산업기술 통합검색
초소형, 초스피트, 초정밀 그리고 높은 효율의 장치를 제조하는 것은 나노기술의 목표중의 하나이다. 그와 같은 장치를 만드는데 있어 중요한 것은 1GHz이상의 속도를 가진 나노스케일의 기기를 개발하는 것이다. 나노스케일의 기기는 나노스케일의 모터와 엔진을 필요로 한다. 본 기술은 다중 나노튜브로 만들어진 하나 또는 그 이상의 초스피드 나노스케일 발진기로 구성된 특별한 나노엔진을 개발한 기술이다. 본 기술은 피스톤이 실린더 내에서 움직이면서 기존의 엔진과 같은 기능을 한다. 본 기술은 강력한 나노스케일의 장치에 응용할 수 있다.나노 크기의 엔진 제조 가능. 초고속의 엔진 제조 가능
본 기술은 파손이 쉬운 유리제 온도계 대신에 플라스틱 계열의 물질로 만든 온도계이다. 유리제 온도계는 알코올 또는 수은등을 사용하므로 파손될 경우 유리에 의해 다치거나, 수은의 경우 심각한 중금속 오염의 원인이 된다. 반면 이 온도계는 플라스틱 재질이므로 파손의 염려가 없고 쉽게 가공할 수 있다. 감온부에 무거운 추를 부착하면 욕탕의 욕조, 수족관 속에서 떠다니게 할 수 있으므로 온도 감지를 쉽게 할 수 있다.기술의 장점 : 정확한 온도의 측정이 아니고 목욕물의 감시 또는 활어 및 관상어 보관용 수조의 온도감시용으로 파손의 우려 없이 사용할 수 잇다.- 노약자 및 신생아 등의 목욕 보조기기- 활어 보관 수조 온도 감시 - 관상어 수조 온도 감시
현재 상용화된 저온 항온조는 헬륨가스냉동기용, 연속냉각 저온 항온조 및 담금형 저온항온조의 3종이 있다. 본 기술은 비용이 저렴한 헬륨가스 냉동기용 저온 항온조와 빠른 시간에 저온에 도달할 수 있는 연속냉각 저온 항온조의 기술을 합친 새로운 형태의 저온항온조 제작 기술로서 빠른 시간에 10 K의 저온 도달이 가능하고, 장시간 안정된 온도 유지가 가능하다. 사용시간을 줄이면서 높은 온도안정도를 기대할 수 있는 장점을 갖고 있다.저온도달 기술 : 10 K 의 저온까지 저렴한 비용으로 도달 가능정밀 저온 조절기술 : 저온을 장시간 정밀 조절하는 능력
본 기술은 광섬유센서를 적용하여 대형구조물의 안전계측을 위한 시스템 구성에 관한 기술이다. 안전계측 요인별로 적합한 광섬유 센서의 형태, 장거리 분포형 센서의 특성, 광섬유의 접착방법에 대한 기법 및 시스템 구성 후 운용에 관한 기술이 포함된다. 광섬유 센서는 전자기 영향을 받지 않으며, 내부식성이 좋고 분포형 물리량(변형률, 온도, 압력 등)을 측정할 수 있어서 기존의 전기식 센서로 측정이 불가능한 대형 구조물의 장기간의 연속감시를 가능하게 한다.광섬유 센서는 전자기 영향을 받지 않으며, 내부식성이 좋고 본포형 물리량을 측정할 수 있어서 대형 구조물의 계측에 적합하다. 따라서 기존의 전기식 센서로 측정이 불가능한 대형 구조물(교량, 빌딩, 배관 등)의장기간의 연속감시를 가능하게 한다.- 터널의 안전계측 시스템 구성 전반에 활용가능함.- 광섬유 센서의 적용기법을 제공함.
본 기술은 전자기 영향이 없고, 내식성이 뛰어난 광섬유 센서를 이용하여 변동하는 변형률을 측정하는 센서기술이다. 본 기술은 대형구조물의 변동하중 및 변형률의 측정이나, 과적차량 단속용 휴대용 차량 중량계 등의 제작에 사용할 수 있는 기술이다. 특히 변형률 게이지 길이를 약 2 - 3 m까지 길게 만들 수도 있으며 변형률 분해능이 게이지 길이에 반비례하는 특성을 갖는데 게이지 길이가 약 2 - 3m인 경우에는 약 0.2 - 0.3 마이크론으로 매우 정밀한 측정이 가능하다.광섬유 센서는 전자기 영향을 받지 않으며, 내부식성이 좋고 본포형 물리량을 측정할 수 있어서 대형 구조물의 계측에 적합하다. 본 센서는 장기간의 측정보다는 단시간의 빠른 변화가 있는 변형률을 측정하기에 적합한 센서이다. 따라서 기존의 전기식 센서로 측정이 불가능한 대형 구조물(교량, 빌딩, 배관 등)의 빠른 변동 변형률을 측정하기에 용이하다.- 대형구조물의 변동 하중 및 변형률의 측정- 휴대용 차량 중량 측정 시스템
본 기술은 수은 높이 측정을 레이저를 이용하여 비접촉방법으로 계측함으로써 높은 정확도로 압력을 계측하는 기술로 대기압 영역의 정밀 압력센서를 개발하고자 하는 업체에 유용한 기술이다. 압력의 계측은 U자형 액주형 압력계의 원리를 따르며 레이저는 안정화된 헬륨네온 레이저를 이용한다, 안정화 레이저를 이용한 액주 높이 측정기술은 거리측정에 활용하므로 높은 정확도로 압력을 계측할 수 있어 정밀 압력 측정기관을 비롯하여 대기압 측정 및 정밀 센서 개발 업체에 유용한 기술이 된다.길이의 원기가 되는 안정화 레이저를 이용한 액주 높이 측정기술을 거리측정에 활용하므로 높은 정확도로 압력을 계측할 수 있어 정밀 압력 측정기관을 비롯하여 대기압 측정 및 정밀 센서 개발 업체에 매우 유용한 기술이 된다. - 진공을 포함한 공정라인의 압력계의 교정. - 이 장치는 대기압 영역의 센서 개발 업체에 유용함 - 각종 미압, 대기압, 진공계 교정에 활용가능
본 기술은 고업측량, 측지산업이나 대형정밀측정에 사용하는 Level, Theodolite, Transit, jig-transit 등을 측정 및 교정할 수 있는 교정장치 제작기술로서, 0.3" 의 불확도로 수평각, 수직각을 정밀 측정할 수 있으며, 또 시준선의 진직도 및 절대수평각 등을 정밀 교정 측정할 수 있는 측정기술이다. 공업측량, 국가 지적 재조사사업이나 NGIS 사업을 위한 측량기교정 성능 검사사업에 필수적 측정기술이다.- 국내에 보급된 10만여대의 측량기기를 교정 또는 성능 검사하는 장비 또는 교정기술 제공이 가능- 측량기 성능검사 대행기관이나 교정검사기관이 사용해야 할 검사장비 개발기술이나 교정서비스 기술 제공이 가능 함.- 국가 지적 재조사사업이나 NGIS 사업을 위한 측량기교정 성능 검사 사업에 필수적 측정표준기술임.- 측량기 관련의 각종 장비 교정서비스기술 및 교정시스템 개발기술 제공- 측량기 관련의 각종 장비 교정시스템 및 교정기술 제공으로 성능 및 교정 검사 대행업체가 갖추어야 할 장비 및 기술을 보유할 수 있게 됨.
본 기술은 측지산업이나 대형정밀측정에 사용하는 EDM(Electo-optical Distance Meter), Total Station 및 코너 큐브 프리즘의 프리즘 상수 등을 교정할 수 있는 기술로서 국제규격을 만족하는 280 m의 기선장과 제로반사경, 표준 구형프리즘 및 정밀 EDM을 활용하여 0.2 mm 불확도로 280 m 거리까지 21개 구간에서 EDM 류의 거리측정기를 정밀 측정할 수 있는 측정기술과 그 시스템 제작에 관한 것이다. 지금까지 기계오차나 프리즘상수를 측정하지 못하던 장거리 측량기인 EDM 및 관련장비의 정확한 측정 서비스가 가능하다.1.지금까지 기계오차나 프리즘상수를 측정하지 못하던 장거리 측량기기인 EDM 및 관련장비의 정확한 교정서비스가 가능하게 되었다.2.280 m 의 거리를 0.2 mm 불확도로 장거리 측정이 가능함.3.토목 건설 등 측지산업, 국립지리원 & 지적공사, 국방부 측지부대 등 에서 사용 가능한 기술임.4.장거리측정의 정확도 향상을 기대
본 기술은 다중영역 제어 (Multi-zone control)방식으로 구동되는 전기로의 온도측정 및 제어용 열전대를 개선하여 하나의 공통 열전대소선(common TC wire)에 여러 개의 접점을 형성시켜 열전대 소선의 소모를 반으로 줄이고 효율적으로 공정을 제어할 수 있는 기술이다. 반도체 확산로에 사용되는 3영역(three -zone) 혹은 5영역(five -zone) 전기로의 온도제어용 열전대를 다중접점 방식으로 개선하게 되면 기존 사용량의 1/2 정도로 제어가 가능하며, 또한 열전대 제조과정 중에 발생할 수 있는 불균질성 (각각의 열전대가 갖는 비반복도)을 감소시킬 수 있어 공정관리가 원할하게 된다. 온도구배 측정시 단 일회의 측정으로 온도구배에 대한 정보를 얻을 수 있고, 전량 수입되는 열전대의 수요를 감소시킴으로써 수입대체 효과를 가질 수 있다.기존 열전대 소모량의 대폭 감소시키고, 온도구배 측정시 단 일회의 측정으로 온도구배에 대한 정보를 얻을 수 있음. 전량 수입되는 열전대의 수요를 감소시킴으로써 수입대체 효과를 가질 수 있음. 온도구배에 대한 정보가 필요한 전 산업분야에 적용 가능함.- 반도체 확산로의 온도제어 및 측정용 열전대 대체- 각종 항온 유지장치의 온도구배 측정
본 기술은 반도체 및 초전도체 소자제작에 널리 쓰이는 내화성 금속박막을 잔류응력 없이 스퍼터링하는 기술이다. 박막의 잔류응력은 증착되는 물질분자 또는 클러스터가 갖는 에너지 및 박막형성 시 포함되는 불순물에 영향을 받는다. 스퍼터링 전 진공도가 10E-5 Pa이하일 경우 불순물질의 영향은 무시할 수 있으며, 이때 박막의 잔류응력은 음극 전압, 타겟 침식, 플라즈마 압력 등에 영향을 받으며, 특히 타겟과 기판 사이의 거리가 중요하다. 본 기술의 특징은 타겟과 기판사이의 거리가 5cm 이내일때와 10cm 이상 되는 경우에 잔류응력을 제거시킬 수 있는 공정기술이다. 본 기술은 녹는점이 높은 내화성 금속의 스퍼터링에 유용하게 쓰일 수 있으며, 타겟 침식에 따른 잔류응력 변화에 능동적으로 대처할 수 있어 소사 제조 시 수율을 높일 수 있다.타겟 침식에 따른 잔류응력 변화에 능동적으로 대처할 수 있어 소자제조시 수율을 높일 수 있다.- 반도체 제조 장비 개발 ⇒ PVD 장비 개발, 스퍼터링공정 개발- 반도체 및 초전도소자 제조 ⇒ 금속전극, 배선, 저항 증착- 첨단 센서 제작 ⇒ 열전대 및 박막저항 증착
본 기술은 고종횡비(high aspect ratio)의 3차원 실리콘주조물을 제작하는 기술이다. 고종횡비의 3차원 실리콘구조물 가공에는 빠른 식각속도와 큰 식각이방성을 갖는 공정이 필요하며, 특히 낮은 압력에서 고밀도의 플라즈마를 생성할 수 있는 ICP(Inductively coupled coupled plasma)를 이용한 반응성이온식각(RIE)이 필요하다. 본 기술은 플라즈마의 조성을 주기적으로 조절하여 보호막증착(Passivation)과 식각(etching)이 주기적으로 일어나게하여 고종횡비를 얻는 방법을 적용하였으며, 시료 패턴모양 또는 load effect에 의한 식각특성 변화 등도 고려하여 최적 공정조건을 확립하였다. 본 기술은 각종 고감도 센서 및 액추에이터의 감지부 또는 구동부에 널리 쓰이는 실리콘구조물 제작에 유용하게 쓰일 수 있다.보호막 증착 주기와 등방성 또는 비등방성 식각 주기를 조절함으로써 임의의 단면모양을 갖는 미세구조물을 제작할 수 있다.- 반도체 제조 장비 개발 ⇒ Deep Etcher 개발, 식각공정 설계 및 개발- 첨단 반도체 소자 제조 ⇒ deep trench 식각- 첨단 센서 및 액추에이터, MEMS 등 제작 ⇒ SOI 식각, 다결정실리콘 식각
본 기술은 연속적으로 특수 파형의 자장을 인가하여 연자성체의 직류 초기 투자율이나 스텐레스 재료의 직류 저 투자율을 측정하는 기술이다. 일반적인 직류 자기 유도법을 이용하여 초기 투자율이나 저투자율을 측정할 시 유도신호의 크기가 매우 작아서 정밀측정이 불가능하지만 본 기술은 연속적으로 자장을 반전시키면서 특성을 측정하기 때문에 분해능이 우수하다. 특수한 인가 자장의 파형을 사용함으로써 연속적인 자장 반전에도 불구하고 도전성 금속 시편에 있어서 와전류 효과가 배제된 직류 투자율을 측정할 수 있는 장점이 있다. 저투자율 재료의 가공, 외부 스트레스 및 열화 현상 등에 따른 자화 현상이나, 저주파 자기장 차폐재료의 특성을 좌우하는 초기 투자율 측정 등에 유용하게 활용할 수 있다. 분해능은 교류 방법과 같으나 와전류 효과가 배제된 직류 저투자율 및 초기 투자율을 측정할 수 있는 기술이다.연속 자장을 이용함으로써 분해능은 교류 방법과 같으나 와전류 효과가 배제된 직류 저투자율 및 초기투자율을 측정할 수 있는 기술이다.- 직류 저투자율 측정 ⇒ 외부 스트레스. 열화 등에 따른 자기적 특성 변화 측정- 직류 초기투자율 측정 ⇒ 직류 자장 차폐재료의 특성 및 차폐율 측정
본 기술은 수정진동자의 표면에 질량변화가 생기면 수정진동자의 진동 주파수가 변화하고 이 주파수 변화를 측정함으로써 극미량의 질량변화를 측정할 수 있는 미량수정저울(Quartz Crystal Microbalance)을 제작하는 기술이다. 이 기술은 수정진동자의 표면에 특정 물질의 흡착을 유발하는 물질을 코팅하여 특정 물질의 센서로 사용할 수도 있다. 수정 진동자의 한 전극을 전기화학적 전극으로 사용하는 경우 이를 전기화학적 QCM(EQCM)이라고 하는데, 개발된 EQCM은 세계에서 가장 정밀하다.(0.25 ng/cm2). Potentiosta 제작 기술도 함께 이전이 가능하다.본 기술은 세계에서 가장 정밀하므로 국제적 경쟁력이 있음. - 전지, 부식 등 전기화학 관련 산업 및 연구 - 습도, 가스, 임상 등 특정 화학물질의 센서로 활용가 - Sputtering, 도금 등을 모니터링 하는 센서로 사용
리크(leak)는 압력 또는 농도 차이에 균열(crack), 틈(crevice), 구멍(hole)등을 통하여 원하지 않는 유체가 들어오거나 빠져나가는 현상을 말한다. 본 기술은 다양한 용기나 시스템의 미세 리크 부위를 탐지하고 리크량(leak rate)을 측정하는 기술로서 기밀용기나 시스템을 제작 혹은 취급하는 곳에서 필요하다.Leak 위치 탐지뿐 아니라 및 leak rate의 정량화 기술을 보유 하고 있으므로 정량적인 규격의 합격, 불합격 판정이 가능. - 압력용기 및 부품제작 - 냉동기 제작, 석유화학 프랜트 - 압축기체 분무(Aerosol)용기 사용 - 식품용 통조림 등 저장식품업체 - 진공용기 및 가스배관기기 제작
본 기술은 마이크로 센서소자 제작에 널리 쓰이는 실리콘 기판과 열팽창 계수가 비슷한 Pyrex 유리를 접합시키는 기술이다. Pyrex 유리(코닝유리 7740)에는 일정양의 나트륨(Na), 칼륨(K)등이 포함되어 있어 200℃ 이상의 온도로 가열하면 이러한 불순물은 전하를 띠게되고 전압에 따라 쉽게 이동한다. 실리콘과 유리를 정렬시키고 양쪽에 600V 이상의 직류접압을 가해주면 이동성 전하들은 급속히 움직이도 실리콘-유리 계면에는 강한 대전현상이 일어나 실리콘-유리가 접합한다. 이 방법에 의한 접합강도는 상당히 강하며 접합에 걸리는 시간은 샘플 크기에 따라 수초에서 수 분 정도다, 마이크로 소자의 패키지 시 진공 중에서의 접합하면 불순물이 끼지 않고 접합 강도가 높은 실리콘-파이렉스 유리의 접합을 얻을 수 있다.마이크로 소자의 패키지 시 진공 중에서의 접합으로 particle 이 끼지 않고 접합강도가 높은 실리콘 - 파이렉스 유리의 접합을 얻을 수 있다. - 마이크로 센서 개발 ⇒ 패키지 기술 - 바이오 칩 개발 ⇒ 채널형성 기술 - 첨단 센서 개발 ⇒ 멀티 칩 결합
본 기술은 마이크로 센서소자 제작에 쓰이는 실리콘 습식 식각 기술이다. 100 ㎛ 이상 깊이의 실리콘 식각에 주로 사용하고 있는 습식 식각은 분당 1 ㎛ 이상의 실리콘 식각률을 갖는다. 식각 시간의 조절로 미소하게 설계된 다이아프램, 캔틸레버를 만들 수 있다. N형 실리콘 위에 P형 에피층이 있는 경우 실리콘에 전극을 형성하고 용액 안에 백금전극을 넣어 양단에 바이어스를 걸고 electro-potentiometer로 조절하면 일정한 식각률을 갖는 2 전극 식각 시스템이 된다. 3전극 방식은 2 전극 방식에 기준전극을 추가한 시스템이다. 이 기술의 특징은 실리콘 식각 공정에서 균일한 식각률을 가질 수 있으며 식각 끝점 부근을 알 수 있어 공정 중 과도 식각 등을 예방 할 수 있다.실리콘 식각 공정에서 균일한 식각률을 가질 수 있으며 식각 끝점 부근을 알 수 있어 공정 중 과도 식각 등을 예방 할 수 있다. - 마이크로 센서 개발 ⇒다이아프램, 캔틸레버, 캐비티 형성 - 바이오 칩 개발 ⇒ 채널형성 기술
발전기는 자기장을 발생시키는 자석을 고정자로 고정시킨 상태에서 자기장을 단속하는 도체를 회전자로 회전시키게 되므로 자기장의 세기와 도체의 길이가 동일한 발전기로 많은량의 기전력을 발생시키기 위해서는, 회전자의 회전속도를 높여 자기장과 도체의 상대속도를 증가시킬 수 밖에 없었다.따라서 기계적 회전 장치인 자동차 엔진 등 고속회전기기를 이용하여야만 충분한 전기를 발생시킬수있다본 고안은 저속 회전력을 이용하면서도 높은 기전력을 발생시킬 수 있는 발전기를 제공하기 위한 것으로, 자기장과 도체의 상대속도가 높으면 그에 비례하여 높은 기전력을 얻을 수 있다는 그 점에 착안하여 통상 고정된 상태로 놓여 있는 자기장을 발생시키는 고정자(자석)를 회전자(코일)의 회전방향을 서로 반대방향으로 회전시킴으로써 자기장(자석)과 도체(코일)의 상대속도를 높여 높은 기전력을 얻어낼 수 있도록 한 것이다.(자석은 오른쪽으로 회전하면 코일은 왼쪽방향으로 회전시킴)
대부분의 고온설비 진단 시에는 이동식 소형 포터블 연마기와 현미경을 사용하여 설비 표면에서 직접 조직을 관찰한다. 이 방법은 해석 능력이 떨어지고, 경우에 따라서는 설비구조상 직접관찰이 불가능한 경우도 있으므로, 금속조직을 플라스틱과 같은 다른 물질에 전사(轉寫)시켜 복제(復製)한 후, 복제된 물체에 전사되어 나타난 조직을 관찰, 분석하는 표면복제법을 많이 사용한다. 그러나 고온설비에서 문제가 되는 크리프 기공을 정확히 관찰하기 위해서는 위와 같은 통상적인 방법을 사용해선 안되고, 중간 etching을 포함한 grinding 및 3회 반복의 polishing을 하는 등의 기술이 필요하다. 본 기술은 이와 같은 방법으로 크리프 기공을 관찰하여 고온설비의 잔여수명 등을 평가하는 기술이다. 기존의 방법으로 발견하지 못했던 크리프 기공들까지 관찰할 수 있으므로 정확한 평가를 할 수 있으며, 설비의 파손위험 및 사용년한 등을 미리 예상하여 인적, 경제적 손실을 예방할 수 있다.기존의 방법으로 발견하지 못했던 크리프 기공들까지 관찰할 수 있으므로 적용 설비들에 대하여 훨씬 정확한 평가를 할 수 있으며, 설비의 파손위험 및 사용년한 등을 미리 예상하여 인적, 경제적 손실을 예방할 수 있다. - 터빈 및 주증기관 및 재열기 등의 열화도를 측정에 활용 가능 - 반응로나 reformer tube 등 고온설비의 열화도를 측정에 활용 가능 - 각종 고온설비 수명평가
7개의 필러로 구성되는 280 m 의 기선장을 이용하여 거리측정용 측량기인 EDM, Total Station, 프리즘을 교정할수 있는 측정 S/W이다. 측정불확도를 계산하고 그래프 표시까지 할 수 있도록 만들어졌다. KS 및 ISO 규격을 만족하는 측정 알고리즘을 채용하였으며 국제적으로 공인되는 S/W이다.KS 및 ISO 규격을 만족하는 측정 알고리즘을 채용한 기선장에서 측정에서 사용할수 있는 프 로그램이므로 국제적 공인되는 측정 및 계산 프로그램이다. - 거리측정용 측량기인 EDM, Total Station, 프리즘을 측정하는데 활용 가능함. - 공업 및 측지측량에 사용되는 정밀거리측정기교정에 활용가능함.
본 기술은 차량저울의 자동교정장치에 관한 기술이다. 차량저울에 분동을 적재하여 교정하는 작업이 매우 비능률적이고 용량만큼 교정하지 못하는 상황이다. 유압기를 이용하여 즉 힘을 발생시키고 이힘을 표준기 값과 비교하여 질량값과 연계시켜 교정하는 장치를 이용하는 기술이다.비능률적 교정작업을 개선하고 비용을 절감할 수 있는 장점이 있는 정밀측정기술이다.