일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
이 기술은 새로운 필터 설계에 있어서 플라즈마의 손실을 최소화하기 위해 기존의 자기 가이딩의 개발에 관한 것이다. 그 효과는 플라즈마 처리량 또는 전송 효율을 최대화 할 수 있다는 것이다. 자기 필터의 축은 트위스트 되어 있어 2차원 디바이스가 되는 것이다. 평면이 아닌 필터의 장점은 입자 투과의 가능성이 크게 감소하고 입자들이 실제로 플라즈마에서 제거된다. 필터의 길이를 길게 할 필요가 없고 플라즈마의 손실도 없이 필터링은 더 완전하게 이루어진다. 이러한 3차원의 모양과 2개의 다른 특별한 모양을 포함해서 이 새로운 트위스트 필터는 효과적으로 완전하게 예전의 10%에서 25%의 처리량에서 50%까지 플라즈마 처리량을 끌어올리면서 macroparticle들을 걸러낸다. 앞에서 말한 처리량은 필터로 들어가는 플라즈마 입자와 나오는 플라즈마 입자의 비로 계산을 한다. 효율을 정량화 하는 다른 방법은 시스템 계수를 사용하는 것인데, 이것은 걸러진 플라즈마로부터 방출되어 나오는 이온 전류와 플라즈마 생성 아크 전류에 대한 비로 나타내는 방법이다. 이 트위스트 필터를 사용하면 티타늄 플라즈마의 시스템 계수가 예전의 1-3%에 비교해서 7%정도 높은 수준에서 측정된다. 플라즈마빔을 분산시키고 4 인치 또는 그보다 더 큰 직경의 영역에 균일하게 분배하기 위하여 플라즈마의 자기 가이딩을 이용했다. 코일과 선의 조밀한 구조는 20cm 이하의 길이를 가지는데 이는 이전에 가능했던 것 보다 더 많은 플라즈마를 보유한다. 20cm 이하의 작은 길이는 현재 사용되는 증착 장치에 적합한 filtered cathodic arc system을 가능하게 한다. 이 필터와 균질기(homogenizer)는 밀도 있고 연속적인 결함 없는 필름을 제작하기 위한 다양한 a filtered cathodic arc system에 사용된다.- 플라즈마 손실을 최소화- 플라즈마 처리량을 최대화- 전송효율을 최대호- 입자 투과율을 감소- 플라즈마에서 입자 제거- 4인치 이상의 직경 공간에 균일하게 플라즈마 분배- 현재 사용되는 증착장치에 적합
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2002-07-04
상세보기
일반기술
전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
이 기술은 소형 펄스 증기 진공 아크 플라즈마 건(miniature pulsed vapor vacuum arc plasma guns)에 관한 것으로서 이전의 박막증착을 위한 장치와 기술에서 상당한 발전을 이룬 것이다. 이 기술은 진공 아크 플라즈마 소스의 특별한 설계형식이 소형화를 이루었고 펄스모드 작동 또한 가능하게 했다. 이런 형태는 이전의 기술 방법보다 많은 잇점이 있고 박막 합성을 가능하게 한다. 이 기술이전에는 증기 아크 이온 소스(vacuum arc plasma source)를 100ANG 이하의 범위에 두께를 가지는 박막을 제작하는데 사용할 수 없었지만 이 기술에서 사용할 수 있게 되었다. 이 장치는 증착 플럭스(deposition flux)를 섬세하게 제어할 수 있는 소형 소스이며 박막과 다층 레이어를 각각의 작은 면적 위에 형성할 수 있고 게다가 넓은 면적을 가지는 박막에 응용이 가능하다. 이러한 공정에 대한 완전한 컨트롤-즉 필름의 두께와 조합이 모노레이어 급(.mu.=-.ANG.)으로 제작될 수 있는-이 이 장치에 의해서 실현되었다. 이 기술은 아주 간단하고 저비용의 방법이다. 그리고 최소의 셋업 시간을 가지고 원료의 낭비 없이 많은 난해한 변수를 가지는 제작방법으로 만들어지는 샘플들도 쉽게 생산 할 수 있다.- 소형이다.- 유연한 것들도 함께 묶을수 있다.- 많은 금속에 사용될수 있다.- 플라즈마 플럭스의 정밀한 제어를 한다
- 보유기관
- 대일기업평가원
- 등록일
- 2002-07-04
상세보기
일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
방음벽 윗면에 표면이 일정한 임피던스의 값으로 반응하도록 음향-Headpiece 연구 및 제조방음벽의 높이와 두께를 변화시키지 않아도 되며 차음재나 기하학적인 변화를 통해 방음을 시도했던 지금까지의 방음벽들보다 투과손실이 개선榮
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-04
상세보기
일반기술
전기·전자 > 영상·음향기기
Feedback 과 Feedforward control 제어를 이용한 이중판넬의 저주파영역 진동감소와 판넬 사이의 공간안의 음장감소저주파영역까지 골고루 이중판넬을 통해 방음이 가능하며 특별한 부피나 무게의 증가없이 보이지 않는 곳에 설치해서 투과손실을 향상시킨다.
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-04
상세보기
일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
광굴절 크리스탈을 기반으로 한 홀로그래픽카메라로 소재의 결함을 검사하고 진동을 측정 ,이시스템은 분리된 레이져와광학 섬유에 의해 링크된 카메라 헤드로 구성기존 소재결함 검사방법에 비해 정밀
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
SLP(Servo Linear Positioner)는 짧은 스트로크를 가진 액츄에이터 유닛과 이와 연동하는 전자 제어유닛으로 구성된 위치제어 직선 드라이브, 기구부와 제어부의 일체화로 쉽게 사용가능고효율 직선 트러스트 모터와 위치센서를 집적시킨 제품
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
이기술은 특허 기술인 음향 동조 공기흐름 센싱기술을 사용한 혁신적인 기상측정 센서로 바람의 속도와 방향을 고정도로 측정가능하다. 이센서가 시그널프로세서에 집적될 경우 0.01 m/s 에서 125 m/s 의 풍속을 측정 가능하다.고정도 풍속, 풍향센싱 컴팩트, 비이송부품에 대한 솔리드 상태 설계 매우 낮은 힘을 요구 (100 mW typ)
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
소형 플래쉬검사시스템 (MFTS) 은 다양한 크기의 태양에너지 집광판의 성능을 검사하는 간편하고 빠른 방법을 제공한다.- 0.1 단위로 저항 0.1Ohm 에서 999.9 Ohm 까지 변환- 플래셔 파워 12 Kilojoule까지 사용가능 이송가능- 집광판 전압 200 V 까지 집광판 전류 20 A 까지
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
센싱과 신호처리가 하나의 보드내 칩에서 처리되는 광학 센싱 칩 이 솔루션은 기존 전통적인 센서 칩의 시리얼 출력측에서 발생하는 데이타 지체현상을 제거한다.기존 기술보다 염가로 복잡한 이미지 프로세싱 능력을 포함한 광학센서를 구현
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
두 개의 독립층을 가진 마그네틱센서가 자기장을 교체함으로써 원하는 위치 파악이 가능하고 디지털 다층 센서로의 개발이 가능자기장 원리를 이용한 정밀한 위치파악
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
파동길이와 반사된 빛의 밀도를 측정하여 코팅두께 측정데이터분석 및 저장을 하나의 디바이스로 구현, 염가
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
레이져의 삼각원리를 이용한 고속운동물체 비접촉 3차원 속도측정센서부이외에도 하드웨어 소프트웨어 일체구비, 초당 300만 3차원 측정
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
컴퓨터단층촬용기술을 이용한 금속 및 비금속소재의 절단품질의 분석컴퓨터단층촬영기술은 소재 및 공정상의 결함으르 정확하게 검출 가능
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 기타 반도체
레이져와 CCD카메라를 이용하여 Bulgetest중에 재료의 수직, 수평방향의 거동을 측정하여 다축응력 하에서의 판재의 성형성, 경화거동을 예측가능다축응력 하에서의 stress-strain-curve를 정확히 측정할 수 있는 장비로, 기존의 다축응력 하에서의 측정보다 산업체에서의 적용에 더욱 근접한 실험방법임
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
보행자와의 crash 테스트를 하는데 있어 센서를 부착한 기계다리를 이용하여 사고시 다리의 제동가속, 무릎각도의 측정수치를 구함보행자와의 사고시 대부분 다리와 충돌하므로 이에 대한 정확한 측정 및 분석을 통하여 사고 발생 시 최대한 보호 가능성 도출
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 센서·엑츄에이터 소자 (F61)
Standard-CMOS-Technolgy에 의하여 대량생산한 chip을 이용하여 위치, 연결 또는 축과 바퀴의 회전수 관측 가능. 로봇이나 기타 장치들에 장착하여 작동상태 측정디지털 시그날과 온도에 민감하지 않음.
- 보유기관
- 한국과학기술연구원
- 등록일
- 2002-07-05
상세보기
일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
1. 시료에 양전자를 투과시킨 후 양전자소멸시간을 측정하여 시료의 미세구조결함을 분석하는 종래의 양전자응용분석장치는, 설치시 많은 공간을 차지하고, 분석하고자 하는 시료를 양전자원의 양쪽에 비채히야 하는 구조이므로 동일한 두 개의 시료를 준비해야할 뿐만 아니라 시료의 크기가 클 경우 분석이 어려운 문제점이 있었으므로, 양전자원에서 양전자가 생성되면서 발생되는 감마선과 양전자가 시료내부로 침투하여 시료내부의 전자들과 만나 소멸하는 과정에서 발생되는 감마선을 검출하여 그에 따른 전기신호를 생성하는 검출기 및 시료 캐비넷과, 검출기 및 시료 캐비넷으로부터 발생된 전기신호를 받아 양전자의 수명을 결정함에 의해 시료의 미세구조결함을 분석하는 전자모듈캐비넷을 포함하여 구성되는 소형화된 양전자 응용분석장치.2. 종래의 양전자 분석장치는 원자수준의 크기를 가진 공격자결함의 농도가 1 PPM 이하인 시료의 분석이 사실상 어려우며, 전자를 이용하므로 시료표면에 전하가 축적되어 전기적으로 취약한 시료에 대한 분석이 어렵고 비교적 고가의 비용이 소비된다는 문제점이 있었으므로, 양전자원에서 양전자가 생성되면서 발생되는 감마선을 검출하는 스타트신호용 섬광검출부와, 양전자가 시료내부로 침투하여 시료내부의 전자들과 만나 소멸하는 과정에서 발생되는 감마선을 검출하는 스톱신호용 섬광검출부를 포함하여 구성되는 양전자응용 분석장치.3. 양전자들이 분석하고자 하는 시료표면에 침투되어 시료중의 전자와 결합하여 감마선을 방출하고, 시료중의 결함의 크기 및 농도에 따른 감마선 스팩트럼을 방출하게 되는 특징을 이용하여, 시료의 결함위치에 따른 시간차를 측정함으로써 시료 표면의 결함위치를 계산하도록 함으로써, 양전자 가둠용기 및 양전자 주입구를 스캔하는 과정을 통해 분석하고자 하는 시료 표면 전면에 대한 결함위치 분석이 가능한 스캐너형 양전자 분석장치.1. 양전자응용분석을 위한 각종 장치를 집적시킴으로써 전체 시스템을 소형화시킬 뿐만 아니라 이동을 용이하게 하고, 한 개의 시료로도 분석이 가능하며, 검출기의 예비시이트를 마련하여 시료의크기가 클 경우에도 분석이 가능하다.2. 양전자의 소멸시간을 측정하여 시료를 분석함으로써 전기적으로 취약한 시료의 분석이 가능하고, 양전자의 소멸시간이 보통의 완전격자의 위치보다 전자밀도가 낮은 공격자점에서 길어진다는 원리에 착안하여 시료를 분석함을로써 원자단위의 극미세한 격자결함을 분석할 수 있다.3. 스캐너형 양전자 발생장치의 경우, 이동과 사용이 용이하며 시료 전면에 대한 분석이 가능하다.
- 보유기관
- 고등기술연구원연구조합(사)
- 등록일
- 2002-07-08
상세보기
일반기술
전기·전자 > 생활가전기기 (F43)
1. 종래의 초고주파 발생장치는 출력 공동에서 변환된 전자기파 에너지의 일부를 외부를 통해 귀환시키도록 구성되어 그 구조가 복잡한 문제점이 있었으므로, 이를 해결하기 위하여 입력공동과 출력공동의 중앙부를 연결하여 내부에서 전자기파 에너지를 귀한시킴으로써 구조를 다순화시킨 초고주파 발생장치.2. 제1그리드와 제2그리드의 조합구조에 의해 전자빔이 효과적으로 집속되고 제어되며, 제2 그리드와 애노드가 출력캐비티를 이루고, 제1그리드, 캐소드, 쵸크구조물이 입력캐비티를 이루며, 출력캐비티와 입력캐비티가 캐비티 상호간에 분리된 구조를 갖는 초고주파 발생장치.1. 초고주파 발생장치의 입력공동과 출력공동의 중앙부를 연결하여 내부에서 전자기파 에너지를 귀한시킴으로써 귀환 전력이 용이하게 전달될 수 있다. 또한, 초고주파 발생장치의 구조를 다순화시키고 제작을 용이하게 할 수 있고, 제작비용을 절감할 수 있다.2. 초고주파 발생장치의 마그네트가 불필요하고, 구조가 간단하며, 고조파 및 노이즈에 대한 영향이 적다.
- 보유기관
- 고등기술연구원연구조합(사)
- 등록일
- 2002-07-08
상세보기
일반기술
전기·전자 > 기타 전자제품
1. 종래의 저속양전자 발생장치는 양전자원에서 방출되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수의 비가 낮아 수율이 낮은 문제점이 있었으므로, 이를 해결하기 위하여 모더레이ㅏ터를 팁 형태로 제조하고, 각각의 팁에서의 전기장이 주변에 형성된 전기장보다 크기 때문에 각각의 팁으로부터 높은 수율과 단색을 갖는 저속 양전자를 방출시키도록 된 저속 양전자 발생장치.2. 모더레이터의 일측면에 팁을 형성하고 이 팁의 양측에 게이트전극을 갖는 절연층을 형성하여 수율을 높인 양전자 발생장치.3. 모더레이터의 일측면을 팁으로 형성하고 모더레이터의 상부 및 하부표면에 금속층을 형성하여 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수를 증가시키는 저속 양전자 발생장치.저속 양전자 발생장치의 양전자원에서 출력되는 총 양전자수에 대한 얻어지는 저속 양전자의 수의 비를 증가시켜 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
- 보유기관
- 고등기술연구원연구조합(사)
- 등록일
- 2002-07-08
상세보기
일반기술
전기·전자 > 전자부품
1. 액정 디스플레이의 액정 배향에 있어서 TN-액정 또는 STN-액정 디스플레이 등 비틀림각을 필요로하는 액정 디스플레이의 액정을 원하는 각으로 배향시키기 위하여 광기능성 고분자 액정배향막의 분자를 일정한 입사각을 갖는 비편광된 빛을 사용하여 프리틸트각(pretilt angle)을 조절한 광기능성 고분자 액정배향막의 분자배열 방법.2. 광기능성 고분자 액정배향막의 배항영역을 멀티 도메인 형태로 형성하는 방법으로 광기능성 고분자 액정 배향막을 갖는 액정 표시소자를 제조하고, 그 액정 표시소자의 한쪽 유리기판 상부로부터 간섭성이 있는 두 개 이상의 빛을 노광시켜 액정배향막을 멀티 도메인으로 형성함을써 시야각을 넓힌 액정 표시소자.3. 액정을 배향하기 위한 광기능성 배향막이 형성된 유리기판과 러빙된 폴리이미드 배향막이 형성된 다른 유리기판을 배향막이 마조보도록 실링하여 셀을 제조하고, 셀 내부에 액정을 주입한 후, 외부에서 펌핑된 빛을 펌핑광 조절부를 통해 광배향막에 원하는 부분의 배향상태를 변화시키고, 이에 따른 액정의 배향상태에 변화를 주어 배면광원에서 방출되는 빛을 통과 또는 차단시킴으로써 정보를 표시하도록 한 광 구동 액정 표시소자 제조방법.4. 아조폴리아믹 엑시드 및 아조폴리이미드를 이용한 Nematic, Ferroelectric, Anti-ferroeletric LCD의 액정 배향막 제조방법.5. 폴리아민산 용액으로 이루어지는 광배향물질인 수평배향제에 수직배향제를 소정 농도비로 혼합하고, 혼합된 광배향 물질을 투명전극이 형성된 유리기판에 도포하고 도포에 사용된 용제를 소정온도에서 열처리하여 광배향막을 건조하고, 건조된 광배향막에 UV 또는 레이저를 조사하여 광배향하여 얻어지는 프리틸트각 조절이 가능한 광배향막 형성방법.1. 디스플레이의 액정 배향에 있어서 TN-액정 또는 STN-액정 디스플레이의 비틀림각을 원하는 각으로 배향시킬 수 있으며, 특히 10도 이상의 프리틸트 각 조절이 어려운 문제점을 해결할 수 있다.2.멸티 도메인 액정배향막의 경우 종래의 러빙된 배향막을 갖는 액정 표시소자보다 광 시야각이 넓고 균일한 표시소자를 제조할 수 있고, 종래의 러빙방법을 사용할 때보다 제조공정을 단순화하여 빠른 시간 내에 제조할 수 있다.3. 광구동 액정 표시소자의 경우 종래의 전기 구동 액정 디스플레이보다 구조가 간단하고 전기적 구동시의 문제점인 크로스토크현상을 억제할 수 있으며, 전기적 구동회로가 필요 없어 제작공정을 단순화시킬 수 있다. 또한 펑핑광을 포커싱시킬 수 있는 한계까지 단위 화소를 작게할 수 있어 고화질을 구현할 수 있으며, 평핑광을 스캔하는 방법을 이용하면 쉽게 대형화할 수 있다.4. 광감강성 폴리이미드의 광화학적 성질을 이용할 경우 접촉식인 러빙에 의해 발새될 수 있는 불순물에 의한 오염과 정전기 발생에 따른 제품의 수율 감소, 콘트라스트 저하, 대면적화에 따르는 균일한 배향의 어려움 등 여러가지 문제점을 해결할 수 있다.5. 광배향막 형성방법에 있어서, 수직배향제와 수평배향제의 혼합비에 따라 프리틸트각의 조절이 원활하게 이루어질 수 있으므로 우수한 광배향막을 얻을 수 있으며, 고품질의 LCD 제작이 가능하다.
- 보유기관
- 고등기술연구원연구조합(사)
- 등록일
- 2002-07-08
상세보기