평가 및 이익 이온 레이저의 주요 장점은 다음과 같습니다. - 장수명, 분할된 금속 플라스마 튜브에 기초한 믿을 수 있는 구조.- 고효율로 출력이 높음 (438-529 nm에서 최대 70 W).- 수리가 간편한 모듈식 구조.- 레이저 한 대로 여러 기체 (Ar/Kr/Ne 교체 가능)를 작동시킴.- 가격 대비 성능비가 높음.선택 범위가 넓으며 개발 부속품을 사용할 수 있습니다.단일 라인/단일 주파수/모드 잠금/공동 (cavity) 비움.능동적인 공동 배열: 레이저 발사 검색 및 출력/빔 첨단 안정화.전반적인 자동화/PC 인터페이스를 이용한 원격 제어.폐회로 냉각 시스템이 통합됨.
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고성능 회절 광학 기기의 발전은 중간조 마스크 (half-tone mask)를 제작하는 새로운 도전을 맞이하였습니다.러시아 과학원 시베리아 분원, 자동화 및 전자계측 연구소는 레이저 방사선의 효과가 미칠 때 투과율이 변화하는 매질에서 중간조 마스크를 직접 레이저가 기록하는 방법을 개발하였습니다 (LDW-유리 및 비정질 실리콘 막).새 기술을 적용하기 위한 원형 레이저 가공 시스템 (circular laser writing system, CLWS)을 개발합니다. 이는 기판은 기록 물질이 기체정역학적 물레에 의해 회전이 되는 한편, 집중된 알곤 레이저 빔 (직경 0.5 mcm)이 0.1 mcm의 정밀도로 기판의 반경을 따라 움직입니다. 빔 출력은 기판의 회전과 동시에 변조됩니다.□ 기술의 평가 및 이익- 제작 공정이 단순함- 정밀도가 높음- 넓은 범위 (mcm/s에서 최대 m/s까지)의 레이저 빔 속도 및 광범위한 파장 범위로, 굴곡이 있는 표면에 가공이 가능하며, 대형 및 두꺼운 기판에 - 가공이 가능함.
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곡물과 같이 낱알 형태를 갖는 물질의 가열, 건조, 분리, 세척, 냉각 등을 위해 와류(vortex)를 이용한 열전달 및 물질전달 기구를 고안하였다. 처리공정은 원심력에 의한 균질화된 유동흐름을 가지는 베드(bed)에서 발생되는데 베드는 입자 주위로 고속의 기체흐름 속도를 제공한다.□ 기술의 평가 및 유용성- 열전달 및 물질전달 성능 향상- 기계장치 전체의 치수가 작고 무게가 작음- 모든 입자에 작용하는 균질한 기체흐름- 산출물 조절과 입자의 잔류시간 모니터링-여러 공정의 조합
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유압햄머는 강화콘크리트, 포장도로, 얼은 토양, 취성물질, 단단한 암반 등을 부수거나 건설 및 채굴산업에 사용할 수 있도록 고안되었다.유압햄머는 굴삭기의 붐에 달려있는 디퍼 대신에 장착된다. 유압햄머가 굴삭기 붐에 미치는 동역학적인 영향은 디퍼가 장착되었을 때와 동일한 수준이다. 햄머 피스톤은 유압브레이크가 장착되어 있어 공전타격(idle impact) 상태에서의 과부하로부터 차량을 보호한다.M1, M2, 그리고 M3 햄머는 유사한 외산 장비에 비해 성능 면에서 부족하지 않으며 간단하고 수리가 용이하며 신뢰할 수 있고 가격이 저렴하다.□ 기술의 평가 및 이익 유압햄머를 사용하면 얼어붙은 토양이 완전히 녹지 않아도 가능하다. 유압햄머는 얼어붙은 땅에 쉽게 구멍을 내므로 겨울에 작업시간과 비용을 상당히 줄일 수 있다. 이는 땅속 파이프라인의 파손을 처리함에 있어 특히 중요하다.
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≪Grad-2≫ 시스템은 회전체의 기하학적 매개변수를 비접촉 방식으로 측정하기 위해 설계되었습니다.□ 기술명세- 표준 CAD 설비(예, AutoCAD)로 설계된 도면에서 추출된 항목의 기하학적 매개변수의 측정을 위한 자동 튜닝- 각 항목에 대한 기하학적 치수의 자동 검사와 작업자에게 적합한 형태로 측정된 매개변수를 표시- 기하학적 매개변수의 수동 측정- SUBD 포맷, Access, Microsoft Office 97에서 통계 정보의 축적; 정보 처리(예, 측정 로트, 일간 및 월간 결과 등)와 검사 결과 및 통계 데이터 프로토콜의 생성- 시스템 자체 시험한 항목당(30 매개변수) 검사 시간은 15초를 넘지 않습니다.다른 사양을 가지는 유사한 시스템은 고객의 합의에 따라 제조할 수 있습니다.□ 기술의 평가 및 이익- 해당 시스템은 네 개의 자동화된 작업장(workplace)인 우수 검사자, 설계자, 생산 기술자 그리고 측정도구 검사자로 설계되었습니다.- 해당 시스템은 CAD 설비를 활용하여 측정 항목들의 목록을 확장시킬 수 있습니다. 도면은 특별한 프로그램을 이용하여 처리되며 측정 알고리듬의 생성에 사용됩니다.- 해당 시스템을 활용하여 얻어진 검사된 제품의 매개변수는 생산기술을 조정하거나 조사하는 생산 기술자에게 매우 유용한 정보를 제공합니다.
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해당 시스템은 발전 시스템에 사용되는 연료 요소(fuel elements, TVEL)의 기하학적 매개변수를 측정하기 위한 비접촉 검사자동화 시스템입니다. 해당 시스템은 다음 사항을 제공합니다.- 기하학적 매개변수의 자동 측정, 측정값 표시 및 측정값의 데이터베이스 저장- 오퍼레이터에 의해 선택된 절단면에서 수동 모드로 기하학적 매개변수의 측정- 검사 및 통계 데이터의 제시와 측정 결과의 처리(예, 검사 로트 내에서, 이동 또는 월간 결과 등)- 프로토콜 제시와 함께 다수 측정자의 측정방법론□ 기술의 평가 및 이익 해당 시스템은 독립된 우수 측정자 작업장으로 설계되었고 그 작업장은 측정 장치와는 별도로, 제품 이동용 운반 메커니즘뿐만 아니라 검사된 제품의 적재와 양/불량품의 하역을 위한 슈트(shoot)를 포함하고 있습니다.해당 시스템을 활용하여 얻어진 검사된 제품의 매개변수는 생산기술을 조정하거나 조사하는 생산 기술자에게 매우 유용한 정보를 제공합니다. 인체 공학적으로 설계된 시스템과 현대적, 사용자 중심의 소프트웨어 인터페이스는 오퍼레이터의 피로를 줄이고 검사 효율성을 높입니다.
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기계 > 기타 기계
DOG-4 가스 분석기는 천연 가스, 석탄 및 연료유로 동작하는 연소장치의 배출가스에 포함된 일산화질소(NO) 및 이산화황(SO2)의 연속적 자동 감시를 위해 기획되었습니다. 해당 장치는자외선의 흡수율 차이 측정에 기반하여 동작합니다.DOG-4 가스 분석기는 샘플 준비 시스템을 통해 배기관 바로 옆에 설치하였습니다. NO와 SO₂농도의 현재 측정값은 액정 표시 장치에 (숫자로) 나타나며 장치의 연속적인 출력값으로 기록됩니다.□ 기술의 평가 및 이익NO와 SО₂에 대한 고감도, 고신뢰성, 방사 소스로서 UV 램프, 마이크로프로세서 제어, 자동 감시 및 이상 표시, 표준 가스 혼합물을 이용한 교정, 간단한 작동. 배출 가스에서 NO와 SО₂의 농도를 연속적으로 모니터링하는 것은 연료 연소 상황을 최적화할 뿐만 아니라 NO와 SО₂의 방출량을 효과적으로 감소시킵니다.
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기계 > 기타 기계
MSH시리즈의 카운터브로우 해머는 난성형 합금소재(티타늄, 스텐레스, 특수강, 알루미늄 등)의 얇은 날부, 벽과 리브와 같은 복합형상재를 가공(punching)하기 위하여 개발되었습니다. 해머의 구동기어와 기초는 변형하중에 안전하며 하부의 취출 기구는 해머 설계도의 부품으로 공급됩니다.□ 기술명세- 사양 MSh2 MSh3- 최대 충격 에너지, 250kJ 6.3kJ- 최대 충격 속도, 10 m/초 10.6 m/초- 싸이클 타임, 15초 4초- 펀치 베어링 면적, 950х1050 mm 250х270mm- 펀치 실 높이,- 열 때: 1770mm 440mm- 닫을 때: 770mm 210mm- 최대 공기압, 8 MPa 8 MPa- 최대 유압, 20 MPa 26 MPa- 공칭(公稱) 파워, 132 kW 11 kW- 해머 중량, 80 톤 4 톤□ 기술의 평가 및 이익러시아 과학원 시베리아 분원 고효율 유체역학 연구소(설계 및 기술 분과)에서 설계한 해머는 고체 및 분말 소재의 단조(鍛造)물에 있어 향상된 기계적 물성치를 보장하며 단조공정에서의 금속 소비 및 노동 강도를 상당히 감소시킬 수 있습니다. 충격 에너지의 정확한 제어는 일정한 변형률(constant-strain) 모드를 제공하며, 이는 단조물의 안정적인 기계적 물성치와 크기를 제공합니다. 재료 효율 상수가 2.5-3.0으로 증가되고, 단조의 후 기계공정 체적이 1.5-2.5로 감소합니다.
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일반기술
기계 > 기타 기계
□ 기술의 목적전동차 코드 클러치 바닥표면 사이의 정렬불량 수치, 플랜지 비팅 및 거리에 대한 자동 검사 및 확인□ 기술의 특징- 검사의 자동화 (높은 신뢰성, 자료 저장 및 분석)- 고정밀 검사- 정렬불량 측정 및 플랜지 비팅의 결합□ 기술의 기능성- 플랜지 축 위치를 자동 계산- 각 플랜지의 정렬 불량 및 비팅 계산- 데이터베이스 유지(검사일자, 화차 번호, 검사된 매개변수값)□ 상세내역- 검사된 매개변수 측정 범위, mm 허용오류 한계, mm- 정렬불량 -5…+10 ± 0.05- 비팅 ≤10 ±0.05- 기본 표면 간 거리 150… 190 ±0.5
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풍동 AT 303은 지구 대기에서 차세대 스크램젯 극초음속 비행기의 장시간 비행과 관련한 기본적인 응용 문제 연구를 위해 설계되었습니다. 입수한 실험 데이터는 항공기 비행 시 나타나는 복잡한 가스, 열-역학 공정을 연구하고 계산한 모델을 점검하고 정확성 및 신뢰성을 규정하는데 사용됩니다.□ 특정기능- 챔버 내의 테스트 가스의 높은 압력으로 인한 극초음속 속도 범위 내에 있는 Reynolds 수에 대한 실물크기의 시뮬레이션;- 일정한 유동(steady flow)을 얻기에 충분한 장기간 운용(일정한 압력에서 40 - 500 ms);- 작동 가스가 분리되지 않는 순수 유동과 화학 및 기계적인 혼합- 기술 매개변수 풍동 AT - 303- 노즐 직경: (D, mm) 300600- 챔버 용량(dm3): 6.46.4- 정체 압력(Po, atm): 30003000- 정체 온도(Тo, К): 25002500- Mach수(M): 8-1414-20- Reynolds 수(Reo):6-107-1,5-1072-107-2,5-107- 구동 기간(t, s): 0,04 - 0,20,04 - 0,2- 테스트 가스: 공기, 질소, CO. 등. 공기, 질소, CO. 등.
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비접촉 방식에 의한 실린더와 같은 물품(부싱류)의 기하학적 치수 검사<장치 구성품> 입력 피더, 리젝터, 보관소를 포함하는 운송 시스템 물품의 외경 및 내경 계측 물품 높이 및 직진도 편차 계측 제어 컴퓨터물품 외경 계측 및 직진도 모선 편차 계측은 그림자 측정방법(shadow measurement method)에 기초하고 있습니다. 물품 내경은 삼각 측정 방법을 통해 계측합니다. 물품의 높이는 각도 이동 센서(angular movement sensor)를 사용하여 선형 변위를 각 변위로 변형하는 간접적인 방법으로 측정합니다. 장치에 사용된 광학적 방법은 물품의 기하학적 수치에 대한 측정 정보가 변환된 광학 신호에 기초하고 있습니다. 이러한 광학 신호는 CCD 리니어 어레이(linear array)를 사용하여 전기신호로 변환되며 계수화한 다음 측정 값을 얻기 위해 처리된다. 장치 구성품 입력 피더, 리젝터, 보관소를 포함하는 운송 시스템 물품의 외경 및 내경 계측 물품 높이 및 직진도 편차 계측 제어 컴퓨터물품 외경 계측 및 직진도 모선 편차 계측은 그림자 측정방법(shadow measurement method)에 기초하고 있습니다. 물품 내경은 삼각 측정 방법을 통해 계측합니다. 물품의 높이는 각도 이동 센서(angular movement sensor)를 사용하여 선형 변위를 각 변위로 변형하는 간접적인 방법으로 측정합니다. 장치에 사용된 광학적 방법은 물품의 기하학적 수치에 대한 측정 정보가 변환된 광학 신호에 기초하고 있습니다. 이러한 광학 신호는 CCD 리니어 어레이(linear array)를 사용하여 전기신호로 변환되며 계수화한 다음 측정 값을 얻기 위해 처리된다.<사용 가능한 기능> 물품의 기하학적 치수 계측 검사 결과 및 측정한 매개변수 값을 작업자에게 적합한 형태로 모니터에 다시 구현함 통계 처리를 위한 검사 결과 누적 검사 결과 및 측정한 치수 값 인쇄 수동 모드에서의 기하학적 치수 계측 테스트 프로그램 및 테스트 결과를 바탕으로 한 장치 시험(장비 내) 검사한 물품의 치수 허용 범위 및 위치에 대한 정의 표준 시제품을 이용한 장치 시험 표준 시제품을 이용한 장치 검사법
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열 감지 선형 및 매트릭스 센서(thermo sensitive linear and matrix sensors)의 생산에 사용되는 실리콘 웨이퍼의 표면 결함 자동 감지 및 계측□ 기술사양- 이미지 확대 2.5×, 10×, 20×, 40×- 물체 이동 범위 0…50 mm- 테이블 이동 속도 0.5 mm/s- 감지한 결함의 최소 크기 2 μm- 감지한 결함의 최대 크기 200 μm- 결함 크기 평가 오차 ≤ 20%- 프레임 처리율 1 s- 해상도 756×581- 그레이스케일 수준 256□ 기술의 평가 및 이익 자동 모드:- 서로 다른 기판(substrate) 스캔 및 입력- 결함 탐지 및 크기 평가- 결함 강도 맵 구성 및 발견한 결함의 통계 분포 예측수동 모드:- 현미경 이미지 획득, 보관 및 가시화- 이미지 인쇄- 작업자가 지시한 결함의 수치적 특성 계산
- 보유기관
- 중소기업진흥공단
- 등록일
- 2009-03-11
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유성 AGO 및 APF 활성 제분기는 분산 모드에서 고체를 제분하고 활성화하기 위해 설계하였습니다.□ 기술사양- AGO-2 APF-3- 작동 모드 분산 모드- 최대 초기 입자 크기[mm]: 3 /8÷10- 제분 후 입자 크기[μm]: 1 /1- 드럼 수 및 드럼 용량[ml]: 2 × 150 /4 × 600- 제분 본체: 볼 6÷10 mm /볼 8÷10 mm- 냉각액 : 물- 드럼 회전수[r.p.m]: 1290, 1820, 2220 / 740- 제분 본체가 전개하는 원심력 가속도[m/sec2]:300, 600, 1000 / 400÷900- 전기 모터 전원[kW] : 1,1 /11- 전체 치수[mm] : 500 × 220 × 370 / 980 × 640 × 990- 중량[kg] : 65 / 320 □ 기술의 평가 및 이익- 간단한 설계 및 신뢰성
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- 중소기업진흥공단
- 등록일
- 2009-03-11
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반도체 구조물 표면에서 산화물, 미세 먼지 및 유기적 오염 물질을 세척하고 전기물리적(electro-physical) 특성을 향상시키기 위하여 반도체 구조물의 표면층(near-surface)을 수소로 처리하는 장비와 기술을 고안하였습니다. 반도체 장비 및 직접회로 생산 그리고 과학 연구 분야에 해당 기술을 활용할 수 있습니다.□ 기술사양세척 기술의 원리는 반도체 구조물 표면의 오염 물질을 “건식” 진공 세척하는 것으로 금속 적층, 절연, 기타 박막이나 수소 원자를 이용한 이온 주입 공정 등과 통합된 진공 싸이클 내에서 수행됩니다.다른 “건식” 방법을 사용하는 것과 비교하여 제안된 세척기술의 장점은 수소 원자의 높은 반응성과 오염 물질을 제거하기 위한 화학적 메커니즘에 기인합니다. 해당 기술을 사용하면 향상된 특징을 갖는 반도체 장비와 직접회로를 생산할 수 있고 기술 공정의 재현성(reproduce-bility)을 증가시키고 장비 생산성을 높이고 환경적으로 안전한 생산을 가능케 합니다.□ 기술의 평가 및 이익잘 알려진 “습식” 화학 세척 방법과 달리 제안된 기술은 "건식" 프로세스로서 이어지는 일련의 기술적 처리작업과 함께 단일화된 진공 싸이클로 결합이 가능합니다. “건식" 세척 방법으로 잘 알려진 방법과 구별되는 점은 제안된 기술이 낮은 처리 온도에서 보다 높은 표면 품질을 생산할 수 있는 가능성을 제공한다는 것입니다.물성을 조절할 수 있는 능력을 가지고 있는 수소 처리 작업은 다른 대안적인 방법을 가지고 있지 않습니다.
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- 중소기업진흥공단
- 등록일
- 2009-03-11
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열 생성기로부터 나오는 따뜻한 공기 및 건물로부터 나오는 차가운 공기를 혼합하는데 사용하는 특수 장치가 건물 전체의 열 에너지에 대한 최적의 분포를 보장합니다.<기술 평가 및 경제적 이익>시스템을 사용하면 다음과 같은 효과가 있습니다. 열 에너지를 20%까지 절감할 수 있습니다. 건물 높이에 따른 온도 차이를 줄일 수 있으며 작업 구역의 안락한 조건을 유지할수 있습니다. 겨울철 건물 천장의 과열 및 코르니(cornice)의 제빙 현상을 제거할 수 있습니다.
- 보유기관
- 중소기업진흥공단
- 등록일
- 2009-03-11
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