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일반기술 기계 > 기타 보건·의료기계

미세침습 수술을 위한 컴퓨터통합 수술 보조 시스템

본 기술은 척추경 나사못 시술, 척추 내시경 수술, 척추추체 성형술, 척추조직 검사, 척추측만 교정술 등의 척추 수술 등에있어서 양측 방사선 영상(Bi-plane Fluoroscopy)을 사용한 2차원 영상들로부터 3차원 정보를 생성하여 이를 이용하여 수술계획을 세울 수 있는 수술계획 시스템, 자동 구동 및 수동 이동 기능을 가진 스칼라 타입의 5자유도 수술보조로봇으로 이루어진 미세침습 수술을 위한 컴퓨터통합 수술 보조시스템에 관한 것이다.본 기술의 구성은 대략 링 형상의 프레임, 프레임의 동일 수직면상에 90°간격으로 설치되어 X-ray 신호를 시술대상체의 상단면과 측면으로 각각 발사하는 복수의 방사선발생기, 방사선발생기와 대응되는 위치의 프레임상에 설치되어 시술대상체를 통해 전달된 평면 및 측면 방사선을 각각 수신하는 복수의 영상수신기, 영상수신기를 통해 출력된 시술대상체의 평면 및 측면 방향의 2차원 영상을 제공받아 각 2차원 영상을 소정의 알고리즘에 의해 처리하여 시술부위의 3차원 위치정보를 생성하는 컴퓨터, 컴퓨터에 의해 처리된 양측 2차원 영상과 3차원 위치정보를 이미지로 출력하는 모니터 및 컴퓨터에서 얻은 데이터를 기준으로 시술부위의 위치를 따라 수술도구의 위치와 진입각도를 안내하되, 관절로 회전가능하게 연결된 다수개의 로봇암과, 로봇암 중 종단부의 가이드암에 결합된 수술도구지지대와 수술도구지지대의 각도를 조향하기 위해 가이드암을 회전시키는 가이드암회전수단을 구비한 수술보조로봇으로 이루어져 있다.

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한양대학교
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2008-01-23
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일반기술 기계 > 기타 기계

생체분자 검출용 나노하이브리드 입자의 제조 방법, 나노하이브리드 입자를 이용한 생체분자 검출기, 생체분자 검출 방법 및 생체분자 검출용 분석 장치

본 기술은 자력에 반응하는 코어 입자 및 코어 입자의 주위에 코팅되거나 흡착된 나노입자를 포함하는 나노하이브리드 입자를 구비하며, 나노하이브리드 입자는 생체분자와 반응하여 생체분자가 고정 또는 혼성화된 생체 복합 입자를 형성하고, 생체 복합 입자는 자성체에 반응하는 특성을 갖는 생체분자 검출용 나노하이브리드 입자의 제조방법, 나노하이브리드 입자를 이용한 생체분자 검출기, 생체분자 검출 방법 및 생체분자 검출용 분석장치에 관한 것이다. 본 기술에 의하면, 타겟 생체분자(단백질, DNA 등)와 탐침 생체분자 간의 혼성화를 이용하여 자성을 측정함으로서 정량분석할 수 있으며, 항원-항체 반응을 이용하는 생체분자 검출 등에 이용할 수가 있다.

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한양대학교
등록일
2008-01-23
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일반기술 기계 > 기타 기계

압력 저감 구조를 갖는 유체용 밸브

본 기술은 유체의 흐름을 단속하고 제어하는 밸브에 관한 것으로 밸브를 통과하는 유체에 캐비테이션(CAVITATION)현상 및 플래싱(FLASHING)현상이 최소화 되도록 한 압력 저감 구조를 갖는 유체용 밸브에 관한 것이다.일측으로 유입공이 형성되고 타측으로 배출공이 형성되며 유입공 및 배출공을 연결하는 유로가 형성된 밸브몸체의 내부에 상하로 승강되면서 밸브의 유로를 개폐하는 밸브트림이 구비되고, 유로에 연결되고 유체가 통과하는 다수의 감압공이 형성되어 밸브몸체에 맞닿는 유체의 압력을 저감시키는 감압부가 형성된 유체용 밸브에 있어서 감압공은 유체가 흐르는 내측면이 유체의 흐름 방향을 따라 계단 형상으로 형성된다.이에 따라, 캐비테이션현상 및 플래싱현상에 의한 밸브 내측의 손상이 최소화되고, 밸브가 개방된 상태에서도 유체가 순간적으로 흐르지 않거나, 간헐적으로 큰 진동 또는 소음을 발생시키는 초크현상을 방지하여 유체의 흐름이 더욱 안정적으로 이루어지는 효과를 가지게 된다.

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한양대학교
등록일
2008-01-23
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일반기술 기계 > 기타 기계

능동소음 제어 장치 및 방법

본 기술은 능동소음 제어장치 및 방법에 관한 것으로서 소음 발생원으로부터 검출한 참조신호와 오차신호에 각각 동기화되어 동작하는 초저주파 대역통과필터를 이용하여, DSP의 LMS알고리즘의 추종성능을 향상시키는 동시에 크기와 주파수가 빠르게 변하는 저주파 소음의 능동소음제어 성능을 향상시킬 수 있도록 한 능동소음 제어장치 및 방법에 관한 것이다.이를 위해 본 기술은 소음원에 장착되는 참조 마이크로폰 및 오차 마이크로폰과, 각 마이크로폰에 연결된 제1 및 제2프리앰프와, 제1프리앰프와 연결된 AVR마이크로프로세서와, 제1프리앰프 및 제2프리앰프의 출력측과 AVR마이크로프로세서의 출력측에 연결되는 초저주파 가변대역통과필터(M.B.P.F)와, 초저주파 가변대역통과필터와 연결된 DSP와, DSP의 출력측과 연결되는 파워앰프와, 파워앰프와 연결되어 소음원에 제어소음을 배출하는 제어스피커로 구성된 것을 특징으로 하는 능동소음 제어장치 및 방법을 제공한다.

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한양대학교
등록일
2008-01-24
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일반기술 기계 > 기타 기계

휴머노이드 로봇용 로봇 암

본 기술은 휴머노이드 로봇 암에 관한 것으로 7자유도를 가짐으로써 인간의 팔과 유사한 모션을 행할 수 있도록 발명된 것이다.본 기술은 3자유도를 가지는 어깨관절부와, 제 1 어깨관절부와 연결되며 제 1 자유도를 가지는 팔꿈치관절부와, 팔꿈치관절부의 단부에 연결되며 3자유도를 가지는 손목관절부를 포함하여 로봇암이 어깨관절부와, 팔꿈치관절부, 손목관절부에서 각각 3, 1, 3 자유도를 가지도록 설계되어 인체의 팔 움직임과 유사한 모션으로 작동하고, 인간의 팔로 가능한 모든 동작을 가능하게 하는 효과가 있는 것이다.또한 로봇 암을 구성하는 각 조인트브라켓트부재는 각각 구동모터가 장착되어 회전실린더로 구동모터의 회전력이 직접 전달되어 작동되므로 작동 시 작동프로그램에 맞게 정확히 작동되는 효과가 있는 것이다.각 조인트브라켓트부재는 각각 조립되어 결합되는 모듈 형식으로 설계되어 각 조인트브라켓트부재의 유지 보수가 용이하고 필요에 따라 그 개수를 조절할 수 있어 설계 자유도를 높이는 효과가 있는 것이다.

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한양대학교
등록일
2008-01-24
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일반기술 기계 > 기타 기계

콜레트 척

본 기술은 콜레트 척을 제공한다. 콜레트 척은 서로 다른 직경을 갖는 고정부들이 다단으로 적층되며, 그 중앙부를 관통하되 하방을 따라 직경이 점차적으로 증가되는 테이퍼홀이 형성된 몸체와, 테이퍼홀이 끼워지는 테이퍼 콘이 마련되어 몸체를 받치는 베드와, 직경에 대응되는 크기의 끼움홀이 형성된 휠이 고정부들 중 어느 하나에 끼워지도록 가이드하는 가이드부재를 구비함으로써, 다양한 직경을 갖는 타이어(휠)를 선택적으로 고정하여 언밸런스 작업을 용이하게 실시할 수 있고, 휠에 형성된 홀이 콜레트 척에 용이하게 끼워지어 서로 충돌로 인한 외형의 변형 및 파손을 방지할 수 있다.

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한양대학교
등록일
2008-01-24
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일반기술 기계 > 기타 기계

인젝터의 솔레노이드 코일을 이용한 고전압발생 시스템 및 그 방법

본 기술은 솔레노이드 코일을 포함하는 인젝터를 이용하여 고전압을 발생시키는 고전압발생시스템 및 고전압발생방법에 관한 것이다.본 기술은 솔레노이드 코일을 이용하여 연료의 분사를 제어하는 인젝터와, 전원 공급을 위한 전원부와, 충전 및 방전을 위한 충전부를 포함하는 고전압발생시스템의 고전압발생방법에 있어서, (a) 인젝터에 대하여 연료분사명령이 수신되는지 판단하는 단계(b) 연료분사명령이 수신되지 않은 경우, 충전부의 전압이 소정전압 이하인지 판단하는 단계(c) 충전부의 전압이 소정전압 이하인 경우 소정 시간 동안 전원부로부터 인젝터로 전류가 공급되도록 하는 단계(d) 소정의 시간이 경과한 후 인젝터로 흐르는 전류를 차단하여 인젝터의 역기전력에 의해 발생한 전압이 충전부에 충전되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인젝터를 이용한 고전압발생방법 및 그 시스템에 관한 것이다.본 기술은 인젝터의 솔레노이드 코일을 이용하여 고전압을 발생시킬 수 있어서, 고전압 발생을 위하여 별도의 고가의 코일을 구비하지 않아도 되므로 생산원가를 절감할 수 있는 장점이 있다.

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한양대학교
등록일
2008-01-24
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일반기술 기계 > 기타 기계

홍채 인식 시스템의 아이리스 코드 데이터베이스 자동업그레이드 방법

- 개요 본 기술은 홍채 인식 시스템의 아이리스 코드 데이터베이스 자동 업그레이드 방법에 관한 것임.- 특징 홍채 인식 시스템의 아이리스 코드 데이터베이스 자동 업그레이드 방법은, 카메라에 의해 사용자의 홍채 영상을 취득하는 단계와, 취득된 홍채 영상을 변경된 홍채 알고리즘을 적용하여 홍채 영상을 분석하는 단계와, 분석된 홍채 영상을 변경된 홍채 알고리즘을 적용하여 아이리스 코드를 생성하는 단계와, 생성된 아이리스 코드를 변경된 홍채 알고리즘의 아이리스 코드 데이터베이스에서 검색하는 단계와, 아이리스 코드 데이터베이스에서 생성된 아이리스 코드를 검색할 수 없으면, 이전에 사용되었던 기존의 홍채 알고리즘을 적용하는 단계를 포함하여 이루어짐.- 효과 더 나은 홍채 알고리즘이 개발되었을 때, 각 사용자들은 아이리스 코드를 다시 등록하지 않고, 홍채 인식 시스템에 홍채 인식을 수행하면 자동으로 새로운 아이리스 코드를 업그레이드 할 수 있음.

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한국산업기술진흥원
등록일
2008-01-25
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일반기술 기계 > 기타 기계

냉동장치의 파이프 결합구조

- 개요 본 기술은 냉동장치의 파이프 결합구조에 관한 것임.- 특징 코일형 납재에 플럭스가 도포된 플럭스 일체형 납재가 제 1 파이프에 배치되고, 제 1 파이프의 일부는 제 2 파이프에 삽입되며, 플럭스 일체형 납재를 히팅수단에 의해 용융시켜 제 1 파이프와 제 2 파이프를 접합토록 하여 플럭스가 냉매와 반응되는 것을 방지하고, 제 1 파이프의 단부가 플럭스에 의해 막히는 것을 방지함.- 효과 작업 능률을 향상시킬 수 있음.

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한국산업기술진흥원
등록일
2008-01-25
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일반기술 기계 > 기타 기계

연소실내 압력을 이용한 디젤 엔진의 착화시기 검출 방법

본 기술은 연소실내 압력을 이용한 디젤 엔진의 착화시기 검출 방법에 관한 것으로서 디젤 엔진의 연소 압력과 모터링 압력의 차이를 이용하여 연소를 효과적으로 제어하기 위하여 필요한 착화시기(SOC: Start Of Combustion)를 추정하는 방법에 관한 것이다.이를 위한 본 기술의 특징은 연소실 내부압력과 모터링 압력차이(DP: Difference Pressure)로 정의되는 DP값을 검출하는 단계와, DP 값이 특정 압력이 되는 크랭크각도(CA DPxx )를 검출하는 단계와, SOC와 CA DPxx 를 측정하는 실험을 통해 SOC와 CA DPxx 의 차이로 정의되는 검출지연각(ΔCA DD )을 결정하는 단계와 착화시기를 간단하고 정확하게 검출할 수 있도록 한 점, 그리고 검출지연각을 엔진 회전 속도에 대한 간단한 함수로 정의한 점에 있다.

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한양대학교
등록일
2008-01-25
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일반기술 기계 > 기타 기계

차량 장착 및 휴대 겸용 정보 재생기의 도난방지장치

- 개요 본 기술은 차량 장착 및 휴대 겸용 정보 재생기의 도난방지장치에 관한 것임.- 특징 재생기본체 및 접속지지대의 상호 결합시 상호 대면 접촉되는 접촉면중 어느 하나에 재생기본체의 인출방향에 가로로 함몰형성되는 걸림홈과, 재생기본체 및 접속지지대의 상호 결합시 상호 대면 접촉되는 접촉면중 다른 하나에 재생기본체의 인출을 억제시키는 잠금위치와, 재생기본체의 인출을 허용하는 해제위치간을 유동 가능하게 형성되는 걸림돌기와, 차량의 전원 오프시 걸림돌기가 잠금위치에 위치되도록 하고, 차량의 전원 인가시 공급되는 전원에 의해 전자기력을 발생시켜 걸림돌기를 해제위치로 이동시키는 걸림돌기구동수단과, 접속지지대의 일측에 외부에 노출되게 설치되어 차량의 전원인가시 걸림돌기구동수단에 공급되는 전원을 개폐하는 해제버튼을 포함함.- 효과 차량의 키가 키홀에 삽입되어 전원이 인가된 경우에 차량에 고정된 접속지지대로부터 재생기본체를 인출할 수 있게 하여 도난을 억제할 수 있음.

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한국산업기술진흥원
등록일
2008-01-28
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일반기술 기계 > 기타 기계

연소반응으로부터 배출되는 질소산화물을 저감시키기 위한 환원제를 분사하는 인젝터 및 이를 장착한 배출가스 정화 시스템

본 기술은 연소반응으로부터 배출되는 배출가스와 암모니아(NH 3 )를 효과적으로 혼합시켜 배출가스에서 질소산화물을 제거시키기 위한 환원제의 분사를 효율적으로 제어할 수 있는 구조를 갖는 인젝터 및 이를 장착한 배출가스 정화 시스템에 관한 것이다.본 기술에 따른 인젝터는, 연소반응으로부터 배출되는 배출가스에 함유된 질소산화물(NO X )을 저감시키기 위하여 환원제를 수용액 형태로 배기관에 분사하는데, 인젝터는 배기관의 반경방향으로 2∼8개의 분사공이 등간격으로 형성되고, 인젝터로부터 분사되는 Urea 수용액의 분사각도가 120°∼ 240°를 이루도록 분사공의 방향이 형성되는 것을 구조적 특징으로 한다.

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한양대학교
등록일
2008-01-28
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일반기술 기계 > 기타 기계

양단 보강구조를 갖는 도관 보수용 보수재

본 기술은 팽창부재의 외부면에 감긴 상태로 결함부위가 발생된 도관 내부로 삽입되어 팽창부재의 부피팽창시 도관 내벽에 압착되어 경화되는 보수재에 있어서, 팽창부재의 외면에 감기고 열경화성 수지가 함침되는 적어도 하나의 섬유시트와, 섬유시트의 외면에 부착되고 도관의 내벽에 접하는 적어도 하나의 차수시트가 순차적으로 상하적층되는 시트보수재 , 시트보수재의 양단 외부면에 몸체절반이 접하여 밀착된 상태에서 팽창부재의 부피팽창시 도관의 내벽에 부착된 시트보수재의 양단에 형성되는 단차부를 덮어 메우도록 도관의 내벽에 나머지 몸체절반이 접하여 밀착되는 양단 보강재를 구비한다. 본 기술에 의하면 도관의 내벽과 보수재의 양단사이에 형성되는 단차부를 보강하여 도관과 보수재간의 접착강도를 보수재의 길이방향으로 균일하게 하여 보수재의 탈락을 방지하고, 보수재의 사용수명을 연장하여 접착불량에 의한 재시공을 예방하며 시공 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

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한양대학교
등록일
2008-01-28
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일반기술 기계 > 기타 기계

저온 분사 코팅을 이용한 열교환기의 제조방법

<기술의 개요>본 기술은 저온분사 코팅을 이용한 열교환기의 제조방법에 관한 것으로서, 재료의 소모가 심하고 제조된 열교환기 제품의 외관이 불량하였던 종래의 방법에 비하여 재료 소모량도 획기적으로 절감할 수 있을 뿐만 아니라 플럭스를 사용하지 않은 환경에서도 다양한 방법으로 열교환기를 제조할 수 있는 열교환기의 제조방법에 관한 것이다.본 기술의 열교환기 제조방법은, 헤더, 튜브 및 핀을 포함하여 주위와 열교환하는 열교환기의 제조방법에 있어서, 튜브와 핀을 접합할 때, 튜브의 표면에 삽입재, 방식제 및 필요에 따라 첨가되는 플럭스를 저온분사방식으로 코팅한 후, 재료들이 코팅된 튜브에 핀을 접촉시켜 튜브와 핀을 브레이징 접합하는 것을 특징으로 한다.<기술의 특징>본 기술의 열교환기 제조방법은, 헤더, 튜브 및 핀을 포함하여 주위와 열교환하는 열교환기의 제조방법에 있어서, 튜브와 핀을 접합할 때 튜브의 표면에 삽입재, 방식제 및 필요에 따라 첨가되는 플럭스를 저온분사방식으로 코팅한 후, 재료들이 코팅된 튜브에 핀을 접촉시켜 튜브와 핀을 브레이징 접합하는 것을 특징으로 한다.

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한양대학교
등록일
2008-01-29
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일반기술 기계 > 기타 육상수송기계

충격흡수용 범퍼 및 이를 갖는 자동차

본 기술은 충격흡수용 범퍼 및 이를 갖는 자동차에 관한 것이다. 본 기술은 일정 길이를 갖고, 서로 마주보도록 배치되는 범퍼 구조물들 및 범퍼 구조물들의 사이에서 범퍼 구조물을 서로 다점 탄지하는 충격흡수부를 포함하는 충격흡수용 범퍼 및 이를 포함하는 자동차에 대한 것이다.본 기술은 외부로부터 일정 이상의 충격력이 가해지는 경우에, 이 충격력을 다중으로 흡수할 수 있으며, 외부로부터 가해지는 충격력에 의하여 발생되는 외형의 변형이나 파손의 정도를 용이하게 감소시킬 수 있고, 보행자와의 충돌시에 보행자에게 가해지는 상해정도를 낮출 수 있다는 점에서 종래기술과 차별된다.

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한양대학교
등록일
2008-01-29
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일반기술 기계 > 기타 기계

인젝터 및 이를 갖는 직분식 가솔린 엔진

본 기술은 인젝터 및 이를 포함하는 직분식 가솔린 엔진에 관한 것으로, 연료가 유동되는 유로가 형성되고, 상기 유료의 끝단에 분사팁이 형성된 인젝터 몸체 및 상기 인젝터 몸체에 마련되어, 상기 분사팁을 통하여 분사되는 연료를 충돌시키어 그 유동경로를 가변시키는 가이드를 포함하는 인젝터 및 이를 포함하는 가솔린 엔진에 대한 것이다본 기술은 연소실의 내부로 분사되는 연료의 미립화의 정도를 향상시킬 수 있으며, 피스톤과 실린더 라이너에 생기는 벽류를 감소시키어, PM과 SOOT가 발생을 억제할 수 있고, 성층 혼합기를 점화플러그 주위로 이동시켜 성층 연소 성능의 향상시킬 수 있다는 점에서 종래기술과 차별된다.

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한양대학교
등록일
2008-01-29
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일반기술 기계 > 기타 기계

마이크로사이즈 금속 식각가공 장치 및 그 가공방법

본 기술은 마이크로사이즈 금속 식각가공 장치 및 그 가공방법에 관한 것으로, 금속 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 단계, 포토레지스트를 노광하는 단계, 포토레지스트를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계, 포토레지스트 패턴이 형성된 금속 기판에 전기를 인가하여 전기화학적 방법을 이용한 식각을 수행하여 금속을 식각하는 단계 및 금속 기판 상에 잔존하는 포토레지스트 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 금속의 미세 가공 방법에 대한 것이다본 기술은 다양한 금속에 대해 사용할 수 있고, 사이드 에칭을 최소한으로 하여 금속 기판 상에 형성되는 미세 구조물의 정밀도와 표면 조도를 향상시키며, 공정을 단순화하여 금속 가공을 효율적으로 수행할 수 있도록 할 수 있다는 점에서 종래기술과 차별된다.

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한양대학교
등록일
2008-01-29
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일반기술 기계 > 기타 보건·의료기계

의료 영상 제공 시스템 및 의료 영상 제공 방법

<기술의 개요>본 기술에 따른 의료 영상 제공 시스템은 프로브의 위치를 추적하여 프로브의 위치 정보를 획득하는 위치 정보 획득부 및 프로브의 위치 정보를 이용하여 환자의 환부를 포함하는 제1 증강현실 영역에 프로브의 이동 경로에 상응하는 영상 정보를 투사하는 증강현실 영상 제공부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 기술에 따르면 효율적으로 의료 영상을 제공할 수 있다.<기술의 특징>본 기술의 의료 영상 제공 시스템은 프로브의 위치를 추적하여 프로브의 위치 정보를 획득하는 위치 정보 획득부 및 프로브의 위치 정보를 이용하여 환자의 환부를 포함하는 제1 증강현실 영역에 프로브의 이동 경로에 상응하는 영상 정보를 투사하는 증강현실 영상 제공부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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한양대학교
등록일
2008-01-29
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일반기술 기계 > 기타 기계

복토설계장치 및 복토층

<기술의 개요>본 기술에 따른 복토설계장치는 폐기물 적치장에 적층되어 폐기물 더미에 산소가 유입되는 것을 방지하는 복토층을 설계하기 위한 것으로서, 상단부가 개방되어 있는 본체, 본체의 내측에 설치되며, 소정 크기 이하의 입자만 통과할 수 있는 다수의 구멍이 형성된 망상으로 이루어져 그 상부에 폐기물 적치장의 복토 재료로 사용되는 복토 매질이 적층되는 지지판과, 본체의 개방된 상단부를 개폐할 수 있도록 본체의 상단부에 분리가능하게 결합되며, 본체의 내측으로 가스를 유입시킬 수 있도록 가스유입포트가 형성되어 있는 커버부재 및 본체의 하단부와 지지판의 사이에 배치되어, 본체의 상단부로 유입되어 복토매질을 통해 배출된 공기 중의 산소 농도를 측정하는 산소센서를 구비하는 것에 특징이 있다.또한 본 기술에 따른 복토층은 폐기물 적치장에 적층되어 폐기물 더미에 산소가 유입되는 것을 방지하기 위한 것으로서, 점토를 포함하여 이루어져 폐기물 더미에 적층되는 제1점토층과, 모래를 포함하여 이루어져 제1점토층에 적층되는 모래층 및 점토를 포함하여 이루어져 모래층에 적층되는 제2점토층을 구비하는 것에 특징이 있다.

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한양대학교
등록일
2008-01-30
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일반기술 기계 > 기타 기계

원자 힘 현미경 나노 리소그래피를 이용한 패턴 제작 방법

본 기술은 원자 힘 현미경을 이용한 패턴 제작 방법에 관한 것으로서 패턴 제작 방법에 있어서, 저에너지의 양성자, 또는 아르곤과 같은 이온빔을 조사한 기판에 원자 힘 현미경 양극산화반응을 통해 나노 크기의 산화물을 성장시키며, 원자 힘 현미경 팁에 양전압을 인가하여 기존 음전압을 인가하여 낮은 높이를 가지는 산화물 패턴을 크게 증가시킨 원자 힘 현미경을 이용한 패턴 제작 방법에 관한 것이다본 기술은 패턴 제작 방법에 있어서, 양성자, 또는 아르곤의 이온빔을 기판에 조사하는 단계와, 이온빔이 조사된 기판에, 원자 힘 현미경 리소그래피를 수행하되 원자 힘 현미경 팁에 양전압을 인가하여 산화 구조물을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 원자 힘 현미경을 이용한 패턴 제작 방법에 그 특징이 있다.또한, 본 기술은 패턴 제작 방법에 있어서, 양성자, 또는 아르곤의 이온빔을 기판에 조사하는 단계, 이온빔이 조사된 기판에 원자 힘 현미경 리소그래피를 수행하되 원자 힘 현미경 팁에 음전압을 인가하여 제1산화 구조물을 형성하는 단계 및 원자 힘 현미경 팁에 양전압을 인가하여 제1산화 구조물 상에 제 2 산화 구조물을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 원자 힘 현미경을 이용한 패턴 제작 방법에 또 다른 특징이 있다.

보유기관
한양대학교
등록일
2008-01-30
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