일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 기술은 cross capacitance 측정원리를 적용하여 수은주 액면의 높이를 sub micrometer까지 측정할 수 있는 기술이다. Thompson-Lampard 정전기 이론을 이용한 cross capacitor는 탁월한 안정도, 재현성을 지니고 있기 때문에 전기용량의 절대측정장치에 적용하여 사용되고 기술이다. 이 기술을 수은압력계에 적용하면 중간 압력범위에서 수십 ppm 수준으로 압력측정이 가능하다.본 기술은 cross capacitance 측정원리를 적용하여 수은주의 레벨을 sub micrometer까지 측정할 수 있다.
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-01-03
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
접촉 또는 비접촉으로 다양한 물리량 변화를 측정할 수 있는 전기용량 센서를 제작할 수 있는 기술이다. 전기용량 센서는 측정범위가 극히 넓고, 안정도와 분해능이 탁월하기 때문에 폭 넓게 활용이 가능하다. 구조가 간단하며, 감도와 분해능 우수, 주파수 응답 특성이 우수하며 전력소모가 적고안전도, 재현도, 정밀도가 우수하다.- 미소변위 측정- 제품의 두께 균일도 측정- 액체레벨 측정- 회전속도 측정- 전원도, 편심도 측정- 진동측정
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-01-03
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전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
크로스 커패시터 원리를 이용하여 1.9mm이하의 범위에서 0.1㎛의 분해능으로 비접촉 측정할 수 있는 센서이다. 측정대상물을 대향전극으로 사용하였던 기존의 개념과는 달리 크로스 커패시터 원리를 이용하였으므로 전극자체의 비대칭 및 표면의 영향이 없이 극히 얇은 고리모양의 감지영역에 의해 미소변위를 정밀하게 측정할 수 있다. 4-전극형 센서이므로 전극 표면의 오염에 영향을 받지않고, 평행 원판위에 전극을 형성하여 완전대칭이며, 측정체의 표면상태를 미세하게 분석 가능.- 원통형 및 봉형 가공물체의 진원도, 직진도 측정- 미소진동 측정- 회전체 변위, 편심도 및 회전수 측정
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-01-03
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
진동을 응용하여 유체의 밀도를 0.0005 g/cm3 까지 정밀측정할 수 있는 센서 제작기술이다. 유량의 정밀측정이 가능하며 식품 및 화학제품의 자동화에 활용가능하다.사업성 : 국내 제작자가 없으며 전량 수입함.(년간 수입액 100억원 예상)-송유관, 도시가스 배관의 유량 및 밀도측정-화학원료의 밀도,농도측정 및 공정자동화-음료 및 식품의 당도,염도,주정도측정 및 공정 자동화
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-01-25
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 두개의 막사이에서 이루어지는 간섭인 Fabry-Perot 간섭을 유리섬유 내에서 이루어지도록 한 Fabry-Perot 광섬유 센서의 제조 방법으로, -두개의 광섬유의 각각의 절단면에 대해 직각으로 이온 주입법을 사용하여 금속 이온을 일정한 주입깊이로 주입하여 광섬유 내에 얇은 Ta나 Cu 도핑 (doping)층 을 형성하게 하고, 금속이온 도핑층이 형성된 2개의 광섬유를 도핑층이 형성된 절단면을 마주하 여 용융 스플리서로 용융 접합, 광섬유 내에 2개의 반사막을 형성하도록 하는 Fabry-Perot 광섬유 센서의 제조에 관한 기술임. -Strain 및 온도, 하중변화에 따른 물질의 고유 탄성계수, 건축 구조물이 열화 되고 균열이 진전됨에 따라 변화하는 탄성계수 등을 측정함으로써 건축구조물 의 유지관리 시스템에 이용할 수 있음. -동 기술은 반사막을 내장시키는 방법에 의해 광섬유 단면에 코팅층을 형성 하는 기존 방식과 달리, 광섬유 내에 굴절률이 다른 도핑층을 내장시키기 때문에 스플리싱시에 같은 물질끼리 접합되기 때문에 접합 부위의 강도에 전혀 문제가 발생하지 않은 효과가 있음. -또한, 편차가 기존 기술보다 반사율 편차가 월등히 적기 때문에 항상 재현성 이 있는 센서의 파워를 제공할 수 있고, 계측기기의 접속이 용이하여 제품화 시 비용이 저렴하고, 인장강도가 매우 크기 때문에 취급이 용이하며, 어느 장소에서도 쉽게 사용할 수 있음
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- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 동일한 파장을 갖는 다수의 광섬유 격자센서와 이를 이용한 신호처리장치를 구비하는 차량계중장치의 개발, 과적/위반 차량의 영상정보 취득 및 운영 S/W개발, 고속주행 광센서 차종분류장치 개발 및 기능 확대가 가능한 자동 차량계중시스템을 제공하는 기술임. -또한, 진입차량의 축중 정보와 속도, 영상정보 등을 취득, 위반차량을 단속하고, 일반차량의 안전운행과 도로 및 구조물의 안전을 확보하기 위한 광센서 방식의 자동 차량계중시스템임. -속도측정, 차량식별, 교통량 데이터 수집, 고속계중 등에 사용됨-광센서 기술을 도로유지관리분야에 적용함으로써 도로의 수명 연장 및 안전 진단, 과적 및 과속 차량의 효율적인 관 리, 교통량 분석 및 하중에 의한 도로 구조물 손상 등을 예측할 수 있어 고속도로 및 국도의 교통정보 수집 장비로 사용이 가능함. -또한 고 내구성으로 수명 연장 및 설치가 간단하여 비용절감 효과가 있음.
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- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 광원으로 발광다이오드(LED)를 사용하며, CDMA 방식을 적용하여 신호처리를 안정화하고, 시스템의 구성을 간단하게 한 다중 광섬유 브래그 격자 센서의 신호처리 장치에 관한 기술임. -저속 및 고속 스트레인 측정을 위하여 다중 광섬유 브래그격자 센서의 신호처리 장치를 별도의 장치로 구성함. -동 기술은 고가의 F-P 필터가 필요 없고, 센서간의 신호를 분리하여 신호를 측정함으로써 저가의 안정된 시스템을 구성하고, 압력에 대하여 측정되는 신호의 선형성을 높일 수 있음. -또한, 센서의 다중화에 매우 유용할 뿐만 아니라 빠른 센서 신호검출이 용이, 동적계측 시스템에 효과적임
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- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 자체에서 생성되는 타이밍신호로 발광다이오드를 구동시켜 소정의 파장폭을 가지는 광신호를 반복적으로 방출, 광결합기를 통해 수신하여 외부로부터 가해지는 물리적 변화량에 따라 그 중심 파장을 천이시키고 반사시키는 다수개의 FBG센서들에 의해 각각 반사된 광신호들을 그 중심 파장값에 따라 광도를 다르게 하여 인클라인드 격자필터를 투과한 광신호들의 광도를 검출, 검출된 광도로 나누어 현재 입력된 광도변화율을 저장함과 더불어 이전에 입력된 광도 변화율과 비교하여 그 차이값을 바탕으로 파장의 천이량을 구하고, 이 천이량을 바탕으로 각 FBG 센서에 가해진 물리적 변화량을 산출하는 시스템 기술임.-동 기술은 센서시스템을 구현하는 기술로서, 이를 이용하여 변형율 및 변위측정용 패키지와 가속도계, 이를 신호처리하는 정적 및 동적 Data Logger를 개발·시판 중임.-기존의 시스템은 각 FBG에서 반사된 광신호의 파장을 스캐닝하기 위한 시간 이 많이 소요되고, 스캐닝시 F-P필터에 부착된 PZT의 히스테리시스에 의해 정확한 검출이 어려웠음.-동 기술은 1개의 인클라인드 격자 필터를 사용하고, 광을 소정시간 주기로 방출함으로써, 다수개의 FBG 센서에서 반사된 광신호들 의 파장 천이량을 일시에 빠르고 정확하게 검출할 수 있음.
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- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 광섬유 센서를 이용한 구조물 유지관리시스템으로써, 교량이나 대형 건축물 등 흔들림이 있는 구조물의 진동 및 기울어짐을 사그낙(Sagnac)간섭을 이용한 자이로센서(Gyro Sensor)나 브레그격자센서(Fiber Bragg grating, FBG)로 계측하여 구조물의 안전상태 및 파손여부를 실시간으로 감지하여 이상발생시 경고할 수 있는 센서시스템임. -대형 구조물의 진동, 형상변형 등을 감지하여 안전범위를 벗어날 때 즉각적으로 경고함으로써 대형사고를 예방하는 것이 주요 목적임. -광섬유 센서는 소형으로 초정밀 측정이 가능하고 전자파의 영향을 받지 않고, 광섬유의 손실이 작기 때문에 원격측정이 용이하며, 센서부에서 전기를 사용 하지 않으므로 폭발 위험성이 높은 환경에서도 사용할 수 있음. -또한, 광섬유의 재질인 실리카의 뛰어난 내부식성을 이용함으로써 사용환경에 대한 제약이 없고, 100㎛내외정도인 광섬유의 작은 직경과 광섬유 재료 실리카의 뛰어난 강도는 콘크리트 또는 복합재 구조물의 제작과정에서 구조물의 강도에 영향을 주지 않고 구조물 내에 심는(embedding) 것이 가능하며, 부하효과 없이 가장 정확한 측정 데이터를 제공할 수 있음.
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- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동기술은 시설물 유지관리용 광섬유 센서 시스템 및 이에 부수되는 신호처리 시스템과 이를 이용한 구조물 유지관리, 평가 및 종합 S/W 패키지로 개발됨. -광섬유 센서를 이용한 스트레인 계측시스템을 내장시킴으로써 건축구조물의 안전진단이 가능한 스마트 보수기법 및 온라인 안전진단기술임-구조물에 심각한 손상이 발생한 경우 적절한 대책을 마련할 수 있는 건전성 상시 모니터링 시스템임. -건축구조물의 수명 또는 안전도를 평가하기 위한 스트레인 계측시스템을 구조물의 열화로 인한 보수가 필요한 시기에 손쉽게 장착할 수 있고, 장착된 광섬유 센서 스트레인 계측시스템에 의해 구조물의 노후화 시기에 맞춰 유지, 관리하는 것이 가능함. -또한, 광섬유 센서는 전자파에 의한 장애가 발생하지 않고, 두께가 얇아 결함제공요인이 될 가능성이 낮으며, 원거리 신호전달이 용이하고, 한 개의 센서로 여러개의 센서 역할을 할 수 있음.
- 보유기관
- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 광섬유의 굽힘 손실(bend induced loss) 원리를 응용한 것으로 탈선 검지용 탄성 부재 내에 매설된 센서를 통해 차량의 탈선 여부를 감지하는 센서 시스템임.-또한, 탄성 부재에 광섬유를 매설하여 위 탄성 부재의 하중에 따라 광섬유의 굽힘에 따른 광강도를 측정하여 차량의 탈선 여부를 감지하는 시스템 기술임.-운전면허 코스시험장의 탈선검지선 하부에 매설되어 운전 시험중인 차량의 바퀴가 이탈선 검지선을 침범하였는지 여부를 판별하여 감점 등을 행하는데 사용되는 센서시스템임.-동 기술은 광원, 포토 다이오드 및 비교기로 된 간단한 시스템으로 광강도의 감소 여부를 판별하므로 제조비용이 저렴. -작은 하중에도 광강도 감소를 검출하기에 충분한 벤딩이 발생하기 때문에 오토 바이, 경운기 등 하중이 작은 차량뿐만 아니라 하중인 큰 대형 차량까지 용이 하게 적용.
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- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 고층건물이나 교량 등의 구조물의 외벽에 설치되어 바람에 의한 하중을 측정할 수 있는 풍압 측정 장치에 관한 기술임-종래의 풍속계가 측정할 수 없었던 건축구조물에 미치는 풍압을 측정하여 구조진단에 이용할 수 있음.-안정성이 중요한 건축구조물의 장기계측, 구조해석, 상시 안전진단 등의 통합시스템 과정에서 기초 계측자료를 제공하는 풍압측정장치임.-동 기술은 종래의 풍속계가 측정할 수 없었던 건축 구조물의 풍압을 측정할 수 있으며, 간단한 구조의 풍압계로 건축물의 외벽에 저비용으로 손쉽게 설치하여 건축 구조물의 구조 진단에 이용할 수 있음. -또한, 초고층건물 및 교량 등의 내풍설계 단계에서부터 구조물의 사후 안전진단 분야에 적용, 주요 시설물의 손실 및 재난을 사전에 예방할 수 있음.
- 보유기관
- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
-동 기술은 복합재료에 광섬유 격자센서를 내장시켜 스트레인 변화를 진단할 수 있도록 설계된 자기진단형 보강 구조물임.-또한, 측정장치를 내장하여 탄소섬유시트나 유리섬유계 복합재료 구조보강재료의 성능 향상을 모니터링 할 수 있도록 설계되어 있음. -보강구조물 사용시 생기는 변형의 크기를 측정하는 광섬유 격자센서를 내장한 복합재료 보강체와 내장된 광섬유 격자 센서의 신호를 처리하는 신호처리 기구를 가지고 있음.-특히, 대역폭이 2nm이상인 광섬유 첩 격자를 내장하여 정확성을 높임.-동 기술은 스트레인 레벨을 쉽게 측정할 수 있는 첩 격자 광섬유 센서를 내장 시켜 항시 보강재의 거동 및 성능 측정이 가능하고, 구조물의 스트레인 변화를 항상 확인할 수 있으며, 첩(Chrip)격자를 필터로 사용하기 때문에 온도 의존성을 배제할 수 있고, 스트 레인 절대량의 측정이 가능함.-또한, 복합재료 구조물의 내부에 장착되어 내부 Fiber의 거동 측정도 가능함.
- 보유기관
- (주)아이세스
- 등록일
- 2002-12-05
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
전기터빈센서는 일종 성능이 탁월한 비 접촉측정용 센서로서 동 센서는 기계의 진동, 이동, 회전속도 등 운동상태에 대한 직접적인 온라인 측정에 사용된다. 전기터빈 센서는 부피가 작고 구조가 엄밀하고 단단하며 내부식성, 내습열 성능이 탁월하여 전력, 석화, 기계 등 업계에 널리 응용되고 있다. 그러나 일반개념으로서의 전기터빈센서는 많은 강점을 갖고 있음에도 불구하고 자체에 고유적인 약점을 갖고 있다. 이러한 약점들은 전기터빈 센서의 사용효과와 사용분야를 제한한다, 우선 일반 전기터빈센서는 측정대상의 재질에 매우 민감하다. 상이한 재료 즉 동, 알루미늄, 스틸 등에 대한 측정을 하기 어렵다. 둘째, 일반 전기터빈센서의 유효 측정범위가 작고 일반적으로 코일 지름의 절반에 해당된다. 셋째, 일반 전기터빈센서의 Probe와 확대기 간의 케이블 회로내의 저항치는 한 개 중요한 영향 요소이므로 그의 길이를 임의로 변경할 수 없다. 그렇지 않을 경우, 센서의 사용성능에 심각한 영향을 끼친다.(1) 유효측정범위가 크고 최대 선형측정범위는 probe 코일지름의 5배, 만약 30mm의 코일일 경우 유효측정범위는 150mm다.(2) 센서는 측정대상의 재질과는 무관하다. 상이한 강, 동, 알루미늄, 마그네트라 할지라도 측정 시 다시 설정할 필요가 없다.(3) probe와 확대기 사이에 연결한 케이블의 길이는 사용에 영향을 주지 않고 특수 케이블을 소요하지 않으며 단지 적합한 케이블이면 충분하다. 또한 매우 짧은 길이에서 몇 십메터까지 임의의 변경 가능하고 측정결과에 영향을 미치지 않는다.
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- 중국청화대학교
- 등록일
- 2002-12-13
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
압전초음전기기계는 압전도자기의 역압전효응을 이용하여 고정자의 표면에서 초음진동을 산생하며 고정자로 회전자를 구동하여 운동하는 일종 전기기계이다.본 발명은 단고정자중공구조환형행파초음전기기계의 사용영역에 쓰일수 있따.예하면 카메라자동 (초점조절) 시스템,로보트관절,앙각조절,승용차의자승강,정밀위치고정등본 발명은 일반초음 전기기계의 특점을 구비하였다.회전속도가 작고 토크가 크며 감속기구가 필요없이 직접 부담을 구동;체적이 작고 구조가 영활하며 공율체적비는 전자석전기기계의 3~10배;기동 정지반응이 빠르고 반응시간은 1ms보다 작다;전자석 방해가 생기지 않으며 방해를 받지도 않는다;자아유지 모멘트가 있으며 치륜간격이 없고 정밀하게 위치를 정할수 있다;운행이 안정하고 소음이 없다.이외 보다 간단한고 쉽게 진행할수 있으며 공율체적비도 보다 크다.
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- 중국청화대학교
- 등록일
- 2002-12-13
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 기술은 광섬유센서를 적용하여 대형구조물의 안전계측을 위한 시스템 구성에 관한 기술이다. 안전계측 요인별로 적합한 광섬유 센서의 형태, 장거리 분포형 센서의 특성, 광섬유의 접착방법에 대한 기법 및 시스템 구성 후 운용에 관한 기술이 포함된다. 광섬유 센서는 전자기 영향을 받지 않으며, 내부식성이 좋고 분포형 물리량(변형률, 온도, 압력 등)을 측정할 수 있어서 기존의 전기식 센서로 측정이 불가능한 대형 구조물의 장기간의 연속감시를 가능하게 한다.광섬유 센서는 전자기 영향을 받지 않으며, 내부식성이 좋고 본포형 물리량을 측정할 수 있어서 대형 구조물의 계측에 적합하다. 따라서 기존의 전기식 센서로 측정이 불가능한 대형 구조물(교량, 빌딩, 배관 등)의장기간의 연속감시를 가능하게 한다.- 터널의 안전계측 시스템 구성 전반에 활용가능함.- 광섬유 센서의 적용기법을 제공함.
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- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-01-24
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 기술은 전자기 영향이 없고, 내식성이 뛰어난 광섬유 센서를 이용하여 변동하는 변형률을 측정하는 센서기술이다. 본 기술은 대형구조물의 변동하중 및 변형률의 측정이나, 과적차량 단속용 휴대용 차량 중량계 등의 제작에 사용할 수 있는 기술이다. 특히 변형률 게이지 길이를 약 2 - 3 m까지 길게 만들 수도 있으며 변형률 분해능이 게이지 길이에 반비례하는 특성을 갖는데 게이지 길이가 약 2 - 3m인 경우에는 약 0.2 - 0.3 마이크론으로 매우 정밀한 측정이 가능하다.광섬유 센서는 전자기 영향을 받지 않으며, 내부식성이 좋고 본포형 물리량을 측정할 수 있어서 대형 구조물의 계측에 적합하다. 본 센서는 장기간의 측정보다는 단시간의 빠른 변화가 있는 변형률을 측정하기에 적합한 센서이다. 따라서 기존의 전기식 센서로 측정이 불가능한 대형 구조물(교량, 빌딩, 배관 등)의 빠른 변동 변형률을 측정하기에 용이하다.- 대형구조물의 변동 하중 및 변형률의 측정- 휴대용 차량 중량 측정 시스템
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-01-24
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 기술은 다중영역 제어 (Multi-zone control)방식으로 구동되는 전기로의 온도측정 및 제어용 열전대를 개선하여 하나의 공통 열전대소선(common TC wire)에 여러 개의 접점을 형성시켜 열전대 소선의 소모를 반으로 줄이고 효율적으로 공정을 제어할 수 있는 기술이다. 반도체 확산로에 사용되는 3영역(three -zone) 혹은 5영역(five -zone) 전기로의 온도제어용 열전대를 다중접점 방식으로 개선하게 되면 기존 사용량의 1/2 정도로 제어가 가능하며, 또한 열전대 제조과정 중에 발생할 수 있는 불균질성 (각각의 열전대가 갖는 비반복도)을 감소시킬 수 있어 공정관리가 원할하게 된다. 온도구배 측정시 단 일회의 측정으로 온도구배에 대한 정보를 얻을 수 있고, 전량 수입되는 열전대의 수요를 감소시킴으로써 수입대체 효과를 가질 수 있다.기존 열전대 소모량의 대폭 감소시키고, 온도구배 측정시 단 일회의 측정으로 온도구배에 대한 정보를 얻을 수 있음. 전량 수입되는 열전대의 수요를 감소시킴으로써 수입대체 효과를 가질 수 있음. 온도구배에 대한 정보가 필요한 전 산업분야에 적용 가능함.- 반도체 확산로의 온도제어 및 측정용 열전대 대체- 각종 항온 유지장치의 온도구배 측정
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-03-17
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 기술은 수정진동자의 표면에 질량변화가 생기면 수정진동자의 진동 주파수가 변화하고 이 주파수 변화를 측정함으로써 극미량의 질량변화를 측정할 수 있는 미량수정저울(Quartz Crystal Microbalance)을 제작하는 기술이다. 이 기술은 수정진동자의 표면에 특정 물질의 흡착을 유발하는 물질을 코팅하여 특정 물질의 센서로 사용할 수도 있다. 수정 진동자의 한 전극을 전기화학적 전극으로 사용하는 경우 이를 전기화학적 QCM(EQCM)이라고 하는데, 개발된 EQCM은 세계에서 가장 정밀하다.(0.25 ng/cm2). Potentiosta 제작 기술도 함께 이전이 가능하다.본 기술은 세계에서 가장 정밀하므로 국제적 경쟁력이 있음. - 전지, 부식 등 전기화학 관련 산업 및 연구 - 습도, 가스, 임상 등 특정 화학물질의 센서로 활용가 - Sputtering, 도금 등을 모니터링 하는 센서로 사용
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 등록일
- 2003-03-17
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 기술은 가시광선에서 자외선에 이르는 주파수 범위의 광을 검출할 수 있도록 한 다공질 실리콘 다이어프램을 이용한 광센서 및 광센서 제조방법에 관한 것이다. 단결정 실리콘 기판의 하부 중심부를 이방성 에칭하여 실리콘 다이어프램을 형성한 후, 이것을 다시 전기 화학적으로 에칭하여 다공질 실리콘 다이어프램을 수직 원통형 기공구조를 갖도록 제작하고, 다공질 실리콘 다이아프램 상부 및 기판의 하부전면에 캐소즈와 에노드전극을 설치하여 가시광 및 자외선을 모두 검출할수 있도록 한다. 종래 기술에 따른 광센서는 다공질 실리콘과 벌크 실리콘 단결정 경계면, 그리고 벌크실리콘에서 발생하는 과전류 및 벌크자체의 저항이 광센서의 특성에 큰 영향을 미치게 되고, 출력이 전류이기 때문에 소비전력이 증가되는 등의 문제점이 있는데, 본 기술은 가시광에서 자외선에 이르는 모든 광을 검출할 수 있도록 한 다공질 실리콘 다이어프램을 이용한 광센서를 제공함으로 상기의 문제점을 해결할 수 있다. 마이크로머시닝 기술과 전기화학적 에칭에 의해 제작된 다공질 실리콘 다이아프램을 이용함으로써 벌크 실리콘의 영향을 완전히 제걸할 수 있다구조와 제작공정이 간단하고, 신호검출회로의 집적화가 가능한 이점이 있고, 기존의 실리콘 광 센서로는 검출하기 곤란한 주파수 영역까지의 범위를 검출할 수 있다.
- 보유기관
- 고려대학교
- 등록일
- 2003-03-17
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