일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
본 발명은 TixAl1-x(0<x<1)을 하지층 또는 상지층으로 사용한 다층 구조를 지닌 소자에 관한 것이다. 기판; 상기 기판 상에 적층된 하지층; 상기 하지층 상에 형성된 자성층 및 비자성층들로 이루어진 자기 저항 구조체를 포함하는 자기 저항 소자에 있어서, 상기 하지층은 비정질 TixAl1-x(0<x<1)를 포함하는 소자 구조를 제공한다.본 발명은 TixAl1-x(0<x<1)을 하지층 또는 상지층으로 사용한 다층 구조를 지닌 소자에 관한 것이다. 기판; 상기 기판 상에 적층된 하지층; 상기 하지층 상에 형성된 자성층 및 비자성층들로 이루어진 자기 저항 구조체를 포함하는 자기 저항 소자에 있어서, 상기 하지층은 비정질 TixAl1-x(0<x<1)를 포함하는 소자 구조를 제공한다.본 발명에 따른 자기저항소자는, 하지층 및/또는 상지층을 비정질 TixAl1-x(0<x<1)으로 형성함으로써, 고온으로 가열되는 경우에도 자기저항비 등의 주요 특성이 크게 저하되지 않으면서, 표면 조도를 향상시키고 저항 특성을 개선시키는 효과가 있다.본 발명에 따른 자기저항소자는, 하지층 및/또는 상지층을 비정질 TixAl1-x(0<x<1)으로 형성함으로써, 고온으로 가열되는 경우에도 자기저항비 등의 주요 특성이 크게 저하되지 않으면서, 표면 조도를 향상시키고 저항 특성을 개선시키는 효과가 있다.
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- 고려대학교
- 등록일
- 2007-03-15
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전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
* 배경 및 요약본 발명은 반도체 또는 마이크로 전자기계소자 제작공정 등에 적용되는 리소그래피(lithography) 기술에 관한 것으로, 특히, 입사되는 광을 미세 패턴의 기록이 가능한 저잡음의 광으로 변조시키는 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치 및 이 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치를 이용하여 고속으로 미세 패턴을 형성시키는 고속 미세 패턴 기록시스템에 대한 것이다.일반적으로 반도체 소자의 제조에 사용되는 리소그래피 기술은 마스킹(masking) 공정과 노광 공정으로 이루어진다. 마스킹 공정에서 고정밀 광학계를 이용하여 미세 패턴을 기록한 포토마스크(photo mask)를 제작하고, 이렇게 제작된 포토마스크의 형상을 노광 공정에서 실리콘 웨이퍼로 옮긴다. 최근에는 요구되는 분해능이 높아짐에 따라 광학계의 정밀도도 높아지고 있는데, 이러한 고정밀 광학계를 이용하는 리소그래피 장비는 매우 고가이기 때문에 소규모의 팹(Fab) 등에서 사용하기에는 어려움이 있다.이와 관련하여, 고정밀 광학계를 필요로 하는 마스킹 공정을 배제하고 포토레지스트 위에 직접 결상시키는 방법을 이용하는 비교적 저가의 리소그래피 장비가 제안되었다. 이러한 장비로써는, 개구수가 작은 2차원 배열 마이크로 렌즈 광학계를 이용하는 것이나 2차원 어레이 거울 소자(digital micromirror device; DMD)를 이용하는 장치 등이 있다. 그러나, 이들 장치의 분해능은 수 μm 정도로서 매우 큰 값을 갖기 때문에 적용될 수 있는 분야가 제한적이다.* 과제포토마스크를 사용하지 않고 미세 패턴을 포토레지스트에 고속으로 직접 기록하는 리소그래피 장치로서, 비교적 저가이면서 다양한 용도에 적용될 수 있도록 분해능이 높은 것을 제공하는 것을 목적으로 한다.* 구성본 발명의 일 실시형태에 따르면, 입사하는 광량을 조절하는 광량조절셀이 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 공간 광변조부; 상기 광량조절셀을 통과한 광을 중심에서 투과도가 높고 가장자리에서 투과도가 낮게 통과시키는 투과 개구가 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 투과 개구 어레이; 및, 상기 투과 개구를 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈가 x축과 y축으로 배열되어 이루어진 마이크로 렌즈 어레이를 포함하는 저잡음 2차원 광변조 어레이 장치가 제공된다.* 효과본 발명에 따르면 포토마스크를 사용하지 않고 미세 패턴을 포토레지스트에 고속으로 직접 기록하는 리소그래피 장치가 제공된다. 또한, 본 발명에 따른 리소그래피 장치는 비교적 저가이면서 분해능이 높기 때문에 다양한 용도에 적용될 수 있다.
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- 연세대학교
- 등록일
- 2007-03-19
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전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
양극산화 알루미늄 템플레이트와 전기도금법을 이용하여 나노로드를 제조하는 방법으로 나노크기의 미세공들이 형성된 양극산화 알루미늄템플레이트를 이용하여 이를 전기도금욕에 넣고 직류 전기도금법으로 금속이 충진시켜 나노로드를 제조하는 것으로 종래의 채움특성이 좋지 않은 문제점을 해결한 기술임.
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- 경북기술이전센터
- 등록일
- 2007-12-12
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전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
본 발명은 직류 아크 플라즈마트론 장치에 관한 것이다 본 발명은 직류 전원(1000)에 연결되며, 음극으로 형성되고, 노즐 가까이 위치하도록 형성되는 막대형 음극(110), 상기 노즐에 형성되며, 양극으로 형성되고, 상기 양극의 일부 통로 부위에 기능성 기체 또는 기체 혼합물 중 어느 하나가 도입되도록 형성되어 상기 노즐형 인입부(122)를 통해 나온 플라즈마 형성기체와 반응하도록 형성되는 기능성 간극(150), 상기 막대형 음극(110)측으로 부터 상기 노즐 양극(122)을 통과하는 플라즈마를 형성하는 기체를 공급하는 기체공급부를 포함하며, 플라즈마의 화학적 활성을 높이기 위하여 적합한 형태의 구조를 갖도록 한 대기압 플라즈마 발생장치인 직류아크 플라즈마트론 장치에 관한 것이다.
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- (재)광주테크노파크
- 등록일
- 2007-12-27
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전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
본 발명은 극초정밀 위치 제어 능력이 우수한 압전 액츄에이터와, 탄성범위내에서 변위 확대 구조를 갖는 플렉셔에 의해 제작된 3자유도 스테이지에 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 적용하여 광소자 최적 정렬 위치를 찾는 극초정밀 광소자 정렬 장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 극초정밀 광소자 정렬 장치는 변위를 발생시키기 위한 압전 액츄에이터와, 압전 액츄에이터에 의해 발생되는 변위를 확대하여 안내하기 위한 플렉셔와, 발생된 변위를 감지하여 절대좌표를 검출할 수 있는 정전용량형 센서와, 광신호를 발생하는 출력부와 광신호 검출할 수 있는 입력부로 구성되어진 광파워미터와, 광신호의 이동 통로가 되는 광섬유 및 광소자와, 정전용량형 센서에서 검출된 3자유도 위치 궤환신호를 ANALOG/DIGITAL(이하 "A/D"라 함) 변환기에서 입력받아 히스테리시스 오차를 보정하여 다시 DIGITAL/ANALOG(이하 "D/A"라 함) 변환기로 출력함으로써 압전 액츄에이터를 구동하여 히스테리시스 오차를 보정하며 광신호를 이용하여 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 수행할 수 있는 중앙제어장치와 중앙컴퓨터를 구비한다.이러한 구성에 의하여, 본 발명에 의한 극초정밀 광소자 정렬 장치는 압전 액츄에이터가 갖는 히스테리시스 오차를 보상하여 정밀한 위치 제어가 가능한 극초정밀 다축 스테이지에 영역 탐색 알고리듬과 극점 탐색 알고리듬을 적용함으로써 광소자를 정밀하고 빠르게 정렬할 수 있게 된다.
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- 조선대학교
- 등록일
- 2007-12-28
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전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
본 발명은 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치에 관한 것으로, 그 목적은 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형공정을 수행함에 있어서, 다양한 소재에 적용이 가능하고, 대면적 전사성이 우수하며, 싸이클 타임을 단축할 수 있는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 사발형상으로 형성되어 내부에 성형물이 장착되고, 장착된 성형물을 가열 및 냉각하는 니켈선 및 냉각채널이 구비된 하부 진공챔버; 상기 하부 진공챔버를 설치되는 프레임; 상기 하부 진공챔버와 결합되어 성형을 위한 챔버를 형성하도록 뒤집어 놓은 사발형상으로, 내부에 몰드가 장착되고, 장착된 몰드를 가열 및 냉각하는 니켈선 및 냉각채널이 구비된 상부 진공챔버; 상기 상부 진공챔버의 상부에 설치되어 상부 진공챔버에 장착된 상기 몰드를 승하강시키는 성형용 실린더; 상기 상부 진공챔버의 상부에 위치하도록 상기 프레임에 설치되며, 상기 상부 진공챔버와 연결되어 상부 진공챔버를 승하강시키는 승하강용 실린더; 상기 하부 진공챔버와 상부 진공챔버의 결합상태를 구속하도록 상기 프레임에 설치된 다수개의 클램프들 및 상기 하부 진공챔버와 상부 진공챔버의 결합에 의해 형성된 챔버를 진공화 시키는 진공수단;을 구비하는 열-가압방식의 마이크로 패턴 성형장치에 관한 것을 그 기술적 요지로 한다.
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- 한국생산기술연구원
- 등록일
- 2007-12-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
<기술의 개요>본 기술은 탄소나노튜브와 금속으로 이루어진 나노복합분말 제조방법과 그에 의하여 제조된 나노복합분말 및 그 나노복합분말을 이용한 전계방출디스플레이용 에미터에 관하여 개시하며, 본 기술의 나노복합분말은 탄소나노튜브를 비극성 용매에 투입 및 분산시키고, 탄소나노튜브가 분산된 용매에 환원제와 금속 전구체 분말을 투입하고 가열하여 금속 전구체를 환원시켜 탄소나노튜브 표면에 금속을 코팅시킴으로써, 팁 형태로 탄소나노튜브 소정영역이 노출되도록 나노 크기의 금속 분말 덩어리에 탄소나노튜브들이 박혀있는 형상을 이루는 것을 특징으로 하고 전계방출디스플레이용 에미터는 그 나노복합분말을 ITO 글라스 및 소다석회유리가 포함된 세라믹 기판 상에 스크린 프린팅하여 제조되는 것을 특징으로 한다. 본 기술에 의하면, 탄소나노튜브의 안정성이 확보되고 수명이 증가하며, 전계방출 효율이 증대된다.<기술의 특징> 탄소나노튜브를 비극성 용매에 투입하고 초음파를 가하며 분산시킨 후, 환원제와 금속 전구체 분말을 투입하고 분산 상태가 유지되도록 초음파를 가하며 가열함으로써 금속 전구체를 환원시켜, 탄소나노튜브 표면에 금속을 코팅시키는 것을 특징으로 한다.<기술의 장점> - 전계방출 효율이 증대되도록 함. - 탄소나노튜브를 분산시키는 공정의 도입으로 탄소나노튜브를 금속기지 내에 분산시킬 수 있음. - 나노복합분말의 제조공정 중 탄소나노튜브의 손실을 미연에 방지할 수 있음.
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 등록일
- 2008-05-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
기술의 개요 - 본 기술은 내부에 실리카 또는 실리카와 금속산화물의 복합체가 존재하며, 외부에 관능성 유기그룹이 존재하는 무기/유기 혼성 올리고머 및 이로부터 제조되는 무기/유기 나노혼성고분자 및 그 제조방법을 제공한다.기술의 장점 - 광특성, 내열성, 투명성, 절연성 및 내마모성이 매우 우수함. - 광소자 또는 디스플레이용 유전체, 격벽, 보호막의 제작에 매우 유용하게 사용될 수 있음. - 광소자 또는 플라즈마 디스플레이용 유전체, 격벽, 보호막의 제작에 매우 유용.
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 등록일
- 2008-05-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
<기술의 개요> 본 기술은 리소그래피 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마이크로미터에서 나노미터 수준의 패턴까지 형성할 수 있는 나노 트랜스퍼 몰드 또는 마스터 기판을 이용하여 패턴을 전이하는 리소그래피 방법에 관한 것이다. 본 기술에 따른 리소그래피 방법은, 나노미터 수준의 패턴이 형성되어 있는 나노 몰드 위에 마스크 층을 스핀 코팅하여 마스크 층의 표면을 균일하게 하는 단계와, 그 단계를 통해 마스크 층이 균일하게 도포된 나노 몰드를 박막이 증착되어 있는 기판 위에 붙이는 단계, 나노 몰드를 제거하고 기판 위의 박막이 나타날 때까지 마스크 층을 식각하는 단계 및 이전 단계를 통해 식각되지 않은 마스크 층 패턴을 마스크로 하여 박막을 식각하고 마스크 층패턴을 제거하는 단계를 포함하는 것이다.<기술의 특징> - 제 1 단계 : 나노미터 수준의 패턴이 형성되어 있는 나노 몰드 위에 마스크층을 스핀 코팅하여 마스크층의 표면을 균일하게 함. - 제 2 단계 : 마스크층이 균일하게 도포된 나노 몰드를 박막이 증착되어 있는 기판 위에 붙임. - 제 3 단계 : 나노 몰드를 제거하고 기판 위의 박막이 나타날 때까지 마스크층을 식각. - 제 4 단계 : 식각되지 않은 마스크층 패턴을 마스크로 하여 박막을 식각하고 마스크층 패턴을 제거.<기술의 장점> - 시간과 비용을 극소화하면서 양산성 있는 나노미터 수준의 리소그래피까지 수행할 수 있음.
- 보유기관
- 한국과학기술원
- 등록일
- 2008-05-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
본 발명은 MEMS 미러 셀을 가로 및 세로 방향으로 배열한 MEMS 미러 어레이에서 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있는 어드레싱 라인 형성 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) MEMS 미러 어레이 하부의 기판을 에칭하여 어드레싱 라인이 배치될 수 있는 공간을 준비하는 단계와, (2) 준비된 공간을 이용하여, 어드레싱 라인을 배치하는 단계와, (3) MEMS 미러 어레이를 구성하는 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 배치된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결(bonding)하는 단계를 포함하는 어드레싱 라인 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 어드레싱 라인 형성 방법에 따르면, MEMS 미러 어레이 하부의 기판에 어드레싱 라인을 상감시켜 형성한 후, 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 형성된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결함으로써, 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있게 하면서, 동시에 어드레싱 라인으로 인한 면적의 손실(dead area)을 줄임으로써 MEMS 미러 어레이 전체의 채움-인자(fill-factor)를 대폭 향상시킬 수 있다.
- 보유기관
- 이화여자대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
본 발명은 생체 조직내에서 비침습적으로 조직의 깊이에 따른 탄성도를 초음파의 스펙클 패턴 추적법을 이용하여 측정 한다. 초음파의 응답 신호는 기본적인 특성인 coherence 신호임으로 보강과 상쇄 간섭의 영향으로 speckle patten을 생성하게 된다. 이렇게 생성된 speckle patten을 압력에 따라 수집하여 그 변위를 구함으로써 일정압력에 변위를 정확히 측정하여 조식의 탄성도를 측정한다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
□ 기술개요해당 기술은 SDR(Software Defined Radio) 방식을 기반으로 하는 이동통신 및 휴대 단말기의 분야에서 사용되는 직접변환 방식의 적층형 탠덤 위상 상관기에 관한 것이다.해당 기술은 6포트 구조를 가지며 직접변환 방식을 사용하는 위상 상관기에 있어서, 국부발진 신호를 2개의 동일한 전력으로 분배하는 제 1전력분배수단과, 입력 RF 신호를 2개의 동일한 전력으로 분배하는 제 2전력분배수단과, 상기 제 2전력분배수단의 출력을 위상 지연시키는 위상지연수단과, 상기 제 1전력분배수단 및 제 2전력분배수단의 출력을 상호 결합하는 제 1텐덤 결합기와, 상기 제 1전력분배수단 및 위상지연수단의 출력을 상호 결합하는 제 2텐덤 결합기로 구성되어 있다.이와 같은 적층형 탠덤 six-port 위상 상관기는 평면형 위상 상관기에 비하여 별도의 정합회로를 사용할 경우에도 30% 이상 소형화 구조를 가질 수 있으며, 집적회로(MMIC)의 구현시에는 50% 이상의 초 소형화가 가능한 이점이 있다. □ 기술내용 6포트 구조를 가지며 직접변환 방식을 사용하는 위상 상관기에 있어서,국부발진 신호를 2개의 동일한 전력으로 분배하는 제 1전력분배수단과,입력 RF 신호를 2개의 동일한 전력으로 분배하는 제 2전력분배수단과, 상기 제 2전력분배수단의 출력을 위상 지연시키는 위상지연수단과,상기 제 1전력분배수단 및 제 2전력분배수단의 출력을 상호 결합하는 제 1텐덤 결합기와,상기 제 1전력분배수단 및 위상지연 수단의 출력을 상호 결합하는 제 2텐덤 결합기로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 적층형 탠덤 위상 상관기.
- 보유기관
- 전북기술이전센터
- 등록일
- 2009-01-29
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
해당 기술에 따른 압전재료 조성물은 (Bi0.5 Na0.5)x Bay TiO3 조성을 갖는 BNBT조성물; 및 상기 BNBT조성물에 첨가제인 CaO/MnO가 포함되는 것을 특징으로 한다. 또한 해당 기술에 따른 압전소자는 화학식 (Bi0.5 Na0.5)x Bay TiO3 + z(CaO+MnO)을 포함한다. 따라서 해당 기술에 따른 압전재료 조성물 및 이를 이용하여 형성된 압전소자에 의하면 BNBT에 도펀트로 CaO/MnO의 함량을 조절하고 첨가하여 압전상수, 전기기계 결합계수, 상대유전상수, 기계품질요소를 포함하는 압전/유전 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다
- 보유기관
- 농업기술실용화재단
- 등록일
- 2009-02-06
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일반기술
전기·전자 > 기타 미소·극미소 전자시스템
해당 기술은 마이크로미러 디바이스(micromirror device)에 관한 것으로, 특히 엇물린 외팔보들(Interdigitated Cantilevers)을 이용하여 간단한 구조로 쌍 안정된(bistable) 회전 상태를 가지는 마이크로미러 디바이스 및 이를 이용한 응용 소자들에 관한 것이다.
- 보유기관
- (재)광주테크노파크
- 등록일
- 2009-02-09
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