초미립 비금속분체의 제조기술
내용 무내용 무
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2003-09-17
산업기술 통합검색
기술검색
적용된 검색조건
- 기술분류 재료 > 기타 재료 공정기술
검색 결과 143건
1 / 8 페이지특허권(차량용 숙면 베개 일명 목받침 베개)
특허품 내용(차량용 숙면베개) : 일반적으로 기차나 버스등 차량을 이용하여 장거리를 여행할 때 승객은 의자에서 휴식과 수면을 취하게 마련인데, 현재의 차량의자에서 휴식과 수면을 취하기에는 무척 불편하고 진동이나 흔들림으로 인해 머리와 목의 힘이 풀려 갑작스레 고개를 떨구는 현상으로 깜짝 놀라 깨는 경우가 많습니다. 따라서 차량 여행중 수면은 숙면이 되지 못하고 오히려 피곤함을 더하곤 하여 아예 잠을 못이루는 사람까지 있을 정도인데 이 점에착안하여 발명한 특허품입니다.현대인에게 있어 자동차는 대중의 필수품인 만큼 교통수단을 이용해 장거리 이동을 하는 사람들 또한 많아 대중의 큰 관심을 얻을 것으로 추측되고,국내 고속버스,관광버스등 민간 버스 사업체에의 보급, 넓게는 교통수단 이용 시간이 긴유럽권이나 미주쪽등에도 확산 가능성등 본 발명품의 시장성은 무한할 것으로 생각됩니다.특히, 2001년 6월 본 특허품이 메스컴에 보도되어 국내 경찰청에서, 차내에서 휴식. 수면등 장시간 대기하는 전국 전의경들에게 제작.보급토록 회의 결정하고, 추후 경찰 장비로 활용토록 계획한바 있음.
- 등록일
- 2003-11-07
발포경량콘크리트(cell-con)계량공법및제조방법
현제까지 개발된 시멘트및 콘크리트의 발포공법이나 2차성형품의물성이(발포체의기능성)사용목적에 그다지 충족지못함은 물론 그나마 외국 기술에 의존 해 있음을 부인할수없는실정이다 .본 기술은 이를 완벽지는않치만 국내외 최초의 기술 공법(개량)으로개발 되었다 개발의 중점을 경제성 페자원의 재활용 에너지절감 시설 투자의최소화 하여 사용목적에따라 적합한 발포체를 얻을수있고생산 라인에서 몰드 제작 전반에관한 발포경량 콘크리트(cell-con)계량공법및 2차성형품 제조방법 임이공법은 시멘트혼합물에 고분자화합물을조합 어려운 중합과정을 거처 화학적 반응에의한 발포공법으로 이에 성형된 발포체는 발포체의 기능성(경량. 단열. 내진성. 내화학성. 흡음 .착색시황변성.부피를1.5mm까지 도 성형 가능하며 발포체의 어려운 강도가 탁월하며 사용 목적에따라 밀도를조정 고.중 저 밀도로 조정가능하여양생시설에따른 에너지절약 .페자원(석제슬러리.풀라이애쉬 기타)의 재활용이 용이함으로 경제적이며 생산라인 생산공정축소로인한 시설투자및 인권비절감 몰드성형에서 지금까지 볼수없었던 타일의경우 자동 탈형이 가능 토록 했으며 재료 배합에서 재품성형 및 기계적 탈형이 가능한 기술임
- 등록일
- 2004-02-17
기능성모자
본 고안의 본 고안의 기능성 모자에 있어서, 본 고안은 외부 층으로서 외부의 수분을 원천적으로 차단하는 방수 원단으로 이루어지는 방수부재(10); 및 내부 층으로서 모발의 수분을 흡습기능을 가지며 동시에 배출된 수분의 역 유입을 차단할 수 있는 일 방향 초고속 흡습속건성 섬유로 이루어지는 흡습부재(20)를 각각 모발 부를 수용할 수 있는 크기로 성형 및 재봉하여 상기 방수부재(10)내부로 흡습부재(20)를 수용되게 겹친 2중 구조를 갖게 형성한다. 또한 상기 방수부재(10) 및 흡습부재(20)의 테두리에 재봉되어 연결되되 외측에 인출홀(50)이 형성되어 머리둘레를 고정하기 위한 띠부재(40); 및 상기 띠부재의 내부 및 외부에 구비된 고정부재(70); 및 상기 흡습부재(20)가 모발 부와 밀착되어 모발의 수분을 흡습하기가 용이하도록 방수부재(10)의 외측 면에 중앙에서 아래 방향으로 역 브이(∧)자 형태가 되도록 지퍼를 재봉하여 장착된 당김부재(80)를 포함하여 구성된 기능성모자(100)가 제공된다.상기 고안의 기술에 의하면 착용자가 수영 또는 샤워 중에 모자를 착용함으로써, 수영 또는 샤워 중에 외부로부터 유입되는 수분이 방수부재(10)에 의하여 모발 부로의 유입이 차단되며, 특히 착용자가 젖은 모발을 수건 등으로 닦지 않고 모자를 착용하였다면, 본 명세서에서 설명된 일 방향 초고속 흡습속건성 섬유(20)의 탁월한 기능성에 의해 모발의 수분이 빠르게 방수부재(10)와 흡습부재(20) 사이의 공간부(30) 및 띠부재의 배출구(41) 등을 통해서 외부로 빠져나간다. 또한, 방수부재(10)와 흡습부재(20) 사이의 공간부(30)로 빠져나간 수분은 저밀도 이면소수성층(20a)의 척력에 의해 모발 부로 수분의 역 유입이 차단됨으로 수영 또는 샤워완료까지 모발이 건조 또는 거의 건조된 상태를 유지하여 모발을 보호할 수 있는 기능을 갖는 것을 요지로 한 기능성 모자이다. " 본 고안에서 ' 일 방향 초고속 흡습속건성 섬유 ' 란 대한민국 실용신안 공개번호 제 2002-0028051호의 " 일 방향 초고속 흡습속건성 소재의 제조방법 "으로 공지된 섬유로서, 저밀도 이면소수성층과 고밀도 이형단면사층으로 구성된 섬유이다. 보다 상세하게는 내부 소재와 외부 소재의 전이 차이를 이용한 것으로, 특수 개질 된 폴이올레핀과 폴리에스터 소재의 원사를 특수한2중 구조로 직조하고, 제로존(Zero-zone)이라는 기술로 처리해 만들어진 것으로 ' 드라이존(Dry-Zone) '이라는 브랜드로 대한민국 서울시 송파구 잠실동 195-3 번지 금석빌딩 5층 소재, 벤텍스 사에서 개발되어 ‘1초만에 마르는 ’신개념의 기능성 소재로 알려진 섬유를 일컫는다. "상기 섬유는, 수분배출능력이 쿨맥스의 100배--- 이 지구상에서 가장 빠르게 마르는 섬유이며, 초극세사 섬유를 소재로 한 "물기흡수 모자"와 비교가 되지 않을 만큼 월등한 소재 및 기능으로 기능성모자로 당 분야의 시장에 급속하게 접근하기가 쉬울 것이다.또한 본 고안에 사용되는 섬유는 옵션으로;원적외선이 방사, 향기, 나노 은, 카멜레온 색상, 자외선차단 기능 등이 있다.
- 등록일
- 2004-03-02
콜로이드 실리카의 제조방법
실리콘 웨이퍼 연마용 슬러리를 포함하는 콜로이드 실리카를 사용하는 모든 산업분야에 필요한 요구조건을 충족시킬 수 있는 고순도, 고농도의 균일한 입자분포를 나타내는 콜로이드 실리카를 제조하는 방법이다. 실리카 졸의 농축방법은 고온 고압 또는 고온 저압 조건에서 물을 증발시키는 증류장치를 이용하거나, 4-8%의 실리카 졸의 미세공막을 이용한 농축방법은 매우 작은 실리카졸을 사용하며 입자의 일정한 분포를 제시하지 못한다. 또한 평균입자크기 2-100nm의 200ppm 이하의 나트륨을 가진 실리카 졸 생산법은 알카놀아민을 실릴산에 heel로서 사용하는데 그 일부분을 첨가하고 콜로이드 실리카 농도를 유지하며 졸을 한외여과법을 이용 농축한다. 그러나 나트륨이온농도가 비교적 높고 초기 힐을 가열시 온도 변화에 따른 입자크기 제어에 대한 제시가 없다. 따라서 각 산업의 요구에 따라 입자크기를 제어할 수 있는 고순도 및 고농도의 콜로이드 실리카를 제조하는 방법이 요구되고 있다. 본 기술은 알칼리금속 규산용액을 초순수로 희석하여 희석 알칼리금속 규산용액을 제조, 알칼리금속 규산용액을 무기산과 반응시켜 콜로이드 실리카용액을 제조, 콜로이드 실리카용액을 강산성 양이온교환수지에 통과시켜 용액내의 알칼리염을 제조, 산성 콜로이드실리카용액을 열처리, 열처리된 콜로이드실리카에 알칼리금속 규산용액을 첨가하고 온도를 상승시킨 후 일정시간 유지시켜 콜로이드 실리카의 농도를 상승시키고 입자를 1차 성장시키고, 콜로이드실리카용액을 냉각시킨 다음 양이온교환수지를 통과시키고 온도를 상승시킨 후 일정기간 유지시켜 콜로이드실리카 입자를 2차 성장시키고, 입자 성장된 콜로이드 실리카용액을 농축시키는 단계들을 통해 콜로이드 실리카를 제조할 수 있다. 즉 강산성 양이온수지 및 혼상수지를 이용하여 콜로이드 실리카를 제조함으로써 콜로이드 입자를 제어할 수 있고 따라서 고순도 및 고농도의 콜로이드 실리카를 제조한다.출발물질인 알칼리금속 규산용액을 무기산과 산화반응시켜 실리카이온을 콜로이드 상태로 만들고, 강산성 양이온교환수지에 통과시켜 용액 내 알칼리염을 제거하고 얻은 산성 콜로이드 실리카를 열처리한 다음 1차 및 2차 입자 성장단계를 통해 실리카의 농도를 증가시키고 가열시간을 조절하여 원하는 입자경을 제조한다. 따라서 콜로이드 실리카의 평균 입자경을 5-150nm로 자유로이 조절하면서 실리카 농도 40%까지의 콜로이드 실리카를 제조할 수 있다. 이렇게 농축된 콜로이드 실리카를 양이온교환수지 및 음이온교환수지의 2단계 혼상 수지 탑을 통과시켜 정제함으로써 기초물질, 이온교환수지 및 막에서 용출되어 용존되어 있는 이온을 완벽하게 제거하여 실리콘 웨이퍼 연마 공정에 이용할 수 있는 실리카를 제조할 수 있고, 정제된 콜로이드 실리카에 아민류 및 콜로이드 실리카의 반대전하를 가지는 이온을 첨가시켜 콜로이드 실리카를 안정화시킨다.본 제조방법은 콜로이드 실리카의 입자크기를 제어할 수 있으며 균일한 입자크기 분포를 가지는 고농도 및 고순도의 콜로이드 실리카를 제조한다. 이 방법에 의해 제조되는 콜로이드 실리카는 무기 불순이온이 적고 균일한 입자크기 분포를 나타내므로 실리콘 웨이퍼 연마용 슬러리의 제조 시 가장 적합하다.실리콘 웨이퍼는 집적회로가 조립되어 있는 얇은 실리콘 원판으로, 조립 후에 검사가 끝나면 웨이퍼는 개별 칩으로 잘려져서 완성된 집적회로로 사용된다. 본 콜로이드 실리카는 화학적 연삭 작용 및 물리적 연마작용을 원활히 하므로 실리콘 웨이퍼의 연삭 등 반도체장비 등의 특수산업에서 사용되어 시장 확대가 예상된다.
- 보유기관
- 인하대학교
- 등록일
- 2004-03-26
지르콘산납 나노분체의 제조방법
지르콘산납(lead zirconate, PbZrO3)은 반강유전체로 확인된 최초의 화합물로서, 유전율의 비정상 거동이 발생하는 상유전상으로의 상전이 온도가 약 230℃이다. 또한, 상기 지르콘산납은 납이온이 사방정 a축을 따라 있는 입방체면의 대각선을 따라 입방정위치에서 반대 방향으로 0.26Å만큼 변위되어 있고 지르코늄이온 또한 같은 방식으로 0.04Å 변위되어 있는 ABO3형 페로브스카이트 결정구조로서 극미세 전자기계 디바이스, 전계방출 소자, 초전 센서, 초음파 발생 모터 등에 사용되고 있다. 종래의 지르콘산납 제조방법은 고상반응법, 용융염석출법, 공침법 및 졸겔법이 주로 이용되고 있다. 고상반응법은 평형상태도적으로 엄격한 소성조건과 미세한 입자의 특성을 잃게하는 고온소성이 요구된다. 용융염석출법은 지르콘산납의 구성원소의 산화물과 용융온도를 낮추기 위해 융제를 혼합, 다단계의 열처리 공정을 거친 후 최종온도에서 완전히 용해시킨 다음 냉각시 분말을 제조하나, 이 방법은 매트릭스 성분이 합성물의 조성에 혼입되기 쉬운 단점이 있다. 공침법은 공업적으로 광범위하게 이용되는 방법으로, 납염 및 지르코늄염으로 이루어진 용액에 과산화수소와 암모니아를 첨가하여 적하시킨 후 열처리하는 것으로 이루어진다. 이 방법은 금속염이 포함된 용액에 외부에서 직접 침전제를 가하기 때문에 용액의 농도가 순간적, 국부적으로 변화하게 되어 생성 침전물의 균질성이 떨어지게 된다. 또한, 금속 알콕사이드의 가수분해와 비정질 사이트레이트 겔을 이용한 졸겔법은 매우 미세하고 활성이 좋은 불순물이 없는 지르콘산납 분말을 제조할 수 있으나 제조원가가 높고 낮은 수율 때문에 문제가 된다. 이를 극복하기 위한 요소를 이용한 균일 침전법이 제안되었으나, 이는 카보네이트를 형성하는 단점이 있다. 이에 카보네이트 형성을 억제하고 보다 낮은 결정화 온도를 갖는 지르콘산납 나노분체를 요소를 이용하여 균일침전법으로 제조하였다.본 기술은 납(II)염, 지르코늄(IV)염 및 산화제의 수용액을 가열 교반하는 단계, 상기 가열 교반 중에 요소를 첨가시켜 침전물을 얻는 단계, 상기 침전물을 냉각, 필터링 및 세척을 순차적으로 수행하여 지르콘산납 전구체를 얻는 단계, 상기 지르콘산납 전구체를 하소시켜 지르콘산납 나노분체를 얻는 단계를 구성되는 것이 특징이다. 즉, 요소를 이용한 균일 침전법에 의한 지르콘산납의 제조에 산화제를 첨가하므로 산화제의 작용에 의해 카보네이트 형성을 억제하며 결정화 온도가 크게 감소한다.제조중 카보네이트 생성을 억제하고, 결정화온도를 낮출 수 있으며, 낮은 pH에서도 제조가 가능하여 침전제의 선택폭이 넓어진다. 또한, 낮은 하소온도에서 구형의 결정질 및 우수한 결정성을 가지며, 균일한 입도분포 및 높은 비표면적은 물론 높은 소결력을 갖는 지르콘산납 나노분체를 제조할 수 있다.
- 보유기관
- 인하대학교
- 등록일
- 2004-03-26
BCl3 프라즈마 가스를 근간으로 하는 광소자용 산화 아연 반도체의 이등방성 건식식각 방법
본 발명은 BCl₃을 포함하는 기체를 플라즈마 상태로 만들어 산화아연 반도체를 반응성 이온 식각하는 것을 특징으로 한다.이 때, BCl₃을 사용하는 이유는 산화 아연 반도체내의 산소성분과 아연 성분이 BCl₃플라즈마내의 BCl라디칼과 CI 라디칼과 결합하여 휘발성이 큰 유기금속 기체의 형태로 제거 되도록 함으로써 반응성 이온식각의 효율을 증대시키기 위함이다.본 발명의 BCl₃을 포함하는 기체를 플라즈마를 이용하여 산화 아연 반도체를 건식식각할 경우 빠른 식각 속도를 구현할 수 있을 뿐만 아니라 우수한 이방성을 얻을 수 있어, 산화 아연 반도체를 이용하여 광전소자 및 통신 소자 제작시 우수한 건식식각 공정을 제공할 수 있을 것으로 기대된다.본 발명에 의한 식각공정을 이용하여 광소자 식각에 필수 요소인 빠른 식각률, 높은 이등방성, 깨끗한 side wall을 구현할 수 있어 Zn0를 기초로 하는 광전소자의 구현을 앞당길 수 있다.본 발명은 BCl₃을 포함하는 기체를 플라즈마 상태로 만들어 산화아연 반도체를 반응성 이온 식각하는 것을 특징으로 한다.이 때, BCl₃을 사용하는 이유는 산화 아연 반도체내의 산소성분과 아연 성분이 BCl₃플라즈마내의 BCl라디칼과 CI 라디칼과 결합하여 휘발성이 큰 유기금속 기체의 형태로 제거 되도록 함으로써 반응성 이온식각의 효율을 증대시키기 위함이다.본 발명의 BCl₃을 포함하는 기체를 플라즈마를 이용하여 산화 아연 반도체를 건식식각할 경우 빠른 식각 속도를 구현할 수 있을 뿐만 아니라 우수한 이방성을 얻을 수 있어, 산화 아연 반도체를 이용하여 광전소자 및 통신 소자 제작시 우수한 건식식각 공정을 제공할 수 있을 것으로 기대된다.
- 보유기관
- 호남제주공공기술이전컨소시엄
- 등록일
- 2004-04-27
발광다이오드 및 레이저 다이오드 구현을 위한 오믹접촉 금속 박막의 제조방법
본 발명은 질화갈륨 화합물 반도체를 이용한 발광다이오드와 레이저다이오드의 구현에 있어서 선결 기술의 하나인 n형 질화갈륨 반도체의 오믹접촉형성에 관한 금속박막의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에서는 전도성 질화물을 형성할 수 있는 바나듐을 질화갈륨위에 접촉금속으로 하고, 티타늄(Ti)을 중간층으로, 산화에 안정한 금(Au)을 캡핑(caping)층으로 하는 바나듐(V)/티타늄(Ti)/금(Au)으로 구성된 3층 금속 박막, 또는 Ti/V/Au 박막을 증착하여 발광다이오드 및 레이저다이오드용 금속박막의 우수한 열적, 전기적, 구조적 특성을 갖는 오믹접촉 금속계을 구현하였다.본 발명은 질화갈륨 화합물 반도체를 이용한 발광다이오드와 레이저다이오드의 구현에 있어서 선결 기술의 하나인 n형 질화갈륨 반도체의 오믹접촉형성에 관한 금속박막의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 의한 오믹접촉 형성은 p형 질화갈륨(DaN) 반도체를 이용한 발광다이오드 및 레이저다이오드의 상업화를 위한 핵심 기술들 중의 하나인 오믹전극공정 기술을 제공함으로써 낮은 비접촉 저항과 우수한 전류-전압 특성과 같은 매우 우수한 전지적 특성으로 인한 전기적 손실의 감소로 광학적 효과도 매우 우수할 것으로 기대되기 때문에, 발광다이오드 및 레이저다이오드의 개발에 이용될 수 있다.
- 보유기관
- 호남제주공공기술이전컨소시엄
- 등록일
- 2004-04-27
CMP용 슬러리 및 그의 제조방법
본 발명은 다층 금속 배선 또는 게이트 구조를 갖는 반도체 소자의 제조 공정 중에서 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing ; 이하 ‘CMP’라 약칭함)공정에 사용되는 슬러리 및 그 제조방법에 관한 것이다. 특히, 차세대 0.05㎛ 이하의 디자인 룰을 가지는 초고집적 반도체 제조 공정에 필수적으로 적용되는 다마신 게이트(damascene gate) 공정을 위한 CMP 공정에 사용되는 슬러리 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 고려하여, 종래 기술에 속하는 공지된 여러 분산장비 및 분산기술을 적정하게 운용하여 0.25㎛ 이하의 초고집적 반도체 제조공정 중 다마신 게이트 공정을 위한 CMP 공정에 필수적인, 산화막에 비해 질화막의 연마율이 높은 고성능 슬러리 및 그의 구체적인 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.산화막과 질화막에 대한 역선택비 특성이 나며 공정에서 요구되는 금속층의 보호에 탁월한 성능을 가짐【발명이 이루고자 하는 기술적 과제】 본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 종래의 문제점을 고려하여, 종래 기술에 속하는 공지된 여러 분산장비 및 분산기술을 적정하게 운용하여 0.25㎛ 이하의 초고집적 반도체 제조공정 중 다마신 게이트 공정을 위한 CMP 공정에 필수적인, 산화막에 비해 질화막의 연마율이 높은 고성능 슬러리 및 그의 구체적인 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 다른 목적은 종래의 공정을 통한 금속 게이트를 형성 시 발생하는 금속층의 손상 문제를 해결할 수 있는 새로운 개념의 다마신 게이트 공정용 CMP용 슬러리 및 그의 제조법을 제공하는 것이다.
- 보유기관
- 한양대학교
- 등록일
- 2004-04-27
레이저 빔을 이용한 접촉각 측정장치
본 발명은 접촉각 (contact angle) 측정장치에 관한 것으로, 접촉각을 객관적이고 신속, 정확하게 측정할 수 있는 접촉각 측정장치 및 이에 제공되는 레이저 빔 세화 장치를 제공하는 것이 목적이다. 레이저 광원, 레이저 빔 세화장치, 시료대 및 투영판으로 이루어지는 것으로, 레이저 광원의 레이저 빔을 세화장치로 세화시켜 고체-액체-기체가 만나는 점에 조사하여 투영판에 투영되는 두 개의 직선이 이루는 각을 접촉각으로 측정한다. 확대기구가 필요하지 않으므로 저렴하고, 실험자의 주관적인 요소가 배제되어 보대 재현성 있고 정확한 접촉각의 측정이 가능하며, 미소한 시료에도 적용할 수 있는 접촉각 측정기가 제공된다. 본 발명은 기존의 접촉각 측정장치와 달리 별도의 확대기구 없이 접촉각측정이 가능하며, 레이저 빔을 시료에 형성된 액적에 직접 조사하여 접촉각을 측정하기 때문에 보다 쉽고 빠르며 정확한 접촉각 측정이 가능하다.【발명이 이루고자 하는 기술적 과제】본 발명의 목적은 접촉각을 객관적이고 신속, 정확하게 측정할 수 있는 접촉각 측정장치 및 이에 제공되는 레이저 빔 세화 장치를 제공하는 것이다.본 발명의 어떤 점이 새로운가(신규성)본 발명은 기존의 상업화된 접촉각 측정방식인 확대 광학기구를 이용한 방법 및 이미지 분석을 통한 방법과는 달리 레이저 빔의 직진성 반사원리를 이용하여 고체 표면위에 고착된 액적에 조사함으로써 접촉각을 측정하는 새로운 접촉각 측정 장치를 제공한다.
- 보유기관
- 한양대학교
- 등록일
- 2004-05-03
리튬 배터리에 사용되는 물질의 기계 화학적 획득[fc292]
기계 화학적 활성화는 disordered 구조의 미세 물질 획득을 위한 효과적이며, 에너지 효율적이고 친 환경적인 method이다. 동 method는 initial 시약이 활성화하는 동안의 직접적인 합성이나, 또는 200℃∼600℃에서 이차적인 가열 냉각의 온도를 감소시키는 것이 가능하게 한다. 기계 화학적으로 획득된 LiMn2O4 침정석은 세라믹 기법에 의해 합성된 침정석과 대조하여 그 수용력은 변화되지 않는다. 리튬 축전지에 사용되는 양극 물질의 획득을 위한 특수 기계 화학적 활성화 methods는 개발되었다. 획득 물질의 2가지 타입 - 1. disordered 구조의 미세 물질은 높은 수용력과 방전 비율, 사이클링 동안의 안전성을 갖는다. 동 물질은 일반적인 세라믹 기법에 의해 합성되지 않는다. 2. 세라믹 기법에 의해 합성된 물질과 같은 특징을 갖는 물질이며, 가격이 좀더 낮다.기계 화학적 method는 세라믹 기법에 의해서는 정교화되지않는 개선된 특성을 갖는 미세 물질을 합성하는 것이 가능하게 한다. 동 method는 매우 간단하여, 환경적으로 적합하며, 에너지 효율 또한 좋다. 그리고, 생산 시간과 제품의 원가를 감소시킨다. 동 method는 initial 시약이 활성화하는 동안의 직접적인 합성이나, 또는 200℃∼600℃에서 이차적인 가열 냉각의 온도를 감소시키는 것이 가능하게 한다. 전기 화학적 특징은 세라믹 물질의 것과 유사하다. 그러나 세라믹 물질에 비해 합성시간은 12시간에서 6시간까지 단축되며, 동력 소비량은 20-30배 감소된다.
- 보유기관
- 티알씨코리아
- 등록일
- 2004-05-17
CMP용 세리아 연마제 및 그 제조 방법
본 발명은 세리아 슬러리와 폴리머타입과 모노머타입을 혼합 합성하여 2가지 이상의 관능기를 가지는 화학적 첨가제를 포함하는 CMP용 연마제에 관한 것이고, 또한 본 발명은 세리아 슬러리를 준비하는 단계, 폴리머타입 물질과 모노머타입 물질을 반응기에서 혼합하고 합성하여 2가지 이상의 관능기를 가지는 합성물로서 화학적 첨가제를 제조하는 단계, 및 상기 슬러리와 상기 화학적 첨가제를 혼합하는 단계를 포함하는 CMP용 연마제의 제조 방법에 관한 것이다. 이로써, 본 발명의 연마제를 STI CMP용 연마제로서 사용할 경우, 초고집적 반도체 공정에서 요구되는 다양한 패턴에 대한 적용이 가능하고, 또한, 본 발명에 의한 CMP용 연마제는 연마율(Removal rate), 연마 선택비, 및 면내 불균일성(WIWNU)이 우수하며, 마이크로-스크래취를 최소화하는 효과가 있다.다양한 디자인룰에 적용이 가능하고 산화막과 질화막에 대한 연마율비가 크며 디싱 및 잔류 입자제어에 탁월한 성능을 가짐【발명이 이루고자 하는 기술적 과제】본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 고려하여, 종래 기술에 속하는 공지된 여러 분산장비 및 분산기술을 적정하게 운용하여 0.25㎛ 이하의 초고집적 반도체 제조공정 중 STI 공정을 위한 화학적 기계적 연마공정에 필수적인 고성능 나노 세리아 슬러리의 구체적인 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한, 본 발명은 상기에서 제조된 슬러리에 화학적 첨가제를 혼합하여 고선택비의 연마특성을 가져 다양한 패턴에 적용이 가능하고, 최근까지도 규격이 명확하게 설정되어있지 않으면서 CMP 공정후 반도체 제조공정에 가장 치명적인 마이크로-스크래취를 억제하기 위한 CMP용 연마제 및 그의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
- 보유기관
- 한양대학교
- 등록일
- 2004-06-08
잔류 응력에 대한 기공성 완충층을 포함하는 플라즈마 내식성 부재
본 발명은 반도체 장치 등에서 사용되는 내플라즈마성 부재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 쿼츠 모재상에 졸겔법에 의해 형성된 플라즈마 내식성 코팅층을 포함하는 플라즈마 내식성 부재에 관한 것이다. 본 발명은 쿼츠 모재와, 상기 쿼츠 모재상에 형성되는 조밀한 제1층과, 상기 쿼츠 모재와 상기 제1층과의 사이에 개재되며 상기 제1층보다 높은 기공율을 갖는 완충층으로 구성된 코팅 구조를 포함하는 플라즈마 내식성 부재를 제공한다. 본 발명에 따르면 쿼츠 모재에 형성된 코팅층에 발생한 잔류 응력을 완화시킬 수 있다. 본 발명은 반도체 장치 등에서 사용되는 내플라즈마성 부재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 쿼츠 모재상에 졸겔법에 의해 형성된 플라즈마 내식성 코팅층을 포함하는 플라즈마 내식성 부재에 관한 것이다. 본 발명은 쿼츠 모재와, 상기 쿼츠 모재상에 형성되는 조밀한 제1층과, 상기 쿼츠 모재와 상기 제1층과의 사이에 개재되며 상기 제1층보다 높은 기공율을 갖는 완충층으로 구성된 코팅 구조를 포함하는 플라즈마 내식성 부재를 제공한다. 본 발명에 따르면 쿼츠 모재에 형성된 코팅층에 발생한 잔류 응력을 완화시킬 수 있다.
- 보유기관
- 한국세라믹기술원
- 등록일
- 2004-06-15
수용해성 유리를 이용한 3차원 연결 다공체의 제조 방법
본 발명은 수용해성 유리를 이용한 3차원 연결 다공체의 제조방법에 관한 것으로서, 본 방법은 수용해서 유리를 소정의 형상의 단편들로 성형하고 이들을 결합하여 3차원적으로 연결된 구조물을 만들고, 상기 구조물의 공극에 매트릭스 재료를 충전하여 경화시킨 후 유리를 제거하는 것에 의해 매트릭스 재료로 이루어진 3차원 연결기공을 갖는 다공질 성형체를 제조하는 것을 특징으로 하며, 이에 의하면 다공체 내의 기공 크기, 형상 및 기공율 등을 임의로 쉽게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 세라믹 다공체 외에 금속이나 수지 다공체를 용이하게 제조할 수 있다. 본 발명은 수용해성 유리를 이용한 3차원 연결 다공체의 제조방법에 관한 것으로서, 본 방법은 수용해서 유리를 소정의 형상의 단편들로 성형하고 이들을 결합하여 3차원적으로 연결된 구조물을 만들고, 상기 구조물의 공극에 매트릭스 재료를 충전하여 경화시킨 후 유리를 제거하는 것에 의해 매트릭스 재료로 이루어진 3차원 연결기공을 갖는 다공질 성형체를 제조하는 것을 특징으로 하며, 이에 의하면 다공체 내의 기공 크기, 형상 및 기공율 등을 임의로 쉽게 조절할 수 있을 뿐만 아니라 세라믹 다공체 외에 금속이나 수지 다공체를 용이하게 제조할 수 있다.
- 보유기관
- 한국세라믹기술원
- 등록일
- 2004-06-15
초정밀 광학렌즈 제조기술
디지털카메라, 디지털 캠코더, 휴대폰 카메라 등에 사용되는 구면/비구면 초정밀 광학렌즈 제조기술
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 등록일
- 2004-06-16
암벽등반 연습을 위한 구조물
현재 국내 인공암벽시장은 세계의 흐름을 외면하고 형식적인 생활 체육일뿐 현 모습은 전혀그렇지않다고 본다. 국내에 설치되고있는 구조물은 10m 이상으로 전문가를 위한겄일뿐 일반인이 접근 하기에는 현실적으로 매우 불가능하다. 호기심을 가지고 접근하고자하나 시간과 장소의 제약으로 현시점에서는 매우 불가능 하다할수있다.학교 , 놀이터, 공공건물 장소에 널리 보급하여 남여노소 누구나 자유롭게 사용 하고자 하는데 있다. 날로 저하되는 청소년들의 체력저하도 호기심 및 흥미를 유발 할수있 는 제품으로 충분 하다고 볼수있어 개발하게되었음.본제품은 조립식으로 되어있으며 실내외 어느곳에서나 사용 가능하며 재질은 알루미늄 합금을 사용 반영구적으로 사용가능 함 암벽등반 구조물이며 체육시설 및 놀이기구물로 사용 가능 하도록 설계되어 있음 . 본체 무게는 약 270kg 이며 재원은 가로 3m 세로 2m 높이 2m( 연장가능) 두께 24mm 알루미늄 프로파일사용 무게는 최소화 견고성은 최대화 하였음 . 홀드는 120~150ea 사용되며 3개월 수련생의 경우 손 홀드 사용수는 대략 30~40 ea정도임. 암벽등반은 전신운동이며 5분 운동시 1km 조깅효과를 볼수있을 정도로 매우높은 운동효과를 볼수있음
- 보유기관
- 경기기술이전센터
- 등록일
- 2004-11-25
패키지활용레저안경테
하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있는 안경테으로써 하나의 안경테로 두 가지 기능을 수행함으써 실용적으로 활용하고자 하는데큰 개요를 삼는다 하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있는 안경테으로써 하나의 안경테로 두 가지 기능을 수행함으써 실용적으로 활용하고자 하는데큰 개요를 삼는다 하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있는 안경테으로써 하나의 안경테로 두 가지 기능을 수행함으써 실용적으로 활용하고자 하는데큰 개요를 삼는다 하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있는 안경테으로써 하나의 안경테로 두 가지 기능을 수행함으써 실용적으로 활용하고자 하는데큰 개요를 삼는다하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있도록 하는 즉, 패키지를 활용하여 수영을 할때는 물안경으로, 또는 디양한 레저용 썬그라스으로 사용할수 있도록 고안으로써 실용신안등록을 획득하였읍니다 성원 부탁드립니다. 핸드폰: 010-2245-2855 전화: 032-821-7002 e-mail: _3884tyh@hanmail.net tyh3884@netian.com 하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있도록 하는 즉, 패키지를 활용하여 수영을 할때는 물안경으로, 또는 디양한 레저용 썬그라스으로 사용할수 있도록 고안으로써 실용신안등록을 획득하였읍니다 성원 부탁드립니다. 핸드폰: 010-2245-2855 전화: 032-821-7002 e-mail: _3884tyh@hanmail.net tyh3884@netian.com 하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있도록 하는 즉, 패키지를 활용하여 수영을 할때는 물안경으로, 또는 디양한 레저용 썬그라스으로 사용할수 있도록 고안으로써 실용신안등록을 획득하였읍니다 성원 부탁드립니다. 핸드폰: 010-2245-2855 전화: 032-821-7002 e-mail: _3884tyh@hanmail.net tyh3884@netian.com 하나의 안경테으로 두가지 기능을 할수 있도록 하는 즉, 패키지를 활용하여 수영을 할때는 물안경으로, 또는 디양한 레저용 썬그라스으로 사용할수 있도록 고안으로써 실용신안등록을 획득하였읍니다 성원 부탁드립니다. 핸드폰: 010-2245-2855 전화: 032-821-7002 e-mail: _3884tyh@hanmail.net tyh3884@netian.com
- 보유기관
- 한얼
- 등록일
- 2005-01-27
수용성 사이클로덱스트린-풀로렌 복합체 및 그 제조방법
본 기술은 수불용성인 풀로렌과 수용성인 사이클로덱스트린의 복합체 및 수용성 사이클로덱스트린-풀로렌 복합체를 간편하게 제조할 수 있는 제조방법에 관한 것으로서, 용해 성분으로서 알파-사이클로덱스트린 또는 베타-사이클로덱스트린과 풀로렌을 2:1의 비율로 결합시켜서 이루어지는 수용성 사이클로덱스트린-풀로렌 복합체를 제공한다. 본 기술에 따르면 간단하고도 높은 수율로 수용성 사이클로덱스트린-풀로렌 복합체를 제조할 수 있으며, 그에 따라 합성의 용이성 및 수용성으로 인하여, 생물의학 분야에서 막대한 가능성을 갖는 새로운 풀로렌-사이클로덱스트린 복합체를 제공하는 효과가 있다.
- 보유기관
- 호남제주공공기술이전컨소시엄
- 등록일
- 2004-11-12
수용성 아자사이클로덱스트린풀러렌과 그 제조방법
본 기술은 수용성 아자사이클로덱스트린풀러렌과 그 제조방법에 관한 것으로서, 질소 원자를 경유한 아지도사이클로덱스트린을 이용하여 풀러렌(fullerene)과의 반응성을 개선시켜 아자사이클로덱스트린풀러렌을 제조함으로써, 종래에 사이클로덱스트린아민을 이용한 경우보다 효율적으로 수용성 풀러렌-사이클로덱스트린 유도체를 합성할 수 있는 수용성 아자사이클로덱스트린풀러렌과 그 제조방법에 관한 것이다."본 기술은 사이클로덱스트린 또는 그 유도체와 풀러렌을 컨쥬게이트시켜 얻은 아자사이클로덱스트린풀러렌을 그 특징으로 한다. 사이클로덱스트린 또는 그 유도체는 알파, 베타 또는 감마타입 중에서 선택된 것을 사용할 수 있다. 또한, 본 기술은 사이클로덱스트린 또는 그 유도체와 풀러렌을 사용하여 간단한 과정을 통해 고수율의 수용성 아자사이클로덱스트린풀러렌을 제조하는 방법을 포함한다. 본 기술은 사이클로덱스트린 또는 그 유도체를 토실레이션시키는 1 단계,1 단계에서 제조된 사이클로덱스트린 토실레이트를 NaN3와 반응시키는 2 단계, 2 단계에서 제조된 아지도사이클로덱스트린을 풀러렌과 반응시키는 3 단계로 이루어지는 아자사이클로덱스트린풀러렌의 제조방법을 또 다른 특징으로 한다."
- 보유기관
- 호남제주공공기술이전컨소시엄
- 등록일
- 2004-11-12
코스퍼터링법을 이용한 침입탐지 방법 및 기록매체
본 기술은 음이온 교환기로서 피리디늄 또는 그 유도체가 도입된 음이온 교환막과 그 제조방법 및 음이온 교환막을 포함하는 장치에 관한 것으로서, 지방족 사슬형 단량체, 가교제 및 유연성 강화제가 포함된 중합용 용액에 보강재를 침적하고 소정의 온도에서 공중합시킨 후 피리디늄 또는 그 유도체를 도입하는 제조공정을 수행함으로써 종래 상용막과 대등한 전기화학적 물성 및 기계적 물성을 갖도록 하였다.기저막의 주쇄가 지방족 사슬형으로 이뤄지고, 음이온 교환기가 피리디늄 또는 그 유도체인 음이온 교환막을 그 특징으로 한다. 안정된 지방족 사슬을 기저로 하는 막에 음이온 교환기로서 피리디늄 또는 그 유도체를 도입함으로써 종래 상용막의 단점이었던 한계전류밀도 이상에서의 물분해 현상을 크게 감소시키고, 또한 종래 피리디늄막이 화학적 구조가 불안정하여 내화학성이 저하되는 문제점을 개선하였다.
- 보유기관
- 호남제주공공기술이전컨소시엄
- 등록일
- 2004-11-12