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본 기술은 변압기 내부 절연유 및 절연지에 침투한 수분을 측정하되, 전원의 주파수를 변경하거나 또는 충방전 시 듀티비를 변화시켜가며 변압기 특성을 측정하여 보다 정확하고 신뢰성 있는 변압기 내의 수분밀집도 또는 수분농도를 측정하고 이로부터 변압기의 수분 열화도를 정확히 도출하기 위한 수분량 검출 장치 및 방법에 관한 것이다.종래 기술의 단점 - 기존의 방법은 절연유, 절연지 샘플을 채취해야 하므로 현장에서 즉시 처리하기엔 다소 무리가 있으며, 정전상태에서 시험을 실시해야 한다는 문제점이 있다.기술의 우수성 - 기술적 측면에서 보면 배전용변압기 성능평가 시험설비 구축 및 분석기술 확보를 통해 변압기의 장기신뢰성 평가가 가능하고, 전력변압기의 유지보수 기간에 변압기의 수분함유량을 정밀 분석함으로써 경년열화특성을 평가하고 열화진단 기법으로 활용 가능하다 - 산업ㆍ경제적 측면에서 보면 변압기의 효율적인 운영 및 진단으로 유지관리비용과 전력손실 절감 효과 예상되며, 국산 변압기 제조업체의 품질향상으로 기기 수명연장이 기대되며, 고장감소를 통한 판매전력량 증가하여, 제조물책임법 시행 이후에는 전력회사, 전기사용자, 제조업체와의 기술적, 산업적, 경제적 측면에서 논쟁이 증가될 것으로 예상되며, 전력기기의 신뢰성평가 기법에 활용되어 저가의 가격경쟁력 확보와 기능을 통합한 장치개발로 수입장비 대체효과 및 국외 수출이 가능할 것으로 판단된다.기술 요약 - 소형 유입 변압기는 주상 변압기로 많이 쓰이고 있으며, 소형 유입 변압기의 특성 개선이나 성능 향상을 위한 최근 동향으로서, 저손실화, 다기능화 부식방지에 의한 수명 연장 등을 들 수 있다.국내외 시장 규모 - 현재 국내 변압기 시장은 대략 1조원대. 이 중 효성, 현대중공업, LS산전, ABB코리아 등 4개 대기업이 3분의 2가량을 장악하고 수십 군데 중소업체들이 나머지를 차지하고 있다. 산일전기는 군소업체들 중 ‘맏형’격으로 대형 업체들보다 30% 가까이 싼 가격에 변압기를 공급하고 있다.사업성 - 국내뿐만 아니라 중국에서 발전소 및 전력수송용 시장을 타겟으로 초대형, 초고압으로의 발전하고, 중소형 제품을 타겟으로 에너지 절약, 소형화, 저소음, 고저항의 제품개발하고 있기 때문에 진출 가능한 시장이 매우 다양하고, 그 규모들도 크다.
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- 2007-05-30
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개발한 2.4MJ 커패시터형 펄스전원장치는 모듈화된 단위펄스전원장치(300kJ, 22kV, 150kA) 8대로 병렬구성됨으로써 유연한 펄스파형 발생이 가능함. 펄스전원장치 설계를 위한 최적 모듈용량 결정, 구성품 선정, 설계절차 및 시험평가 기법 등 제반 펄스전원장치 설계 기술과 펄스전원장치를 이용하여 대전력 펄스를 발생하고 파형을 제어하기 위한 기술을 포함하고 있음.개발한 펄스전원장치는 모듈화된 단위펄스전원장치를 여러 대 병렬로 구성, 운영함으로써 제작과 용량증설이 용이하고 다양한 펄스발생 및 제어가 가능함.대전력 펄스성형 기술은 펄스전력(Pulse Power)를 이용하는 분야에서 필요한 핵심기술로서 국내에서는 작은 규모의 펄스전원장치에 대한 연구는 있었으나 MJ급 펄스전원장치를 이용한 수백MW(Mega Watt)급의 유연한 펄스성형 기술은 본 기술이 국내 최초임. 본 기술을 통하여 강자성체 제작, 무진동 발파, 펄스용접, 분말(나노입자) 생산, 금속성형, 공해처리, 자원재생 등 분야의 규모 확장 및 품질향상에 기여할 것임.
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- 2007-05-30
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열 영상 기반 추적 시스템은 적외선 센서로부터 입력된 영상 정보에서 표적의 위치와 이동 정보를 실시간으로 추정하고, 지속적으로 조준선을 표적에 자동으로 지향하도록 하는 시스템임. 본 시스템은 지상전투차량에 적용을 목적으로 개발되었으며, 주요 핵심 기술은 시스템 설계(H/W, S/W) 및 체계 통합 기술, 센서 플랫폼 제어 기술, 그리고 실시간 추적이 가능한 영상 신호처리 기술 등임.열 영상 기반 추적 시스템은 적외선 센서로부터 입력된 영상 정보에서 표적의 위치와 이동 정보를 실시간으로 추정하고, 지속적으로 조준선을 표적에 자동으로 지향하도록 하는 시스템임. 본 시스템은 지상전투차량에 적용을 목적으로 개발되었으며, 주요 핵심 기술은 시스템 설계(H/W, S/W) 및 체계 통합 기술, 센서 플랫폼 제어 기술, 그리고 실시간 추적이 가능한 영상 신호처리 기술 등임.열 영상 기반 추적 시스템은 적외선 센서로부터 입력된 영상 정보에서 표적의 위치와 이동 정보를 실시간으로 추정하고, 지속적으로 조준선을 표적에 자동으로 지향하도록 하는 시스템임. 본 시스템은 지상전투차량에 적용을 목적으로 개발되었으며, 주요 핵심 기술은 시스템 설계(H/W, S/W) 및 체계 통합 기술, 센서 플랫폼 제어 기술, 그리고 실시간 추적이 가능한 영상 신호처리 기술 등임.비디오 영상 시퀀스 내의 자동 물체 추적 기술은 많은 분야에서 응용되고 있으며 국내외에서 관련 기술의 개발이 크게 증가하고 있음. 자동 추적 기술을 지능형 감시 시스템(Intelligent Surveillance System)에 적용함으로써 침입자를 감시하고 추적하여 이상 징후의 발견 시 경보 및 보안 시스템의 작동과 조합에 활용할 수 있음. 또한, 의료 영상분야에서 영상 유도 수술(image-guided surgery), 가상내시경(virtual endoscopy), 가상 수술(surgical simulation)등에 적용함으로써 인체 내에 존재하는 병변을 직접적인 수술 없이 추적, 판단하고 치료하는 경우에 활용 할 수 있음. 그리고 산업용 로봇 및 무인 자동화 지능형 로봇의 환경 적응 및 환경 변화에 대처 기능, 자율 주행 등에 접목시킴으로서 최근 급격하게 발전하고 있는 로봇 비젼 분야의 발전에 기여할 수 있음.
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- 2007-05-30
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본 기술은 초점면 배열 적외선 검출기의 출력신호 불균일을 실시간으로 보정하는 디지털 신호처리 기법으로써, 입력영상의 히스토그램을 이용하여 두개의 기온온도 소스를 제어하고 검출소자 개개의 이득 및 옵셋을 실시간으로 보정할 수 있는 디지털 보정기법이다. 적외선검출기의 소자간 출력신호 불균일 차이에 의한 고정 패턴잡음이 완벽하게 제거되고, 비선형 시변함수 특성으로 인해 나타나는 보정후의 잔류잡음을 검출기의 열잡음 수준으로 최소화 할 수 있다종래기술에 의한 대부분의 2세대 열상장비는 검출기 출력을 미리 측정하여 이득과 옵셋을 구하고 이값을 롬에 기억시켜 보정하는 디지털 방식을 사용하고 있는데 이 방식의 단점은 특정한 온도에서 구한 보정값을 온도가 다른 입력영상에 적용시 완전한 보정이 이루이지지 않고 잔류잡음을 야기한다.본 발명은 초점면배열 적외선 검출기에서 입력영상의 히스토그램을 이용하여 기준온도원을 제어하고 이득 및 옵셋을 소정 주파수의 프레임율로 적응적으로 실시간 보정함으로써 적용되는 입력영상에 관계없이 완전한 보정이 이루어져 잔류잡음을 야기시키지 않는 효과가 있다. 미세 온도분포를 사용하는 의료용 열상장비에서 실시간으로 검출기의 열잡음 수준으로 불균일이 보정되면 항상 선명한 영상을 획득할 수 있다.
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- 2007-05-30
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중적외선 파장대역인 3～5㎛에서 사용하는 광학계로 5군 7매의 렌즈로 구성되며, 시계를 1.5°×2.0°의 고배율에서 30°×40°의 저배율 광시계까지 20배율의 범위를 연속적으로 변화시킬 수 있는 줌 렌즈로 줌비가 20 : 1 이고 각 군을 구성하는 렌즈 매수를 최소화하여 광학계의 질량 및 크기를 줄이면서도 회절한계의 광학성능을 유지하도록 설계된 광학계종래기술의 적외선 줌렌즈 광학계는 통상 기계보정식 4 렌즈군으로 구성되어 있고 줌비가 커질 경우 광학계 전체의 길이가 길어져 소형/경량의 열상장비 제작이 어려우며, 광학성능을 위해 많은 회절면이나 비구면을 필요로하여 광학계 제작이 어렵고 기구/광학적인 구동이 어려운 단점을 가지나 본 발명은 이러한 문제점을 해소한 회절한계 성능의 광학계본 발명은 전자광학추적장비와 같은 작은 플랫폼에 내장이 용이하도록 소형 경량이면서도 고배율/고분해능을 갖는 열상장비에 적용하기 위한 중적외선 파장대역 광학계로 무인항공기용 영상감지기 열상모듈에 적용되었으며, 동일한 기술이 헬기용 전방관측적외선장비에 적용되었음.
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- 2007-05-30
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전자파 센서의 설계, 시험평가에 필요한 RCS 및 RP/ISAR 분석에 필요한 S/W 설계 기술로, 레이다 표적의 3차원 CAD 모델로부터 FEM mesh 생성, 수치해석 알고리즘을 이용한 RCS (Radar Cross Section) 계산, 계산 결과에 고분해능 알고리즘을 적용, 영상 및 산란점 생성, 사용자의 편리한 조작을 통해 목적에 맞는 전시방법 제공등이 포함되어 있음.전자파 센서의 설계 및 시험평가에 필요한 RCS (Radar Cross Section), RP (Range Profile), ISAR (Inverse Synthetic Aperture Radar) 결과를 측정에 의존하지 않고 시뮬레이션으로 확보할 수 있음.기존에 외국으로부터 구매하여 사용하는 소프트웨어는 제한된 기능만을 수행할 수 있으며 우리가 필요한 기능을 추가할 수 없으므로 비효율적이었으나 RTS 소프트웨어는 매우 복잡한 표적에 대해서도 짧은 시간에 RCS를 계산하여 활용할 수 있고 표적의 종류나 센서탑재체에 따라 필요한 기능의 추가 및 보완이 용이함.
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- 2007-05-30
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레이다용 안테나와 같이 고이득이고 펜슬 빔(pencil beam)인 안테나의 복사특성 측정에 가장 적합한 측정기술로서, 측정하고자 하는 안테나 면에 인접한 근접전계 영역의 평면에 분포하는 전계(electric field)를 측정하여 안테나의 원거리(far-field) 복사특성을 계산하는 간접 측정 기술임.원거리 측정시설과 컴팩트레인지와는 달리 안테나의 가까운 거리에서 측정하기 때문에 측정비용이 적게 소요되며 레이다 안테나와 같이 고이득인 경우의 측정 정확도가 우수하며, 2차원의 측정에 따라 2차원의 복사특성을 획득할 수 있으며 안테나면의 전계분포 분석을 통하여 안테나의 진단 및 교정이 용이함.근접전계 측정 기술은 방산분야의 무기체계(레이다, 탐색기, 근접신관 등) 뿐만 아니라 위성 및 이동통신용 안테나의 복사특성을 측정할 수 있는 기술로서 외국의 경우 60년대부터 개발하여 70년대에 무기체계개발에 적용하였으며 80년대부터 상용화되어 다른 산업분야에 사용되고 있음.(외국의 업체 : NSI(미), MIT(미), Oribit(이) 등)
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- 2007-05-30
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본 기술은 두 대 이상의 계측 레이더를 이용하여 비행체에 탑재되는 한 대의 비콘 트랜스폰더를 추적하며, 계측 레이더 사이의 상호 간섭을 배제할 수 있는 시분할 비콘 추적기술, 초기 지면클러터의 간섭영향을 최소화하기 위한 각도제어 추적기술, 추적레이더의 운용효율 증대를 위한 레이더 계측상황 모니터링 기술, 그리고 원거리 레이더 연동추적을 위한 장거리 레이더 네트워크 기술등으로 구성되어 있음종래 시험장에서 운용되는 레이더 계측기술은 한 대의 레이더 시스템으로 한 개의 비행표적을 추적하여 정밀한 위치자료를 획득하는 방식으로서 비행체의 비행시나리오가 점점 다양해지고 복잡해져 감에 따라서 표적에 대한 추적 신뢰도가 점점 낮아짐.본 기술은 다수의 레이더 시스템을 이용하여 추적환경에 의한 간섭을 최소화하고 동일한 표적을 추적하게 함으로서 추적 신뢰도를 증가시켜서 주요무기체계 비행시험에 만전을 기하고자 발명되었음계측용 추적 레이더 시스템을 이용하여 표적에 대한 정밀한 위치 획득을 목적으로 비행표적을 추적하는 기술로서 무기체계개발을 위한 기술시험 등 특수한 분야에 한정적으로 적용하고 있는 기술이나, 위성추적을 위하여 다수의 레이더 시스템을 동시에 운용할 경우 동 기술을 충분히 활용할 수 있을 것으로 판단됨.
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- 2007-05-30
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본 기술은 포구속도 전용 계측시스템(Muzzle Velocity Radar System: MVRS)의 불확도를 평가하기 위한 불확도 평가기술이며, MVRS의 고유 static error와 환경적 오차 및 동작오차 요인을 분석하고 구성요소별 불확도 계산절차를 수립하여 불확도를 산출한다. 포구속도 계측을 하였을 때 얻어지는 계측값의 불확도와 신뢰범위를 평가함으로서 계측데이터의 신뢰도를 보증하고 향상시킬 수 있는 기술이다. 또한 유사한 계측시스템에 적용할 수 있다.계측시스템의 정확도는 계측에 있어 가장 중요한 요소중 하나이다. 계측시스템의 오차요인을 분석하여 불확도를 계산함으로서 정밀계측할 수 있도록 하는 기술임. 포구속도 계측을 하였을 때 얻어지는 계측값의 불확도와 신뢰범위를 평가함으로서 계측데이터의 신뢰도를 보증하고 향상시킬 수 있는 기술로, 유사한 계측시스템에 적용할 수 있음.
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- 2007-05-30
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심장의 전기생리학적 활동에 의해 발생되는 자기장신호를 초전도양자간섭소자(스퀴드: SQUID)로 측정하고 분석하여 심장의 기능적 질환을 진단하는 심자도 측정시스템 제작기술심자도 신호는 100 pT이하의 미약한 자기장 신호이므로 심자도를 측정하기 위해서는 고감도 다채널 스퀴드 장치 제작기술이 필요하고, 스퀴드 구동회로기술, 스퀴드 냉각기술, 자기잡음 제거기술, 신호수집 및 분석기술 등 으로 구성스퀴드 장치는 스퀴드 센서를 검출코일과 결합하는 기술과 스퀴드를 테스트하는 기술로 구성되며, 구동회로기술을 구동회로를 설계, 조립 및 테스트하는 기술로 구성됨기술의 우수성 - 심자도 기술은 비접촉 측정이고 비침습적인 측정방법이므로, 옷을 입은 채로 측정이 가능함 (미국특허 출원번호 11/496,304 외, 국내특허등록 제0313480호) 국내외 시장 규모 - 현재 세계시장규모는 연간 50억원 수준으로 미미하지만, 기술의 유용성이 입증되면 크게 증가할 것으로 예상사업성 - 아직까지는 심자도 장치가 본격적으로 병원에 사용되고 있지는 않은데, 중국에 3대가 병원에서 진단용으로 사용있고 있으며, 다른 선진국가에서는 아직 연구용으로 활용되고 있다. 심자도 장치의 가격은 채널수에 따라 다르나 대당 5억원~15억원 수준
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- 2007-05-30
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전기·전자 > 기타 전기/전자
의료용/산업용 레이저전달장치 개발기술로서, 레이저를 전달하기 위한 광섬유, 광섬유 및 냉각수관을 보호하기 위한 외곽의 피복 튜브를 포함하는 레이저 유도관, 레이저를 발진하는 레이저 발생기와 연결되는 레이저 유도관의 커넥터, 레이저 조사구, 레이저 유도관과 냉각수 공급 튜브가 연결되는 접합부를 포함하고, 접합부와 접촉부 사이에서 내시경에 삽입될 수 있는 단면 형상 및 크기를 가지는 장치를 설계, 제작하는 개발기술을 특징으로 함2,100nm의 파장을 가진 레이저는 신체 조직의 주요한 구성 성분인 물에 우수하게 흡수되기 때문에, 신체 조직 및 신체 내의 결석을 효과적으로 증발시킴일반적으로, 이러한 레이저 에너지는 레이저 전달 장치의 광섬유를 통하여 전달되며 광섬유의 레이저를 방출하는 말단은 제거하고자 하는 병변 및 결석이 있는 위치 근처로 이동하여 레이저를 조사하여 병변 및 결석을 파괴함그러나, 레이저 빔의 직진하는 특성으로 인하여 측면에 위치해 있는 병변을 제거하기가 어려운 점을 극복하기 위해 레이저 전달 장치의 말단부에서 레이저 빔이 측면으로 조사될 수 있게 함으로서 직진하는 레이저 빔만으로 접근하기 어려운 부위도 접근/치료가 가능2,100nm의 파장을 가진 레이저는 신체 조직의 주요한 구성 성분인 물에 우수하게 흡수되기 때문에, 신체 조직 및 신체 내의 결석을 효과적으로 증발시킴일반적으로, 이러한 레이저 에너지는 레이저 전달 장치의 광섬유를 통하여 전달되며 광섬유의 레이저를 방출하는 말단은 제거하고자 하는 병변 및 결석이 있는 위치 근처로 이동하여 레이저를 조사하여 병변 및 결석을 파괴함그러나, 레이저 빔의 직진하는 특성으로 인하여 측면에 위치해 있는 병변을 제거하기가 어려운 점을 극복하기 위해 레이저 전달 장치의 말단부에서 레이저 빔이 측면으로 조사될 수 있게 함으로서 직진하는 레이저 빔만으로 접근하기 어려운 부위도 접근/치료가 가능
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- 2007-05-30
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자외선복사도계는 파장이 200 nm - 400 nm인 자외선의 분광복사조도를 측정하는 기기를 의미한다. 자외선복사도계를 교정하기 위해서 자외선 광원이 사용되는데 본 자외선 광원은 분광복사조도 즉, 단위면적당 자외선의 세기(W/cm2)가 큰 광원이다. 본 자외선 광원의 복사조도는 254 nm, 365 nm, 405 nm 파장에서 약 300 mW/cm2 이다. 본 광원은 고출력 수은등, 타원거울, Dichroic mirror, 압축공기로 구동되는 셔터, fly's eye lens, collimating lens, water filter, focusing lens, timer와 그 구동장치로 구성되어 있으며 장치의 바깥 판은 물로 냉각시킬 수 있도록 되어 있다. 전체 장치는 사용하는 사람의 안전과 외부의 빛을 차단할 수 있도록 차폐되어 있으며 장치 내부의 공기는 실험실 외부로 배출할 수 있도록 설계됨기술의 우수성 - 자외선은 반도체 산업, 수지경화, 자외선 살균 등 다양하게 사용되고 있으며 자외선 세기 측정 및 조사량 조절을 위하여 다양한 형태의 자외선 복사도계가 사용되고 있다. 자외선복사도계는 제조회사도 많고 형태와 측정영역도 다양하다. 이러한 분야에서 사용되는 자외선복사도계는 그 성능이 자외선 조사에 의해 성능이 변화하기 때문에 수시로 교정을 해야 한다. 따라서 현재 자외선복사도계의 교정수요는 계속 증가하고 있다. 이것은 국외에서도 비슷한 현상이며 특히 고출력 자외선복사도계의 교정 수요가 더욱 증가하고 있다. 특히 고출력 자외선 복사도계를 교정하고자 하는 국내외 교정 시험기관에서 그 수요가 많을 것으로 예상사업성 - 고출력 자외선복사도계를 교정하는 교정 및 시험기관에서 대외교정용으로 활용
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- 중소기업청
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- 2007-05-30
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전기·전자 > 기타 전기/전자
정밀분광분석용 spectrophotometer 의 핵심부품인 분광기(monochromator)와 Photo Diode Array(PDA) 를 결합하여 분광특성을 측정할 수 있는 장치의 제작기술로써 체니-터너 방식의 grating 분광방식의 monochromator 설계 및 제작평가기술과 수광면에 PDA(Photo Diode Array)를 배치하여 분광광선과 PDA 각 cell에 입사하는 단색광의 파장을 matching 하는 기술이 주를 이룬다. 이 기술은 분광소자의 평가와 전체적인 광 path 의 최적화와 stray light 의 적절한 제어를 통하여 분광광도계의 정밀도를 높이며 고정밀의 계측이 가능하게 되는 상당히 섬세하고 숙련된 기술과 경험이 요구되는 기술이다. 분광분석을 통한 계측은 여러 방면에서 응용되는데 특히 고도의 정밀도를 요구하는 의료용으로도 충분히 활용 가능한 기술이다.기술의 우수성 - 기술의 장점: 분광특성을 단시간 내에 정확하게 분석할 수 있는 기반핵심 장치로 분광기의 구조가 간단해지고 소형화 고기능화가 가능하다. 국내외 시장 규모 - 사업성 및 시장성 : 우수하고 시장성은 무한 - 국내외 시장성장 예상규모 : 향후 10여 년간 성장세 지속 전망 - 적용분야 : 분광분석을 이용한 모든 분석계측분야에 적용 - 기대효과 : 분광장치의 세대교체가 확실한 기술
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- 2007-05-30
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전기·전자 > 기타 전기/전자
자외선 분광복사조도 측정용 표준검출기는 파장이 200 nm - 400 nm인 자외선영역에서 분광복사조도 감응도(A/(W/cm2))가 교정되어 있어서 자외선광원의 분광복사조도 즉, 단위면적당 자외선의 세기(W/cm2)를 정확하게 측정할 수 있는 검출기이다. 표준검출기는 자외선 광원의 분광복사조도 측정뿐만 아니라 자외선복사도계 교정에 사용할 수 있다. 표준검출기는 자외선 측정용 반도체 검출기, 빛 확산자, 자외선 세기 감쇠용 필터, 구멍으로 구성되어 있다. 필터의 광밀도와 구멍의 크기는 시험 복사도계의 측정영역과 크기에 맞게 여러 가지로 조합하여 제작할 수 있다. 표준검출기의 분광복사조도 감응도는 한국표준과학연구원에서 주기적으로 교정하여야 한다.기술의 우수성 - 교정 불확도를 최소화하기 위해서는 측정영역과 크기가 시험 복사도계와 비슷한 표준검출기를 사용하는 것이 바람직하다. 본 표준검출기 제작기술은 교정 및 시험기관에서 다양한 자외선복사도계를 교정할 때 각각의 시험 복사도계에 적합하도록 제작하여 사용할 수 있다. 표준검출기의 출력 전류 신호만 측정하면 그 위치에서의 분광복사조도를 측정할 수 있기 때문에 사용이 간편하며 분광복사조도 감응도를 표준기관에서 주기적으로 교정하면 장기간 사용할 수 있다.국내외 시장 규모 - 국내외적으로 자외선 복사도계 교정 수요와 함께 표준검출기의 수요도 증가할 것으로 예상된다.사업성 - 자외선 광원을 사용하는 산업체에서 자외선 분광복사조도 측정과 자외선복사도계를 교정하는 교정 및 시험기관에서 자외선복사도계 교정용으로 활용
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- 등록일
- 2007-05-30
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전기·전자 > 기타 전기/전자
본 기술은 고해상도 카메라 장치 및 구현방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카메라 내부에 리니어(linear) 촬상소자(CCD,CMOS,등)를 장착하여 그 위치를 화소크기 만큼씩 이동하면서 화상을 획득하여 합성함으로써, 카메라의 화각영역을 하나의 고해상도 화상으로 획득하여 대형구조물의 영상처리를 이용한 표면 결함 계측이나 영상처리를 이용한 제품검사의 미세 결함 검출, 위성 카메라 등의 고해상도를 요구하는 영상분야에 응용할 수 있으며, 기존 에이리어(AREA) 스캔 방식카메라의 해상도 부분의 한계점을 극복할 수 있도록 한 고해상도 카메라 장치에 관한 것이다.본 기술은 고해상도 카메라 장치 및 구현방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카메라 내부에 리니어 촬상소자(CCD,CMOS,등)를 장착하여 그 위치를 화소크기 만큼씩 이동하면서 화상을 획득하여 합성함으로써, 카메라의 화각영역을 하나의 고해상도 화상으로 획득하여 대형구조물의 영상처리를 이용한 표면 결함 계측이나 영상처리를 이용한 제품검사의 미세 결함 검출, 위성 카메라 등의 고해상도를 요구하는 영상분야에 응용할 수 있으며, 기존 에어리어(AREA) 스캔 방식의 해상도 부분의 한계점을 극복머신비전을 이용한 제품 정밀 검사 및 대형 제품 검사, 영상처리를 이용한 대형 산업구조물의 균열 검사, 의료용 카메라, 인공위성용 카메라 등의 고해상도가 요구되는 카메라산업
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- 중소기업청
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- 2007-05-30
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자외선복사도계는 파장이 200 nm - 400 nm인 자외선의 분광복사조도를 측정하는 기기를 의미한다. 자외선복사도계 교정 장치는 자외선복사도계가 자외선 분광복사조도 즉, 단위면적당 자외선의 세기(W/cm2)를 얼마나 정확하게 측정하는지를 교정하는 장치이다.본 교정 장치는 254 nm, 365 nm, 405 nm 파장에서 1 mW/cm2 ～ 500 mW/cm2 영역의 자외선선복사도계를 교정할 수 있는 장치로서 적외선 제거용 필터, 자외선 세기 조절용 필터, 파장 선택 필터, 고출력 복사도계 교정용 렌즈, 표준검출기와 시험기기 비교 측정용 이송장치, 표준검출기의 신호 측정기기, 이송장치 구동 및 데이터 처리용 컴퓨터로 구성되어 있다.전체 장치는 측정하는 사람의 안전과 외부의 빛을 차단할 수 있도록 차폐장치 내에 설치되며 시험 복사도계의 교환이 용이하도록 되어 있다. 측정파장은 더 확장할 수 있다.자외선은 반도체 산업, 수지경화, 자외선 살균 등 다양하게 사용되고 있으며 자외선 세기 측정 및 조사량 조절을 위하여 다양한 형태의 자외선 복사도계가 사용되고 있다. 자외선복사도계는 제조회사도 많고 형태와 측정영역도 다양하다.이러한 분야에서 사용되는 자외선복사도계는 그 성능이 자외선 조사에 의해 성능이 변화하기 때문에 수시로 교정을 해야 한다. 따라서 현재 자외선복사도계의 교정수요는 계속 증가하고 있다. 이것은 국외에서도 비슷한 현상이며 특히 고출력 자외선복사도계의 교정 수요가 더욱 증가하고 있다. 따라서 본 교정 장치는 고출력 자외선 복사도계까지 교정할 수 있는 교정 장치로서 국내외 교정시험기관에서 그 수요가 많을 것으로 예상된다.
- 보유기관
- 중소기업청
- 등록일
- 2007-05-30
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본 기술은 소형이면서도 수 십 pm (10-12 m)의 정밀도를 갖는 원자간력현미경 탐침의 수직 변위 측정과 거리 유지 장치에 대한 것이다. 이를 위해 단면이 오목거울로 가공된 광섬유의 출력 부분과 외팔보 반사면 사이의 간격이 수 μm (10-6 m)인 패브리 페로 공진기를 형성한다.이 공진기는 내부의 빛이 항상 공진기 안에 머무를 수 있는 안정조건을 만족한다. 입사광과 패브리 페로 공진기가 공진된 상태에서 공진기 길이가 변하면 공진기에서 반사되는 빛의 세기가 급격히 변하므로 이를 이용하여 pm정도의 공진기 길이 변화를 측정할 수 있다. 공진기에서 반사되어 광섬유로 돌아온 빛을 servo회로로 처리하여 압전소자를 동작함으로서 탐침의 움직임을 보상하고 공진기 길이를 일정하게 유지한다.정밀 측정기기의 성능을 향상시키는 데 본 기술이 유용하게 사용될 수 있고 현재 미국의 타 업체의 기술에 비하여 가격적으로나 기술적으로나 장점이 많기 때문에 충분한 시장성이 있음. 현재 가장 보편적으로 사용하는 반사광 위치 측정 방식에 비해 소형, 고속, 정밀이 가능하고 제조 단가 측면에서도 비싸지 않음. 나노 산업에는 AFM개발에 지속적으로 많은 투자를 하고 있으므로 시장상황은 긍정적으로 판단 됨.탐침 변위 기술은 AFM의 핵심 부품으로 국내 관련 장비의 성능 향상에 기여 가능. 본 기술은 AFM 탐침의 변위뿐만 아니라 고속 HDD의 헤드와 기록면 사이의 거리 유지처럼 다양한 분야에 적용이 가능하므로 나노기술 발전에 기여할 수 있음
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- 중소기업청
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- 2007-05-30
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본 기술은 유리의 양면에서 반사된 빛의 간섭현상을 이용하므로 원리적으로 1 nm 이하의 분해능이 가능함. 따라서 고성능 LCD 유리의 표면 요철을 측정할 수 있음원리상 유리의 진동이나 주위 환경의 온도 변화에 둔감한 측정 방법이고 레이저 광을 이용한 비접촉 방식이므로 LCD 유리의 제조공정에서 두께 변화를 측정하는 시스템으로 적용이 가능함측정 광학계가 4개의 소자만으로 이루어져 소형 제작이 가능하므로 센서 어레이의 형태로 제작이 가능하고 다양한 응용이 기대됨유리 두께에 비례하는 간섭신호를 얻을 수 있으므로 빠른 측정이 가능정밀 판유리 생산 공정에서의 유리 두께 변화 측정사업성 - 외부의 진동이나 온도 변화에 둔감하게 수 nm의 정밀도로 두께 및 요철을 측정할 수 있으므로 유리 제조 공정에 직접 사용할 수 있다. - 또한 필요한 부품의 수량이 작고 값싼 부품을 사용할 수 있으므로 장치의 제작에 소요되는 단가가 비슷한 정밀도의 상업적 제품에 비하여 1/10 이하로 줄일 수 장점이 있다. - 측정을 위해 구동부가 필요하지 않고 고속 측정이 가능하 다.
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- 중소기업청
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- 2007-05-30
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정밀한 스테이지 이동변위와 각도 변화를 동시에 측정가능한센서(변위를 측정하기 위한 레이저 간섭계와 각도 측정에 사용하는 시준기(autocollimator)를 하나의 장치로 효과적으로 결합하여 작고 정밀한 센서를 제작함 <사양> 길이 분해능: 1 nm, 각도 분해능 < 1 초, 센서부 크기: 30 * 60 * 80 mm기술의 우수성 - 두 장치의 결합을 위해 추가적인 장치가 필요하지 않고 주요 부품을 같이 사용할 수 있으므로 생산가 절감 - 다양한 형태의 간섭계와 autocollimator를 결합할 수 있으므로 기존의 레이저 간섭계가 사용되는 영역의 어디에든 사용가능 - 실시간으로 거리와 각도 측정이 가능하므로 이송대의 기 울어짐을 능동 보정해서 성능을 향상시킬 수 있음 - 동일한 광축을 이용하여 측정을 하므로 Abbe 오차를 최소화한 측정이 가능하여 성능이 향상됨 기술 요약 - 본 발명은 기존의 레이저 간섭계와 오토콜리메이터 기능을 모두 갖춘 하나의 복합 측정장치를 구성함으로써 스테이지에 의해 위치 이동되는 정밀 측정기기의 측정기나 가공기기의 가공기 등과 같은 측정대상의 이동거리와 회전각(yaw나 pitch)을 동시에 측정할 수 있는 효과가 있다. - 본 기술은 하나의 장치로 거리와 각도 변화를 동시에 측정할 수 있어, 스테이지의 이동과 회전각(yaw와 pitch 운동)을 실시간으로 검출하고 스테이지를 가공하는 과정에서 생길 수 있는 가공오차 등을 보정하는 장치를 구성하여 스테이지의 성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
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- 중소기업청
- 등록일
- 2007-05-30
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일반적으로 화학증착은 특수한 화합물(화학 전구체)을 증기상태로 만든 다음 원하는 물체의 표면에서 분해/흡착되도록 하여 물체의 표면에 박막의 상태로 어떤 성분을 코팅하는 것으로 반도체 핵심공정 중의 하나이다. 한편 화학전구체는 용기 내에 보관되어 있다가 공정이 시작되면 반응로로 들어가 증착공정이 시작되게 된다. 그러나 액체의 화학전구체 재충전 시 수면이 떨려 초음파진단이 불가능할 경우가 있다. 따라서 액체재충전 시 수면을 흔들리지 않게 해주는 기술이 필요하다. 따라서 본 기술에서는 용기 내 격막을 통하여 용기충전부와 수위측정부위를 분리하여, 용기가 충전 시 수위의 요동에도 불과하고 확실하게 쉬위를 측정할 수 있다. 또한 용기위에 부유체를 설치하여 수위가 흔들려도 초음파 수위측정이 가능한 기술을 개발하였다.화학 증착 공정 시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법에 의하면, 반도체 제조공정 중 웨이퍼의 화학 증착 공정에서 초음파를 이용하여 전구체의 수위를 실시간으로 측정하여 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지함으로써 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있는 효과가 있다. 그러나 공정 자동화에 의해 재충전에 의해 용기를 교체하지 않고도 사용하려면 재충전 중에도 수위를 정확히 측정할 수 있는 기술이 반드시 필요하다. 이러한 기술을 바탕으로 전구체의 정확한 재충전 모니터링을 할 수 있으므로 전구체의 주입량을 정확히 제어할 수 있다. 따라서 본 기술은 센서를 용기밖에 설치하고 측정하는 기술이라 다른 어떤 기술보다도 재현성 확보가 쉽고 정확성 또한 뛰어나 추후 반도체 라인 등 산업체에 적용시 높은 경제적 효과가 기대된다. 반도체 분야 (화학증착, 유기금속화학증착, 원자층 증착 공정등) 디스플레이 분야, 기타 코팅 분야
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- 중소기업청
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- 2007-05-30
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