일반기술
기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
제안된 기술은 수십~수백 마이크로의 미소영역에서 나노 단위의 분해능으로 위치결정을 하며, 고속 스캔이 가능한 스테이지 설계기술이다. 초정밀 스테이지는 초정밀 구동을 위한 압전소자, 압전소자의 운동을 각 축 방향으로 안내하기 위한 안내기구, 초정밀 위치센서 및 제어회로로 구성되어 있다. 이 중 안내기구는 탄성힌지로 이루어져 있으며, 스테이지의 기계적 성능을 좌우한다. 본 기술에서는 XY 2 축을 병렬로 구동할 수 있는 2축 병렬형 탄성힌지 구조의 안내기구를 제안하고, 제안된 안내기구에 의해 초정밀 2축 스테이지를 개발하였다. 본 기술에 의해 개발된 스테이지는 IT 및 NT 분야에서 광범위하게 응용 가능하다.- 탄성힌지 구조의 운동안내기구에 의해 비접촉무마찰 구동- 적층형 압전소자 액추에이터를 이용하여 빠른 동특성 구현- 변위확대기구에 의해 압전소자의 변위를 증폭하여 100 um 이상의 작업영역 달성 - 2 축 탄성힌지형 병렬기구 구조에 의해 두 축이 서로 비연성되어 있으며, 동특성이 동일하고, 타 방향의 외란에 강인함. (사용된 탄성힌지형 병렬기구는 특허등록 됨)- 용량형 초정밀 변위센서를 사용하여 나노단위의 고분해능 달성- 구동범위: 100 um x 100 um- 분해능: 1 nm 2010년 세계 시장 전망- Scanning Probe: 43 Million $- Nano imprint : 245 Million $
- 보유기관
- 한국기계연구원
- 등록일
- 2008-09-25
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일반기술
기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
에너지 절약화, 소형경량화, 고성능화, 저가격화 및 고신뢰성 요구조건을 만족하는 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)와 박막 시트형(sheet-type) 체크밸브로 구성된 미소유량 정밀토출용 소형 압전펌프. 압전 액추에이터는 소형이면서 제어가 용이하고, 저소비전력 및 높은 발생력을 가지는 장점으로부터, 작동 유체를 고압/정량 토출하기 위한 다양한 종류의 소형 펌프의 구동원으로 사용되고 있음. 수~수백 ml/min의 미소유량 정량공급이 요구되는 고가의 화학 분석기기 및 의료기기 등의 핵심부품인 압전펌프는 해외 수입 의존도가 매우 높은 만큼 국내 정밀기기 산업의 기술 경쟁력을 갖기 위한 핵심 요소기술임. 압전 액추에이터, 메탈 다이어프램 및 박막 체크밸브로 구성된 미소유량 정밀토출용 압전펌프는 압전 액추에이터에 인가되는 구동 전압, 구동 주파수 및 인가전압 파형 변화에 따라 토출유량의 정밀 제어가 가능함. 압전펌프는 기존의 전기모터 구동식 피스톤 펌프, 플런저 펌프 및 다이어프램 펌프 등과 비교하여 수백 kPa의 비교적 높은 정격 토출압력 운전조건에서 정격 토출유량 편차를 수% 이내로 제어 가능한 고정밀 용적식 정량펌프로 사용 할 수 있음. 전동기와 같은 별도의 구동장치가 필요 없는 압전 액추에이터의 자체 구동 변위에 따라 미소 유량의 정량 토출이 가능함으로써 펌프의 소형경량화, 고효율화 달성 가능. 소형 가정용 열병합 발전 연료전지 시스템의 개질수 공급용 펌프, 정밀 유체이송 분석기기, 의료물질 이송기기 등의 수요처 확대 기존 소형 피스톤, 플런저 및 다이어프램 펌프 적용분야에 대체 적용이 가능함에 따라 판로 확보 가능응용범위 기계분야 : 연료전지 개질수 공급 펌프, 고발열 전자장비 액체냉각 시스템, 정밀 연료분사, 윤활장치, 반도체 조립장비, 미세기포 발생기 등 화학분야 : 초정밀 화학 분석, 액체정량이송 등 의료분야 : 약물 및 혈액이송, 인공신장, 혈액주입, 산소발생기 등
- 보유기관
- 한국기계연구원
- 등록일
- 2008-09-25
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일반기술
기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
미소 액적을 정량 공급하는 디스펜싱 기술은 정밀 화학분석기기, 반도체 및 LED Packaging 공정, 의료바이오 장비 등의 핵심 요소기술임. 기존의 공기압 시린지(syringe) 방식의 디스펜서는 압축공기에 의해 가압된 유체가 시린지에 공급되고, 솔레노이드 밸브의 개폐에 의해 토출량을 제어하고 있으나, 유체의 압축성, 점도변화 및 밸브의 동특성에 따라 정량토출에 한계를 갖고 있음. 인가전압에 의해 정밀한 변위제어가 가능한 압전 액추에이터(piezoelectric actuator)를 이용한 리니어 압전모터를 시린지 내부에 내장한 압전구동 디스펜서는 기존의 공기압 시린지 방식 디스펜서의 솔레노이드 밸브를 필요로 하지 않고 리니어 압전모터의 변위 제어에 의해 정량 흡입 및 토출이 가능함. 시린지 내부에 내장되어 있는 압전 액추에이터 및 피스톤으로 구성된 리니어 압전모터와 노즐로 구성되어 있는 압전구동 시린지 디스펜서는 시린지 내부의 리니어 압전모터의 정밀 위치제어에 의해 별도의 토출 제어용 밸브없이 정량 토출이 가능함. 큰 발생력을 가지는 압전 액추에이터를 구동원으로 사용함으로써 높은 점도를 갖는 액적의 미세 정량 흡입 및 토출이 가능함. 각기 독립적으로 제어되는 싱글노즐 압전구동 시린지 디스펜서를 병렬 어레이 배치함으로써 다양한 작동유체의 독립 분사가 가능하여 생산성 향상에 기여할 수 있음.정밀기기반도체산업, 화학 공정장비 및 의료바이오산업 등 미세 정량 토출 액적 디스펜서 시스템 수요처 확대로 인한 국내외 시장 확보 토출제어 밸브 없이 액적의 정량토출이 가능한 압전구동 시린지 디스펜서 시스템 개발을 통하여 정밀도 및 가격경쟁력 확보를 통한 시장 선도 가능응용범위정밀기계반도체 산업분야 : 반도체 Packaging, 3차원 성형기, Flip chip 본딩, LED chip Packaging, OLED/TFT 디스플레이 칼라 패터닝, RFID, 유기박막 트랜지스터(OTFT), 유기 태양전지 등 화학 공정장비 산업분야 : 정밀 화학 분석장비, 2액형 디스펜싱 장비 등의료바이오 산업분야 : 바이오 센서, 의료기기 약물주입 등
- 보유기관
- 한국기계연구원
- 등록일
- 2008-09-25
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일반기술
기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
이온빔 가공장치에 있어서 이온원 하부에 존재하는 개구를 다중 개구로 하여 단일이온소스에서 다중빔을 방출하고, 다중빔 방출시 개구에 전위차를 두어 다중빔 방출을 활성화하며, 각각의 개구에 전기적 신호로 점멸이 가능한 점멸기를 사용하여 다중빔의 점멸을 제어하고, 방출된 다중빔을 집속, 분해하여 가공하는 장치와 이를 이용한 가공방법을 제공한다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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일반기술
기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
광학패키지, 즉, 렌즈모듈 및 카메라 디바이스의 제작 공정에 있어 상술한 종래 기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로, 렌즈 성형 시 글라스 기판을 사용하는 종래의 방법 대신 스탑, 스페이서, 비네팅구조물 등 관통홀 어레이를 갖는 불투명 경통구조물 상에 광학 수지를 정량 주입한 후 렌즈를 복제 성형하는 것을 특징으로 한다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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일반기술
기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
빔 방출영역이 큰 가스이온소스를 사용하고, 이온원 하부에 형상을 가진 개구를 두고 집속된 빔 형상에 따라 임의의 형상을 한 번에 가공하여 기존의 집속 이온빔 장비보다 높은 가공속도로 미세 가공을 할 수 있는 장비를 제공하며, 또한 스테이지와 빔 형상을 연동하여 기존 방법보다 높은 효율로 특정형상을 가공하는 방법을 제공한다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
본 기술은, 기판 상에 보호층을 형성하는 보호층 형성단계; 상기 보호층 상에 레지스트층을 형성하는 레지스트층 형성단계; 상기 레지스트층을 패터닝하는 레지스트층 패터닝단계; 및 상기 보호층의 노출 부위를 식각하는 보호층 식각단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법을 제공한다. 바람직하게는, 상기 보호층 형성단계는, 제작하고자 하는 패턴드 미디어의 패턴 깊이에 대응되는 두께로 상기 보호층을 형성한다. 바람직하게는, 상기 보호층 식각단계는, 상기 보호층을 상기 기판까지의 깊이로 식각한다. 바람직하게는, 상기 보호층과 상기 레지스트층 사이에 마스크층을 형성하는 마스크층 형성단계와, 상기 마스크층의 노출 부위를 식각하는 마스크층 식각단계를 추가적으로 포함한다. 또한, 본 기술은, 상기 패턴드 미디어 제작용 스탬프 제작방법에 의하여 스탬프를 제작하는 스탬프 제작단계; 상기 스탬프의 패턴을 패턴층에 복제하는 복제단계; 및 상기 패턴이 복제된 패턴층 상에 마그네틱층을 형성하는 마그네틱층 형성단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 패턴드 미디어 제작방법을 제공한다. 여기서, 상기 복제단계는, 광경화 임프린팅, 열경화 임프린팅, 사출성형, 압축성형, 또는 핫엠보싱을 수행할 수 있다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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기계 > 기타 극한·첨단 복합기계기술
본 기술은, 기존의 반사 방지막을 대신하여, 기능성 나노 패턴을 구비하는 렌즈와 이의 제작 방법에 관한 것이다. 특히 본 기술에서는, 나노 임프린팅 공정을 도입하여 저가 양산을 위한 공정을 제시하고 있다.
- 보유기관
- 연세대학교
- 등록일
- 2008-12-29
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