산업기술 통합검색
- 개요 본 기술은 플라즈마 디스플레이 패널의 고온 오방전을 방지하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 구동방법에 관한 것임.- 특징 플라즈마 디스플레이 패널의 구동방법은 어드레스기간 동안 서스테인전극에 제1 직류전압을 인가하는 단계와, 어드레스기간과 서스테인기간 사이에 제1 직류전압보다 높은 제2 직류전압을 서스테인전극에 인가하는 단계를 포함함.- 효과 어드레스기간과 서스테인기간 사이에 스캔전극과 서스테인전극에 소정 전압을 인가함으로써 프라이밍 전하들을 각 전극들의 벽전하로 유도시킴으로써 고온에서의 프라이밍 전하들에 의한 오방전을 방지할 수 있음.
본 기술은 기준 전압 발생 회로에 관한 것으로서 노이즈에 강한 기준 전압 발생 회로에 관한 것이다. 기준 전압 발생 회로는 기준 전압 발생부와 증폭부를 포함한다. 기준 전압 발생부는 제1 전류원을 가지는 제1 전류 경로와 제2 전류원-여기서, 제1 전류원의 일단 및 제2 전류원의 일단은 공통 결합되어 제1 전원 전압에 상응하는 내부 전원 전압에 결합됨-을 가지는 제2 전류 경로를 포함한다. 증폭부는 제1 전원 전압을 제공받아 제1 전원 전압에 상응하는 내부 전원 전압을 각각 제1 전류원 및 제2 전류원을 통하여 음의 피드백받는 차동 증폭기 구조를 가지는 증폭부를 포함한다. 증폭부는 제1 전류원의 타단의 전압을 반전 입력 단자로 입력받고, 제2 전류원의 타단을 비반전 입력 단자로 입력받고, 반전 입력 단자와 비반전 입력 단자에서의 가상 접지 특성에 따라 제1 전류원의 양단 전압과 제2 전류원의 양단 전압이 실질적으로 동일하도록 하여 제1 전류 경로로 제공되는 제1 전류와 제2 전류 경로로 제공되는 제2 전류가 실질적으로 동일하도록 한다. 차동 증폭기의 출력인 내부 전원 전압을 차동 증폭기로 음의 피드백시키고 차동 증폭기의 가상 접지 특성을 이용하여 노이즈에 강하고 저전력 설계가 가능한 기준 전압 발생 회로를 제공할 수 있다.본 기술의 기준 전압 발생 회로에 따르면 종래 트랜지스터를 직렬로 쌓는 캐스코드(Cascode) 구조로 셀프 바이어스 회로를 구성한 기준 전압 발생 회로가 저전력 설계에 적합하지 않은 단점을 보완하기 위하여 캐스코드(Cascode) 구조의 전류 거울을 사용하지 않고, 차동 증폭기의 출력인 내부 전원 전압을 차동 증폭기로 음의 피드백(negative feedback)시키고 차동 증폭기의 가상 접지 특성을 이용하여 저전력 설계가 가능하다.
기술의 개요 - 본 기술은 각 채널에 대해 수렴된 계수값을 저장하고 저장된 계수값을 초기화 계수값으로 사용하여 수렴속도를 줄이기 위한 채널등화기를 제공한다. 기술의 특징 - 본 기술은 입력신호를 필터링하는 피드포워드 FIR 필터수단과, 채널등화기의 최종 출력 신호를 슬라이싱하는 슬라이싱수단, 슬라이싱수단으로부터 출력되는 신호를 필터링하는 피드백 FIR 필터수단, 피드포워드 FIR 필터수단과 피드백 FIR 필터수단으로부터 출력되는 신호를 가산하여 최종 출력하는 가산수단, 가산수단으로부터 출력되는 최종 출력신호로부터 발생된 에러를 검출하는 에러발생수단, 에러발생수단으로부터 출력되는 신호와 입력신호와 슬라이싱수단으로부터 출력되는 신호를 이용하여 계수를 업데이트 계산하여 피드포워드 FIR 필터수단과, 피드백 FIR 필터수단으로 출력하는 계수 업데이트 계산수단 및 계수 업데이트 계산수단으로부터 출력되는 수렴된 계수값을 저장하고 계수 업데이트 계산수단으로 초기화 계수값을 출력하는 초기화 계수값 저장수단 등으로 구성되어 있는 것이 특징이다.
- 개요 본 기술은 동영상 데이터 또는 오디오 데이터와 같은 실시간 데이터가 불연속적으로 기록되는 재기록 가능한 광디스크와의 재생 호환성을 갖는 포맷으로 데이터가 기록된 재생전용 광디스크와, 그 재생전용 광디스크 장치에서의 재생방법에 관한 것임.- 특징 재생전용 광디스크에 대한 재생방법은, 재생전용 광디스크에서 데이터를 재생하고, 재생도중, 소정 구간 단위로 반복 할당된 불요 데이터 기록영역을 만나게 되면, 그 영역을 스킵하거나 또는 그 영역에서 재생되는 불요 데이터를 제거함으로써, 그 불요 데이터 기록영역 이전 및 이후의 데이터를 연결하여 출력함.- 효과 재기록 가능한 광디스크와 재생전용 광디스크간에 재생 호환성이 상호 유지됨.
- 개요 본 기술은 출력 구동회로에 관한 것임.- 특징 집적소자에서 외부로 출력할 입력신호의 레벨 및 출력 인에이블 신호의 레벨을 제 1 및 제 2 시프트 레지스터가 각기 집적소자의 외부에서 요구하는 레벨로 변환하고, 제 2 레벨 시프터의 출력신호에 따라 출력 구동부가 인에이블되면서 제 1 레벨 시프터의 출력신호를 집적소자의 외부로 출력하며, 제 1 및 제 2 시프트 레지스터 각각은, 입력신호 분할부가 입력신호 또는 출력 인에이블 신호를 지연시킴과 아울러 그 지연시킨 시간과 동일한 시간을 지연시키면서 반전시키고, 그 입력신호 분할부에서 생성된 두 신호의 레벨을 센스 증폭기가 동일한 지연 시간으로 집적소자의 외부에서 요구하는 레벨로 증폭하며, 센스 증폭기에서 출력되는 두 신호를 신호 출력부가 상호간에 동일한 시간을 지연시키면서 그 두 신호에 따라 전위가 가변되는 펄스신호를 생성하여 출력 구동부로 출력함.- 효과 집적소자에서 외부로 출력할 신호의 듀티비는 그대로 유지시키면서 전위레벨을 외부에서 요구하는 전위 레벨로 변환하여 출력 가능.
본 기술은 개인 식별 장치, 방법 및 그 프로그램이 기록된 기록매체에 관한 것이다. 개인 식별 장치는 식별하려는 피검자의 심전도 데이터를 이용하여 3차원 공간상에서의 심전도 데이터인 제1 벡터 심전도를 산출하는 벡터 심전도 산출부 및 산출된 제1 벡터 심전도와 미리 저장된 후보 벡터 심전도 정보를 이용하여 식별하는 식별부를 포함하여 구성된다. 본 기술에 따르면 식별하려는 피검자의 심전도 데이터를 이용하여 개인식별을 행한다는 이점이 있다.본 기술에 따른 개인 식별 장치, 방법 및 그 프로그램이 기록된 기록매체는 고도의 보안성을 제공한다는 장점이 있다.
본 기술은 저온 폴리실리콘 공정을 이용하여 형성되는 SRAM의 감지 증폭기 및 감지 증폭기를 이용한 셀 데이터의 감지 방법이 개시된다. SRAM의 셀은 기본적으로 래치 구조를 가진다. 셀로부터 출력되는 데이터는 비트라인 및 /비트라인으로 전달된다. 읽기 동작시, 비트라인 신호 및 /비트라인 신호는 서로 상보적인 관계이다. 비트라인 신호와 /비트라인 신호의 차이가 소정의 값을 상회하는 경우, 감지 증폭기는 이를 감지하고 증폭한다. 감지 증폭기는 2단계의 동작으로 수행된다. 첫 번째 단계에서 비트라인 신호 및 /비트라인 신호 중 하나의 신호를 선택하여 입력하고, 이를 제1 정보로 저장한다. 이어지는 두 번째 단계에서는 저장된 제1 정보와 새로이 선택된 신호를 비교하고, 전류차이에 따른 충방전 동작을 수행하여 발생되는 전압 레벨을 빠르게 래칭한다.본 기술은, 셀로부터 전달되는 제1 신호에 상응하는 제1 정보를 저장하는 비교 감지부와, 제1신호와 상보적 관계에 있는 제2 신호의 차이에 의해 발생되는 전류값에 따라 제1신호와 제2신호의 레벨을 비교하여 소정의 로직을 생성하는 버퍼부를 포함하는 감지 증폭기를 제공한다. 한편, 본 기술은 제1 신호를 수신하고, 제1 신호에 상응하는 제1 정보를 저장하는 단계와 제1 신호와 상보관계에 있는 제2 신호를 수신하고, 제1 신호와 제2 신호의 차이에 따른 충방전 동작에 의해 로직 레벨을 형성하는 단계를 포함하는 셀 데이터 감지 방법을 제공한다.본 기술에 따르면 저온 폴리실리콘 공정을 이용하여 메모리의 일종인 SRAM을 제조할 수 있다. 특히, 신호들의 편차가 발생하는 경우, 감지 증폭기가 가지는 동작 양상에 의해 신호들의 편차에 둔감한 메모리의 제조가 가능해진다.
본 기술은 3차원 밀폐계의 능동소음제어시스템 및 방법에 관한 것으로서, Co-FXLMS(Correlation Filtered-X Least Mean Squares) 알고리즘을 이용하여 3차원 밀폐계에서 발생하는 내부 소음을 능동적으로 제어할 수 있는 3차원 밀폐계에서의 능동소음제어 기술에 관한 것이다.특히 본 기술은 FXLMS(Filtered-X Least Mean Squares) 알고리즘을 기반으로 오차신호와 필터링된 참조신호의 상호상관을 이용하여 수렴계수를 실시간으로 갱신하는 Co-FXLMS 알고리즘을 개발함으로써, 시간에 따라 파워가 변하는 참조신호에 대한 수렴성능을 향상시켜 기존의 1차원 덕트에서만 주로 적용되던 FXLMS 알고리즘을 3차원 밀폐계에 확장시켜 적용할 수 있는 기술에 관한 것이다.본 기술에 의하면, 부가경로 전달함수의 예측치가 보상된 참조신호와 오차신호의 상호상관을 이용하여 FXLMS 알고리즘의 수렴계수를 실시간으로 보정할 수 있도록 한 Co-FXLMS 알고리즘을 구현함으로써, 시간에 따라 파워가 변하는 모든 밀폐계에 대해서 실시간으로 능동소음제어를 실시할 수 있다.또한 본 기술은 하나의 참조신호에 대하여 다수 채널을 형성하고 그 각각의 채널에 대한 FXLMS 알고리즘의 수렴계수 조절이 각각 실시간으로 이루어지도록 함함으로써, 3차원 밀폐계를 가지는 모든 제품에 적용할 수 있는 이점이 있다
본 기술은 조이스틱과 같은 동작키를 X-Y좌표계 상에서 2자유도 작동을 실시하여 사방향으로의 동작 및 속도를 제어하고 사분면 영역에 위치되면 로봇과 같은 이동 장치의 회전 동작을 수행할 수 있도록 한 동작 정보 입력 장치 및 이를 사용한 동작 정보 입력 방법에 관한 것이다.본 기술은 영점에 설치되며, 전(全) 방향으로의 방향을 지시하고, 지시된 방향을 따르는 속도 좌표값을 생성하도록 작동되는 동작키 및 동작키와 전기적으로 연결되며, 속도 좌표값을 전송 받아 속도 좌표값이 영점을 기준으로 형성되는 사분면 중 어느 하나의 영역에 위치되면 턴 동작 정보를 생성하는 동작 제어 모듈을 포함하는 동작 정보 입력 장치에 관한 것이다.본 기술은 2자유도 동작키를 사용하여 이동 장치의 이동 동작과 턴 및 스핀 동작을 가능하게 할 수 있는 효과를 갖는다.본 기술은 이동 장치를 턴 동작에서 스핀 동작 또는 스핀 동작에서 턴 동작을 연속적으로 가능하게 할 수 있는 효과를 갖는다.
기술의 개요 - 본 기술은 그랜드 얼라이언스 HDTV 시스템에서 세그먼트 주기마다 정확한 세그먼트 동기 신호를 검출할 수 있는 세그먼트 동기 신호 검출기를 제공하는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술은 입력되는 현재 세그먼트의 복합 기저대역 데이터 신호와 직전에 입력된 세그먼트의 복합 기저 대역 데이터 신호를 더하는 것에 의해 복합 기저 대역의 데이터 신호로부터 세그먼트 동기 신호에 해당하는 데이터만을 분리하여 출력하는 세그먼트 누적기와, 세그먼트 누적기의 출력 신호를 소정의 임계치들과 비교하는 것에 의해 세그먼트 동기 신호의 데이터인 복수개의 고정 심볼열에 해당하는 레벨값들을 각각 소정수의 비트들로 출력하는 양자화기, 양자화기로부터 출력되는 레벨값들로부터 세그먼트 동기 신호의 패턴을 검출하여 각 세그먼트의 위상 정보를 얻고 각 세그먼트 위상 펄스를 얻는 세그먼트 동기 신호 패턴 검출기, 그리고 세그먼트 동기 신호 패턴 검출기로부터 출력된 세그먼트 위상 펄스를 이용하여 복구된 세그먼트 동기 신호를 만드는 세그먼트 동기 신호 생성기로 구성되는 것이 특징이다.
기술의 개요 - 본 기술은 홀로그램과 주사선 안내판을 사용하여 지문의 형상이 에어리어 CCD상에 직각으로 결상되도록 함으로써 에러발생요인을 제거함과 아울러, 편광방향이 서로 수직을 이루는 편광판을 레이저 다이오드와 지문구간 사이의 입력부분과 지문구간과 홀로그램 사이의 출력부분에 설치하여 주사선 안내판 내부에서 직접 반사되는 빔을 제거함으로써 선명한 지문 영상을 얻을 수 있는 지문 인식장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술에서 레이저 다이오드로부터 나온 빔은 콜리미터에 의해 평행광으로 된 후 주사선안내판의 입력부분에 부착된 편광판에 의해 편광되면서 지문이 접촉되는 부분에 입사되고 지문의 요철에 따라 산란된다. 주사선 안내판의 내부에서 직접 반사되는 빔들은 편광판에 의해 편광된 방향을 유지하게 되고, 편광방향을 손실한 산란빔 중 일부의 빔은 주사선 안내판의 저면과 상면에서 세타1 각도로 번갈아 반사하면서 편광판과 홀로그램에 입사되고, 홀로그램에 의해 에어리어 CCD상에 결상되고 결상된 지문 영상은 에어리어 CCD에 의해 전기적 신호로 바뀌고, 신호증폭 및 분석회로에 의해 분석되어 지문이 인식되는 것을 특징으로 한다.
기술의 개요 - 본 기술은 등록 과정에서 사용자가 원하는 제어 기능과 음성 등록 순서를 자유로이 선택할 수 있도록 하여 사용자로 하여금 제어 기능의 선택폭을 넓히는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술에서 음성 인식 장치에 부착된 등록키를 눌러 등록 모드로 절환한 다음 사용자가 원하는 기능키를 키부에서 누르면 눌러진 키의 신호가 마이크로 컴퓨터로 전달된다. 이에 따라, 마이크로 컴퓨터는 그 키의 기능을 메모리부에 기록한 후 사용자의 음성을 기다린다. 사용자가 눌러진 기능에 해당하는 단어를 발음하면 이 단어는 마이크를 통해 음성 인식부로 전달되고 음성 인식부는 인식에 필요한 단어의 음성 패턴을 만들어 이를 메모리부에 저장하고 음성이 등록되었음을 마이크로 컴퓨터로 전달한다. 이에 따라, 마이크로 컴퓨터는 음성 패턴과 사용자가 누른 키부의 기능키를 대응시켜 최종적으로 메모리부에 기록시키는 것을 특징으로 한다.
기술의 개요 - 본 기술은 모뎀과 같은 정보 전달수단을 사용함이 없이 음성과 데이타를 주파수 영역에서 분리한 후 시간 영역에서 혼합하여 전화 선로에 접속된 상대측에 전송함으로써, 음성과 데이타를 동시에 송수신할 수 있는 음성/데이타 전송 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술은 음성 대화와 동시에 필서 대화를 통한 의사 전달이 필요하면 스위치를 절환시킴에 의해 음성/데이타 전송 장치를 전화 선로에 접속시킨다. 상호간에 마이크로 음성을 입력시키면 음성/데이타 전송 장치를 통해 고역 성분이 제거된 후 교환기를 통해 상대측으로 전송되고 이 전송된 음성은 스피커를 통해 상대측 대화자에게 전달된다. 음성 대화와 동시에 데이타 입출력부로 도형, 문자 등과 같은 그래픽 정보를 입력시키면 위치 좌표에 대한 정보가 디지탈화된 후 음성/데이타 전송 장치에 각기 입력되고 마이크로 입력되는 음성과 혼합된 후 교환기를 통해 상대측에 전송된다. 전송된 정보는 각 장치에 입력된 후 음성과 데이타로 분리되고, 음성은 스피커로 출력되며 동시에 데이타는 디코딩되어 데이타 입출력부에 입력됨에 의해 화면에 필서에 의한 영상이 표시되는 것을 특징으로 한다.
본 기술은 표시부와 동일한 투명 절연기판상에 형성된 평판 디스플레이 구동회로에 관한 것으로 표시부와 동일한 투명 절연기판상에 형성된 평판 디스플레이 구동회로에 있어서 공통 소오스 타입으로 네거티브 피드백 루프를 형성하여 출력 이득을 높여서 구동능력을 높이고 이로 인하여 부하구동신호인 출력신호의 안정화 시간이 짧아지게 하고 목표 출력 정확도를 높이는 평판 디스플레이 구동용 아날로그 버퍼 회로에 관한 것이다. 본 기술에 따른 공통 소오스 타입 아날로그 버퍼 회로는, 제1전원과 제2전원 사이에 직렬로 연결된 제 1트랜지스터 및 제 2 트랜지스터를 포함하는 공통 소오스 팔로워 수단과 입력단, 공통 소오스 팔로워 수단의 입력단 및 공통 소오스 팔로워의 출력단 사이에 설치되어, 공통 소오스 팔로워 수단의 출력 전압 오프셋 검출시에 입력단으로부터 입력되는 입력 전압에 대하여 네거티브 피드백 루프를 형성하여 공통 소오스 팔로워 수단의 출력 전압 오프셋을 감소시키는 네거티브 피드백 수단을 포함하는 공통 소오스 타입 아날로그 버퍼 회로를 제공한다.본 기술에 의하면, 공통 소오스 타입의 아날로그 버퍼에 네거티브 피드백 루프를 형성하여 아날로그 버퍼의 전압이득을 높여서 출력 전압의 오차(오프셋)를 줄이고 버퍼의 구동능력을 높임으로써 부하구동신호인 출력신호의 안정화 시간이 짧아지도록 하여 소비전력을 감소시킬 수 있게 된다.
기술의 개요 - 본 기술은 16: 9의 화면비를 갖는 고화질 TV신호를 4 : 3 또는 16 : 9의 화면비를 갖는 NTSC신호로 변환함으로써, 기존의 NTSC용 TV로 고화질 TV를 시청할 수 있도록 하는 고화질 TV 신호 변환회로를 제공하는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술은 고화질 TV신호(HDTV)를 샘플링주파수에 따라 디지털 변환하는 아날로그/디지털 변환부와, A/D 변환부의 출력을 각각의 라인필터에 입력시켜 수직방향의 보간을 수행하는 라인필터부, 라인필터부의 출력을 라인 데시메이션에 각기 입력시켜 수직방향의 추림을 수행하는 라인 데시메이션부, 라인 데시메시션부의 출력을 수평필터에 각기 입력시켜 수평방향의 보간을 수행하는 수평필터부, 수평필터부의 출력을 수평 데시메이션에 각기 입력시켜 수평방향의 추림을 수행하는 수평 데시메이션부, 수평 데시메이션부의 출력을 라이트클럭에 따라 선입선출부에 각기 저장하고, 리드클럭에 따라 출력시키는 메모리, 격행주사 또는 비월주사 모드선택에 따라 온, 오프되는 스위치, 샘플주파수에 따라 메모리의 출력을 아날로그로 변환하는 디지털/아날로그 변환부로 구성되는 것이 특징이다.
기술의 개요 - 본 기술은 제어부인 게이트전극을 발광부측 기판에 형성하고 팁을 테이퍼 에칭방법으로 형성하여 제조공정을 단순화하도록 하는 VMD 구조 및 그 제조방법을 제공하는 데에 있다.기술의 특징 - 본 기술의 VMD 구조는 유리기판상에 도전성 캐소드층을 형성하고, 도전성 캐소드층 중앙에 방출부인 팁을 형성하며, 다른 유리기판위에는 투명전극을 형성하고, 투명전극 중앙에는 발광부인 형광층을 형성함과 아울러, 양쪽에는 절연층과 제어부인 게이트전극을 연속 형성하여 두 유리기판이 진공상태로 합착되는 구조를 이루는 것이 특징이다. - 제조방법으로는 팁층위에 감광막패턴을 형성한 후 감광막패턴을 열처리하는 단계, 감광막패턴으로 에칭가스에 산소가스를 첨가하여 반응성 이온에칭을 실시하여 도전성 캐소드층위에 뽀족한 팁을 형성하는 단계, 감광막을 이용해 게이트 전극과 절연층을 패터닝하는 단계, 방출부인 팁이 형성된 유리기판과 제어부인 게이트 전극 및 발광부인 형광층이 형성된 유리기판을 얼라인하여 합착한 후, 진공상태로 만드는 단계로 구성되어 있다.
본 기술은 전압 영역에서의 신호를 시간 영역에서의 신호로 변환하여 아날로그-디지털 변환하는 방식의 아날로그-디지털 변환기 및 아날로그-디지털 변환 방법에 관한 것이다. 본 기술은, 아날로그 입력 신호를 N비트 디지털 신호-여기서 N은 양의 정수임-로 변환하는 아날로그-디지털 변환기에 있어서, 복수의 서로 다른 기준 전압을 생성하는 기준 전압 발생부, 아날로그 입력 신호의 크기와 복수의 기준 전압들 각각의 크기와의 차이를 입력되는 클럭의 지연 시간 차이로 변환시키는 지연부, 클럭의 지연 시간 차이를 검출하여 검출 신호를 생성하는 위상 검출기 및 검출 신호를 입력받아 아날로그 입력 신호가 증가함에 따라 증가되는 N비트 디지털 신호로 변환하는 코드 생성부를 포함하는 것을 특징으로 한다.종래 프리 엠프를 이용하여 구현되는 다수의 비교기로 이루어진 아날로그 디지털 변환기에 비하여 전류 소모가 감소하여 아날로그-디지털 변환기의 전력 소모 및 칩면적을 크게 줄일 수 있다. 또한, 종래 비교기를 사용하는 경우에 비하여 신호대 잡음비(SNR) 및 다이나믹 레인지를 높일 수 있고, 비교기의 옵셋 전압에 의한 영향을 줄일 수 있다.
본 기술은 애드 혹 네트워크에서 효율적인 경로 복구를 위한 통신 시스템 및 통신 방법에 관한 것이다.본 기술에 따른 통신 시스템은 경로 요청 메시지 및 경로 응답 메시지 중 적어도 하나의 메시지를 송신 및 수신하는 메시지 송수신부, 하나의 메시지에 해당하는 경로 정보를 필터링하는 필터링부 및 필터링된 경로 정보를 저장하는 경로 정보 저장부를 포함한다.애드 혹 네트워크(ad-hoc network)에서 경로의 단절이 발생하면 필터링을 통해 저장된 경로 정보를 바탕으로 대체 통신 시스템을 찾아 지역 복구를 행함으로써 상기 경로가 복구되기까지의 지연시간을 감소시켜 데이터 전송 단절을 최소화할 수 있다.본 기술에 따르면, 주기적인 위치 확인 메시지를 이용하지 않고, 경로 재검색을 시도하는 빈도수를 감소시켜 네트워크 및 대역폭에 대한 부하를 감소시킬 수 있다.
기술의 개요 - 본 기술은 에이치디티브이 수신장치에 관한 것으로, 기존의 TV와 호한성을 HDTV 수신 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술은 디코더, NTSC 변환 장치, 디스플레이 처리부 및 DAC로 구성되고, 모드 변환부는 디코더의 출력을 각 모드에 따라 NTSC 변환하는 NTSC 변환부 I,II,III 및 사용자로부터 입력되는 선택신호에 따라 NTSC 변환부, I,II,III와 디코더의 출력을 선택하여 출력하는 멀티플렉서로 구성되어 있는 것이 특징이다.
본 기술은 반사형 마스크에서 흡수영역이 반사영역과 180°의 위상차와 극자외선 파장에서의 6%이상의 반사도를 가지고 있도록 하고, 결함 검사 효율을 높이기 위해 DUV(Deep Ultra Violet) 파장에서의 5% 미만의 낮은 반사도를 가지고 있도록 하며, 쉐도우 효과(shadow effect)를 최소화하기 위해 50nm 이하의 두께를 가지고 있도록 하는 극자외선 노광 공정용 어테뉴에이티드 위상반전 마스크의 구조 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 특징이 있다.본 기술에 따른 극자외선 노광공정용 어테뉴에이티드 위상반전 마스크에서는 이종의 물질이 교대로 적층된 다층박막(multilayer)을 기판 위에 형성한다.다층박막의 보호를 위해 캡핑층(capping layer)을 도포하고, 캡핑층 위에 위상을 반전시키기 위한 위상 반전막(phase shift layer)을 형성하며, 위상 반전막 위에 스페이서(spacer) 막을 형성하고, 스페이서 막 위에 극자외선에 대한 반사도를 낮추기 위한 어테뉴에이터(attenuater) 층을 도포한다. 이에 따라, 마스크 구조에 대하여 선택적인 위상반전 효과와 극자외선의 반사 효과를 얻기 위해 어테뉴에이터와 스페이서, 위상반전막을 식각 공정에 의해 제거하는 것이다.본 기술은 Mo와 Si의 다층박막과 Ru 캡핑층으로 구성되는 극자외선 반사다층 미러 상부에 위상반전막과 스페이서 막과 어테뉴에이터를 얇게 형성 및 제조가 가능하게 되어 흡수체의 높이(height)를 낮추어 쉐도우 효과(shadow effect)를 감소시킬 수 있다.