일반기술
전기·전자 > 표시소자
이 발명은 플라즈마 디스플레이 격벽을 제조한다. 흡수체 패턴이 형성되어 있는 X-선영 마스크를 제1 기판에 부착시키지 않고 감광막의 전면에 정렬시킨후 X-선을 조사시킨다. 패턴이 형성된 제1 기판을 현상액에 침전시켜 현상하며, 이에 따라 X-선이 조사되지 않은 부분만 남게 되어 감광막 패턴이 형성된다. 다음에 전기 도금 공정을 통하여 제1 기판의 감광막이 제거되어 있는 금속 구조물이 형성된다. 다음에 PDP 제조를 위한 제2 기판 상의 격벽용 재료를 이 금속구조물로 눌러서 제2 기판 상에 격벽을 형성한다. 따라서, X-선에 의하여 격벽면이 매우 매끄럽고 모양이 정밀한 격벽이 형성되어 격벽내의 발광효율이 향상된다. 또한, 격벽간의 피치를 매우 정밀하게 조절할 수 있으므로 플라즈마 디스플레이 패널의 해상도가 향상된다.본 발명은 LIGA 기술을 이용한 새로운 형태의 PDP 격벽 제작방식이다.방사광 X-선 노광 기술 및 정밀도금 기술을 이용하여 초정밀 금형을 제작하며 PDP 격벽용 세라믹 sheet를 press 압착 성형하여 PDP 격벽을 제작한다. 본 기술은 기존의 PDP 격벽 제작 기술인 dicing 방식, screen printing 방식, sand brast 방식 등과 비교하여 양산성이 뛰어나며 공정단가를 현저히 절감할 수 있다. 특히, 본 특허에서 제안하는 X-선 노광 대면적화 기술은 기존의 LIGA 공정을 산업화할 수 있는 특화된 기술이며 현재 시판되고 있는 PDP 규격(40" ~ 63")에 적합한 대면적 금형 제작이 가능하다.
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- 전자부품연구원
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- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
본 발명은 차동 용량형 압력센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 이 센서의 구조는 반도체 기판 상부면에 각각 소정 거리 이격되어 형성된 외측전극, 제 1하부전극 및 제 2하부전극과, 외측전극 및 제 1하부전극의 일측에 각각 수직으로 연결된 기둥과, 외부전극의 기둥에 연결되며 제 1하부전극과 평행으로 배치된 제 1상부전극, 제 1하부전극의 기둥에 연결되며 제 2하부전극과 평행으로 배치된 제 2상부전극을 포함한다. 그러므로, 본 발명은 두 개- MEMS 실리콘 압력센서, 완전 차동 용량형 임.- 온도특성 및 선형성이 뛰어난 차동 용량형 압력센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 단일 희생층을 이용하여 실리콘 상부표면에 두 개의 센서 콘덴서를 형성함으로써 용량 offset을 줄이고 제작공정을 간단하게 한다. 그리고 압력에 따른 두 콘덴서의 변화가 반대방향이므로 2배의 감도 및 선형구간을 증가시킨다.
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- 전자부품연구원
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- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
* 개요 - 디지털 데이터방송은 STB에서 실행될 Data를 방송국 의도대로 작성, 송출하는 것에 주 목적이다. DDB MPEG-2 TS 발생기는 방송국에서 Data 송출시, DSM-CC Protocol에 맞는 Data Header를 발생 시키는 기능을 갖고 있다.* 적용분야 - 디지털 데이터방송 서비스용 컨텐츠 제작 - 디지털 데이터방송 수신기 개발분야 * 주요기능 · DSM-CC DDB Protocol 생성 · ATSC-DASE, DVB- MHP 규격의 DDB TS Packet 생성 · 데이터방송용 데이터 module별 TS 발생- MPEG-2 System Compliant - DSM-CC Compliant
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- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 전자부품
본 발명의 실시예에 따른 1 ×N 광스위치는 하나의 입력 포트와 N개의 출력 포트 및 광굴절판으로 이루어져 있다. 이 중에서, 입력 포트는 광을 광스위치 내부로 받아들이는 입력측 광섬유와 입력측 광섬유로부터 배출되는 입사광이 퍼지는 것을 방지하여 평행광으로 만들기 위한 평행광 렌즈로 이루어져 있고, 출력 포트는 광굴절판을 투과하여 나오는 평행한 투과광을 하나의 초점으로 응집하기 위한 집광 렌즈와 집광 렌즈에 의하여 응집된 투과광을 광스위치 외부로 전송하기 위한 출력측 광섬유로 이루어져 있다. 광굴절판은 굴절률이 N인 투명 매질판과 투명 매질판의 입사면과 투과면에 각각 형성되어 있는 반사 방지막으로 이루어져 있으며, 광굴절판을 회전시킴으로써 투과광의 경로를 선택한다.본 발명의 실시예에 따른 1 ×N 광스위치는 하나의 입력 포트와 N개의 출력 포트 및 광굴절판으로 이루어져 있다. 이 중에서, 입력 포트는 광을 광스위치 내부로 받아들이는 입력측 광섬유와 입력측 광섬유로부터 배출되는 입사광이 퍼지는 것을 방지하여 평행광으로 만들기 위한 평행광 렌즈로 이루어져 있고, 출력 포트는 광굴절판을 투과하여 나오는 평행한 투과광을 하나의 초점으로 응집하기 위한 집광 렌즈와 집광 렌즈에 의하여 응집된 투과광을 광스위치 외부로 전송하기 위한 출력측 광섬유로 이루어져 있다. 광굴절판은 굴절률이 N인 투명 매질판과 투명 매질판의 입사면과 투과면에 각각 형성되어 있는 반사 방지막으로 이루어져 있으며, 광굴절판을 회전시킴으로써 투과광의 경로를 선택한다.
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- 전자부품연구원
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- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 전자부품
【요약】본 발명의 실시예에 따른 1 ×N 광스위치는 하나의 입력 포트와 N개의 출력 포트, 제1 및 제2 광굴절판으로 이루어져 있다. 이 중에서, 입력 포트는 광을 광스위치 내부로 받아들이는 입력측 광섬유와 입력측 광섬유로부터 배출되는 입사광이 퍼지는 것을 방지하여 평행광으로 만들기 위한 평행광 렌즈로 이루어져 있고, 출력 포트는 광굴절판을 투과하여 나오는 평행한 투과광을 하나의 초점으로 응집하기 위한 집광 렌즈와 집광 렌즈에 의하여 응집된 투과광을 광스위치 외부로 전송하기 위한 출력측 광섬유로 이루어져 있다. 제1 및 제2 광굴절판은 각각 굴절률이 N인 투명 매질판과 투명 매질판의 입사면과 투과면에 각각 형성되어 있는 반사 방지막으로 이루어져 있으며, 제1 및 제2 광굴절판의 회전축은 서로 수직이다. 제1 및 제2 광굴절판을 회전시킴으로써 투과광의 경로를 2차원적으로 선택한다.- 광의 굴절효과를 이용한 것으로 구조적으로 간단하게 구현이 가능함.- 굴절매질의 회전각도 변화에 따라서 정밀하게 광 스위칭이 가능함.- 2개의 굴절매질을 이용함으로써 출력 포트의 수를 손쉽게 확장할 수 있음.
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- 전자부품연구원
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- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
본 발명은 마이크로 소자의 희생층 제거 방법에 관한 것으로, 실리콘 웨이퍼(20)의 상부에 기능성 막을 형성하는 단계와; 상기 기능성 막의 상부에 상기 기능성 막을 보호하는 막을 형성하는 단계와; 상기 기능성 막을 식각시켜 실리콘 웨이퍼(20)를 오픈시키는 단계와; 상기 오픈된 실리콘 웨이퍼(20)를 통하여 고체 상태로부터 승화된 XeF₂가스를 사용하여 상기 실리콘 웨이퍼(20)를 식각함으로써 상기 기능성 막을 상기 실리콘 웨이퍼(20)로부터 부상된 형태를 형성하는 단계로 구성된다.따라서, 본 발명은 부상된 형태의 기능성 막을 갖는 마이크로 캔틸레버 또는 브리지 형태 등의 구조물을 형성하기 위하여 실리콘의 희생층을 효율적으로 제거하여 부상된 형태의 기능성 막의 전기 기계적 특성을 최종 공정까지 용이하게 유지할 수 있는 효과가 있다.본 발명은 마이크로 소자의 희생층 제거 방법에 관한 것으로, 실리콘 웨이퍼(20)의 상부에 기능성 막을 형성하는 단계와; 상기 기능성 막의 상부에 상기 기능성 막을 보호하는 막을 형성하는 단계와; 상기 기능성 막을 식각시켜 실리콘 웨이퍼(20)를 오픈시키는 단계와; 상기 오픈된 실리콘 웨이퍼(20)를 통하여 고체 상태로부터 승화된 XeF₂가스를 사용하여 상기 실리콘 웨이퍼(20)를 식각함으로써 상기 기능성 막을 상기 실리콘 웨이퍼(20)로부터 부상된 형태를 형성하는 단계로 구성된다.따라서, 본 발명은 부상된 형태의 기능성 막을 갖는 마이크로 캔틸레버 또는 브리지 형태 등의 구조물을 형성하기 위하여 실리콘의 희생층을 효율적으로 제거하여 부상된 형태의 기능성 막의 전기 기계적 특성을 최종 공정까지 용이하게 유지할 수 있는 효과가 있다.
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
* 개요 - 디지털 데이터방송은 STB에서 실행될 Data를 방송국 의도대로 작성, 송출하는 것에 주 목적이다. MPEG-2 DII Message TS 생성기는 전송되는 Data들의 전송에 관련된 Control정보를 담고 있다. 본 S/W는 DSM-CC 규격에 맞는 Data Download Control Message를 발생시키는 기능을 갖고 있다.* 적용분야 - 디지털 데이터방송 서비스용 컨텐츠 제작 - 디지털 데이터방송 수신기 개발분야 * 주요기능 · DSM-CC DII Protocol 생성 · ATSC-DASE, DVB- MHP 규격의 DII TS Packet 생성 · Data Carousel의 Download Informaion 사용자 변경 가능- MPEG-2 System Compliant - DSM-CC Compliant
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- 전자부품연구원
- 등록일
- 2002-06-14
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일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
마이크로 디스플레이패널을 이용한 단판식 투사형 HD -TV칼라휠을 이용한 방식으로 화소의 RGB 불일치가 없다
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- 한국과학기술원
- 등록일
- 2002-06-20
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일반기술
전기·전자 > 전자부품
밀리미터까지 주파수를 처리할 수 있는 저소음의 초단파 시계OE1200기술은 제트추진연구소에서 개발과 시험을 거친 광전자 발진기(Oscillator)로서 rack-mount가 가능
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- InCue Corp
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- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 표시소자
현재 CRT에서 사용되는 열이온 음극을 대체할 품목. 특수한 칩을 이용한 열이 없는 CRT를 위한 음극생산.HDTV등의 기술에 응용할 수 있는 차가운 CRT를 가능케 함으로서 비용절감에 효율적
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- InCue Corp
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 소자응용 기술
네트워크 설치및 운영비용을 절감하면서 캐리어의 요구를 충분히 소화할 수 있는 라우팅 솔루션.캐리어들이 기본적으로 많이 필요로 하는 요구사항을 염두에 두고 개발된 제품으로 scalability 를 조절할 수 있고 시스템의 신뢰도가 높은 것으로 나타난다.
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- InCue Corp
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
마그네틱 스텐레스 스틸을 이용한 비접촉성 진공센서용접을 통해 고진공을 유지한 상태에서 비접촉방식으로 진공 측정가능
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
MW 플라즈마로 개발 경험을 기초로 하여 CAP(Circumferential Antenna Plasma reactor)를 개발. 현재는 새로운 장치로 915MHz, 유입파워 30kW, 샘플직경 125 또는 200mm 등에 따라서 작업압력 30-1000Mbar 그리고 빠른 작업속도를 구현하는 장치의 개발을 계획.CAP시스템은 평판한 substrate위에 다이아몬드를 deposition하기 위한 마이크로 웨이브시스템. 이 시스템을 이용하여 직경이 51mm인 실리콘 웨이퍼에 균질한 두께의 다이아몬드를 코팅. 이러한 코팅은 샘플 표면의 대하여 훌륭한 접착력과 고품질의 특성을 보유. 다이아몬드가 없는 필름은 인프라 레드 스펙트럼에 대하여 매우 낮은 흡수도를 나타낸다.
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 제어·자동화
나노메터 해상도가 가능한 복잡 구조 3D 공간 측정 시스템일반 OS로 구동이 가능한 보드컴퓨터를 이용하여 일반적으로 디지털 시그털 프로세서(digitla signal processor)에 비하여 많은 비용 절감 효과.
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 제어·자동화
인터넷을 이용하여 온라인 상으로 시스템 진단. 시스템에 대한 지속적인 온라인 모니토링 및 데이터 분석애프터서비스 인력의 시스템 구축 장소로의 투입 없이 원거리로 신속하게 시스템 진단이 가능하므로 고객에 대한 만족도 극대화 및 인력투입에 비용 감소. 지속적인 온라인 모니토링을 통한 구축 시스템 안전성 확보. 신속한 문제점 발견.
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
분석차량과 분석장소 및 분석 소프트웨어로 이루어진 시스템을 이용하여 운전자의 주행시 운전양식을 등급화하고 분석가능. 주행 양식의 관측은 사전 설비된 3대의 카메라 시스템이 설치된 관측구간에서 실지상황 환경에서 90분간(관측구간에서의 1000번이상의 주행) 이루어짐운전자의 주행심리, 주행습관 등 주행환경의 모든 요소 분석 가능. 주행양식의 신속하고 저비용으로 분석 가능
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 계측기기
센서에 의한 원료 공급 자동 측정 시스템. 현장에서 센서를 이용하여 원료공급 현황 데이터를 측정하여 사용자나 원료 공급업체에 데이터 전달. 무선 데이터 전송 가능공급업체나 사용자 모두 원료공급 관리 인력의 감축 가능. 효율적인 생산관리.
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 제어·자동화
Fuzzy control, 인공지능, Nurofuzzy를 기반으로 한 폐기물처리 설비 제어 시스템. 현대식 첨단 설비는 여러 기술이 복합되어 개발되며, 장치 제어 시 여러 복합 요소의 고려가 필요. 응용 가능 분야는 폐기물 소각로의 열처리 제어이며, 일반 다른 제어장치와의 차이점은 한 단계 발전된 제어방법과 지속적으로 여러 복합 공정기술을 통합하는데 있음일반적으로 현재까지 고려하지 못했던 장치전문가의 전문지식과 제어를 위한 보다 많은 요소의 고려가 fuzzy-program을 통하여 가능
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- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-06-21
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일반기술
전기·전자 > 전력시스템
PMAS는 산업설비의 설계, 건설 및 운영에 필요한 재료관련 지식을 제공하는 프로그램으로 최적재료의 선정은 대규모 산업설비, 특히 발전설비의 구조적 안전성과 제작, 건설 및 운영에 있어 가장 중요한 사항중에 하나입니다. 적합한 재료의 선정은 재료의 물리적 성질, 부식성, 경제성, 용접성 등을 종합적으로 평가해야 하므로 재료에 대해 전문지식 및 경험과 방대한 자료에 대한 검토를 필요로 합니다. 따라서 많은 엔지니어들은 경험자료와 이론적 지식을 정리한 데이터베이스 시스템을 원하고 있습니다. PMAS는 이러한 목적으로 개발되었으며 산업계의 know-how를 쉽게 제공하고 있으며, 재료분야 초심자라도 재료선정 업무를 신속하고 효과적으로 처리할 수 있도록 해줍니다. ○ 그래픽 사용자방식 ○ Windows 95/98 환경에서 운영 ○ 편리한 찾기 기능, 빠른 검색시스템, 부분입력, 조건지정, 항목선택 등 다양한 검색기능 ○ 뛰어난 출력기능
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- 경기기술이전센터
- 등록일
- 2002-06-22
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일반기술
전기·전자 > 전력시스템
본 방법은 고정원에서 배출되는 배기가스중의 질소산화물을 제거하는 선택적 촉매 환원 방법에 있어서, 수반되는 암모니아의 과소비를 줄이고, 반응 후 배출되는 이산화질소의 생성을 감소시키는 촉매의 개발 및 지지체에 촉매를 코팅하는 방법에 관한 것이다. 상기촉매는 120 - 250℃의 저온에서 질소산화물을 완전하게 제거하며, 동시에 암모니아의 사용량을 줄이고 이산화질소의 생성을 억제하는 효과가 있다.○ 현재 개발된 탈질촉매는 기존의 Ti 및 V계열의 고온용(250∼400oC)보다 저온(120∼250oC)에서 사용할 수 있으므로 재가열에 필요한 에너지 비용을 절감할 수 있으며 암모니아를 환원가스로 사용할 때 과잉공급량을 질소가스로 전환시키므로 이를 조절하여 높은 질소산화물의 제거효율을 얻을 수 있음. ○ 기존의 Ti 및 V 계열의 고온용(250∼400oC)은 저온에서 활성도가 나빠 새로운 물질인 Mn Oxides계를 사용하여 저온 활성도를 증가시킨 촉매를 개발○ 기존의 Ti 및 V 계열의 고온용(250∼400oC)보다 저온(120∼220oC)에서 사용할 수 있으므로 재가열에 필요한 에너지 비용을 절감할 수 있음.
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- 경기기술이전센터
- 등록일
- 2002-06-23
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