가정용 청소기 감는 부분을 전기 릴선에 응용
가저용 청소기의 전선 감는 부분을 산업 현장에서 흔히 쓰이는 릴선에 응용하면 약간 다른 상품이 됩니다. 실용신안 출원중. 사진은 시중에 판매 되고 있는 최저가 모델 중하나
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- 2008-09-25
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가저용 청소기의 전선 감는 부분을 산업 현장에서 흔히 쓰이는 릴선에 응용하면 약간 다른 상품이 됩니다. 실용신안 출원중. 사진은 시중에 판매 되고 있는 최저가 모델 중하나
<기술의 개요>- 현재 철도분야에서 열차의 간격제어 및 진로제어를 수행하는 열차제어 및 통신시스템은 철도시스템의 가용성 및 안전성 확보를 위해 다중계구조 내장형제어기로 구성하여 전자연동장치, 궤도회로장치, 바이탈 무선송수신기 등에 적용하고 있다.- 자기검사 회로를 내장한 이중계구조 제어기는 기존 소프트웨어 결함검출 방식의 단점인 신뢰도의 정량화불가 문제를 하드웨어언어를 사용한 직접회로로 구성하여 원천적인 해결이 가능하다.<기술의 특징>- 국내 철도안전법 등의 법령 및 규정에서 제시하는 정량적인 위험측고장률 평가에 의한 안전확보를 수행하기 위한 하드웨어중심 결함허용 설계의 핵심기술이다.- 본 기술에서 제시된 내장형제어기의 자기검사 기능에 고장모드영향분석(FMEA)에 의한 바이탈기능 감시를 추가이식 할 수 있는 하드웨어 명세언어(HDL)를 사용하는 FPGA기반의 기술이다.- 본 기술에서 제안하는 자기검사 회로를 적용한 이중계구조 제어기의 설계기술은 현재 국산화를 위한 초보적 단계이며, 이러한 기술적 한계에 의해 상당부분의 바이탈제어기는 대부분 하드웨어 단위로 외국상용품을 적용하고 있다.
본 기술은 플렉시블 전자 소자애 적용이 가능한 유기물 반도쳬 소자 제조 빙-법에 관한 것으로,유기물 기판위의 반도쳬 소자제작에서 유기물층 상에 다기능 유기 삽입층을 형성함으로써 소스-드레인 전극과 유기물층과의 낮은 접촉 저항과 기계적 유연성 확보하도록 한다.본 기술은 이러한 종래 기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로,그 목적은 폴리머 소재로 이루어진 플렉시블 기판 위에 유기 반도체 소자 제작에 있어 기계적 유연성에 문제시 되는 소스-드레인 전극과 유기물층과의 접착력 향상 및 접촉 저항을 낮추어 소자의 기계적 및 전기적 특성을 향상시키기 위한 것이다.그리고 본 기술은 유기 반도체 소자를 제조하고 반복 굽힘 실험을 통하여 문턱 전압, 전하 이동도, 전류 점멸비의 변화를 관찰하여 이를 토대로 유기 반도체 소자의 기계적 유연성과 전기적 특성의 향상시키는데 그 목적이 있다.
대규모의 센서 네트워크에서의 효율적인 키 관리를 위하여 클러스터링을 통해 클러스터 단위로 센서 노드를 그룹지어 관리하며 키의 안전성을 확보하기 위해 키 재분배 방법을 이용한다. 또한 차 이변수 다항식을 그룹 키로 이용하여 에너지 효율적인 키 관리가 가능하게 한다.본 기술에서 제안하는 키 관리 기법은 네트워크의 크기 제약을 받지 않고 효율적으로 키 관리를 할 수 있는 방법이다. 응용 분야로는 다음과 같은 예를 들 수 있다. ETRI의 자료에 따르면 RFID를 포함한 세계 USN 시장 규모는 2004년 104억 달러 규모에서 2007년 200억 달러를 넘어, 2010년 540억 달러 규모로 성장할 것으로 전망되고 있다.현재 센서 기술과 네트워크 기술의 발전은 사물의 존재 및 위치까지 감지하면서 네트워크에 연동하여 실시간으로 관리하게 되는 유비쿼터스 센서 네트워크의 구축을 가능하게 한다. 특히 대규모 센서 네트워크를 위한 기반 기술은 앞으로 애플리케이션의 다양한 응용을 가져올 전망이다.센서 네트워크의 활용 분야는 광범위하여 군사 목적부터 의료, 복지, 연구 등등 우리 주변 생활에 적용하기 위해 많은 연구가 진행되고 있다. 본 기술의 효율적인 키 관리 방법을 통해 보안 서비스가 중요시 되는 군사용도, 스마트 홈 등 다양한 분야에 적용되어 센서 네트워크로부터 신뢰성 있는 정보를 얻을 수 있으며 정보에 대한 기밀성 역시 확보할 수 있다.네트워크를 클러스터 단위로 나누어 키 관리를 함으로써 대규모의 네트워크에 적합하며 노드 획득 공격에 대한 키의 안전성을 확보하기 위해 키 재분배를 수행한다. 또한 클러스터 헤드 사이에서 에너지 효율성을 위해 차 이변수 다항식을 이용한 그룹 세션 키를 사용한다.
본 기술은 전자 태그에 저장된 정보를 텔레매틱스 시스템을 이용하여 인터넷 상의 중앙 관리 시스템으로부터 부품 정보를 전송받아 사용자에게 보여주는 부품 정보 출력 시스템이다. 기술은 자동차 부품에 대한 다양한 정보를 제공하므로 인포테인먼트 시스템의 부가 서비스로 적용될 수 있다. 시장성 본 기술은 관리자에 의해 업데이트 되는 중앙 관리 시스템을 통해 정보를 얻어 출력해 주기 때문에 부품 정보 이외의 관리자가 원하는 광고나 자사의 부품에 대한 정보를 추가로 전송할 수 있어 이를 이용해 수익 모델을 만들 수 있다.본 기술은 중앙 관리 시스템의 데이터의 양이 얼마나 정확하고 풍부한지가 중요하다. 따라서 본 기술은 기업화 보다 자동차 제조사가 제공하는 하나의 부가 서비스로 제공될 확률이 높다. 본 기술은 차량은 차량 내에 장착된 디스플레이 시스템을 통해 차량 내 부품 리스트 및 교체 시기, 업그레이드 정보, 부품의 기능 및 주의사항 등의 다양한 정보를 얻을 수 있어 사용자가 차량을 점검하고 관리하기 용이하게 한다. 정보산업차량 내에 장착된 부품에 전자 태그를 장착하여 전자 태그의 정보를 리더기로부터 읽어 들여 제어 시스템에 전달한다. 제어 시스템은 텔레매틱스 시스템을 이용하여 인터넷에 연결된 중앙 관리 시스템에 접근하여 관련 정보를 얻어와 그 결과를 디스플레이 시스템을 통해 출력한다.
센서 네트워크의 라이프 타임을 증가시키기 위해 각 노드의 남은 에너지 비율을 고려하여 클러스터 헤드노드를 선정하는 기법과 클러스터 헤드로부터 광고 메시지를 받은 노드에서 어느 클러스터 헤드와 조인할지 결정하는 기법, 각 노드의 센싱 환경조건에 따라 전송을 결정하는 기법을 통해 센서 네트워크의 에너지 소비를 효과적으로 관리한다.센서 네트워크는 목표물을 추적하거나 감시등의 목적으로 기업에서나 군사적으로 이용되고 있다. 센서가 크기가 작기 때문에 설치 후 관리에 에로점이 있다. 센서의 에너지 소비를 효과적으로 관리함에 따라 센서를 이용하는 여러 사회방면에서 비용과 시간을 줄일수 있다.유비쿼터스 시대가 가까워짐에 따라서 센서의 이용도 많아 질것이다. 센서의 사용이 많아짐에 따라서 센서의 관리 또한 중요한 부분을 차지하고 있어 앞으로도 많이 활용될 전망이다.센서의 라이프 타임을 증가시킴으로 인해서 그동안 다수의 센서를 관리하는데 들었던 인력의 낭비를 줄일 수 있고, 전체 센서 네트워크의 총 서비스 시간을 늘릴 수 있다.본 고안에서는 무선 센서 네트워크에 관한 것으로 기존의 클러스터링 계층구조를 구성하여 에너지 효율성 측면에서 전체 센서 네트워크의 총 서비스 시간을 늘리기 위함을 목적으로 한다.
본 기술은 선택적 무전해 도금을 이용한 플렉서블 기판의 미세 금속 배선 공정에 관한 것으로, 보다 구제적으로 플렉서블 (flexible)유기물 기판을 플라즈마표면처리 후, 선택적 무전해도금 공정 또는 선택적 무전해 도금 후 전해도금 공정을 이용하여 상기 기판 상에 니켈, 구리 및 금으로 구성된 군으로부터 선택된 금속배선을 형성시키는 방법에 관한 것이다.본 기술의 방법은 플라즈마 표면 처리 공정 및 무전해 도금 공정에 의해 플렉서블한 기판 상에 금속 배선을 형성하므로써, 유기물 기판과 금속 배선 간의 접착력을 향상시키고, 고종횡비를 가지면시 미세하고 선택적인 금속 배선을 형성시킬수 있으며,플랙서블한 소자에 저가로 적용가능하다.상술한 바와 같이,본 발명은 플라즈마 표면 처리 공정 및 무전해 도금에 의한 금속 배선 형성을 수행하므로써,유기물 기판과 금속 배선 간의 접착력을 향상시킬 수 있으며,고종횡비를 가지면서 선택적인 금속 배선을 형성시킬 수 있으며,플랙서블한 소자에 저가로 적용가능하다.이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하고 설명하였으나,본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.
본 발명은 IPv6 네트워트 환경에서 사용되는 보안 프로토콜인 SEND와 IPSec간 정보를 공유하여 IPSec 프로토콜의 인증처리 시간을 단축할 수 있도록 한다. 또한 세션 설정 방법을 변경하여 세션의 재설정 경우를 줄이고 유지할 수 있는 경우를 늘여 불필요한 세션 설정 비용을 감소시킨다. 이를 통하여IPSec 운용 비용을 절감할 수 있다.세계적으로 기술의 발전으로 인하여 모든 전자 장치들은 네트워크에 연결할 수 있게 되었으며, 이로 인하여 필요로 하는 IP의 수도 늘어나게 되었다. 보호되어야 할 정보의 양도 늘어나고 있다. 큰 주소영역을 제공하는 IPv6의 도입은 필수적이며 이러한 환경에서의 보안 제공도 반드시 필요한 영역이 되고 있다.IPv6 네트워크 환경에서는 SEND 프로토콜과 IPSec 프로토콜의 동시 사용은 해당 호스트에 큰 부하를 발생시키게 된다. 개별로 동작되는 두 프로토콜의 협업을 구성함으로써 중복되는 과정을 단일화 하여 처리속도를 높일 수 있다.이는 자원이 한정적이 환경에서 적은 자원을 사용하여 보안 채널을 구성할 수 있는 장점을 지니게 된다.기술의 특성상 SEND가 먼저 동작하고 IPSec이 동작하게된다. 먼저 SEND에서 사용자 인증을 수행하며 이때의 결과를 별도의 저장소에 저장한다. IPSec에서는 저장소의 정보를 검색하여 인증을 수행한다. 또한 IPSec에서는 사용자의 고유정보를 이용하여 세션을 설정하여, 환경이나 장치가 변경되어도 고유정보가 동일하다면 세션을 유지할 수 있다.
본 발명은 기존의 유기 반도체 소자에서 유기물 절연층 사용시 되었던 높은 누설 전류와 이로 인한 전기적 특성저하, 그리고 무기물 절연층의 문제점인 유연성 저하 등의 해결하기 위하여 유기/무기 나노복합 절연체층을 유기 반도체 소자의 게이트 절연체층으로 적용하여 그 가능성을 확인하였다. 또한 플렉시블 반도체 소자 제작도 가능하다.본 발명을 이용하여 플렉시블 디스플레이, 센서, 내장형 정전용량, 강유전체 메모리 등의 유기 전자 소자 분야에 활용이 가능할 것이다.본 발명은 유기 반도체 소자를 저온에서 제작이 가능하고 저가 공정이 가능하기 때문에 기존의 진공 증착법으로 제작이 되었던 유기 반도체 소자에 비해 공정 단가 면에서 많은 이득을 가져올 것이다.본 발명을 이용하여 제작된 유기 반도체 소자로 인하여 플렉시블 디스플레이, 내장형 정전용량, 강유전체 메모리 등이 요구되어 지는 유기 전자 소자에의 적용 가능성을 확인 하였다본 발명에서 사용된 나노크기의 알루미나(Al2O3) 제조방법과 이를 유기물과의 합성 방법은 여러 가지 구조나 재료를 이용한 유기 전자 소자에서 그 활용이 다양하게 이용될 것이다.고유전율의 무기물과 유연성을 가지는 유기물을 혼합하여 나노복합 절연체층을 형성, 무기물과 유기물의 장점을 이용한 유기 반도체 소자의 제작이 가능하다.
본 발명은 모바일 네트워크 상에서 인증메시지를 효과적으로 전달하기 위한 알고리즘에 관한 것으로, 현재 모바일 네트워크 상의 안전한 통신을 저해하는 다수의 공격문제를 해결하기 위해 개발되었다. 기존의 모바일 네트워크 상의 인증방법은 상호인증이 완전하지 않아 많은 유해공격이 발생할 수 있으며, 핸드오버 시 보안을 고려하지 않고 있다. 따라서 본 발명은 모바일 네트워크 상에서 상호인증을 제공하고, 핸드오버 시 보안을 강화하였다.현재 모바일 네트워크 시장은 많은 기법 및 제품들이 제시되고 있으나 그 분야가 모바일 통신환경에 국한되어 있고, 인증시스템에 대한 개발연구는 미흡하다. 따라서 현 모바일 네트워크 상의 해를 끼치는 공격자가 범람하는 상황을, 보안이 강화된 상호인증을 제공함으로써 이용자의 보안요구조건을 만족시킬 수 있다. 또한 높은 보안성을 통해 다른 제품들과 차별화된 전략이 있다.모바일 네트워크는 최근 들어 각광받고 있는 네트워크 환경으로써, 모바일 네트워크 상에서의 강화된 인증 기법은 그 연구 및 개발이 미미한 상황이므로, 높은 시장성을 지닐 수 있으며 이에 대해 다양한 파생연구가 가능할 것으로 판단됨.기존의 메시지보안을 강화한 인증기법과 달리 사용자와 네트워크 간 상호인증을 강화하였다. 또한 사용자의 이동이 잦은 모바일 네트워크 환경을 고려하여 사용자의 이동시 보다 강화된 보안을 제공하고자 하였다.
본 기술은 탄소나노튜브가 혼합되어 있는 도금액을 범프금속에 전기도금함으로써 범프금속의 강도를 강화시킨 탄소나노튜브 강화 복합범프이다. 본 복합범프를 이용하여 형성된 반도체 칩은 액정표시소자ㆍ유기발광소자ㆍ플라즈마 디스플레이에 칩온글라스 실장 및 회로기판ㆍ플랙시블 기판에 플립칩 실장 할 수 있다.본 기술은 범프금속과 탄소나노튜브를 동시에 전기도금하여 범프금속 내 탄소나노튜브를 함유 분포시킴으로써, 범프의 기계적ㆍ열적 성질 및 접속특성을 향상시킨다.<기술의 우수성>- 탄소나노튜브의 높은 강도탄소나노튜브의 강도는 150Gpa로 주요 범프 소재인 Au(금), Cu(구리), Ni(니켈)에 비해서 그 강도가 매우 높다. 또한 직경이 미세하기 때문에 범프 금속기지 내에서 효과적인 강화재로 작용할 수 있다. 탄소나노튜브 강화 복합 범프를 형성한 반도체 칩은 이방성 전도 필름ㆍ비전도성 접착제 공정 시 문제되었던 범프의 소성변화를 방지 할 수 있다.- 경제성범프의 주 재료로 사용되는 고가의 Au 대신 Sn을 사용하여 공정단가를 낮출 수 있지만, Sn이 Au보다 강도가 약하기 때문에 현실적으로 대체가 불가능하다. 하지만 Sn 등과 같은 저가의 금속범프에 탄소나노튜브를 함유ㆍ분포시킴으로써 공정 단가를 낮출 수 있다.<기술의 사업성>탄소나노튜브 소재는 탁월한 물성으로 인해 미시 및 거시적인 측면에서 다양한 응용이 기대되는 획기적인 소재로 평가 받고 있다. 삼성경제연구소에서 선정한 [산업판도를 바꿀 10대 미래기술]에 따르면 소재로서는 유일하게 탄소나노튜브가 선정되었으며, 2006년 전자부품연구원에서 주최한 세미나에서 탄소나노튜브는 매우 다양한 분야에 활용될 것으로 예상된다. 미래의 핵심소재로 손꼽히는 탄소나노튜브를 이용한 강화 복합 범프는 공정 단가를 낮추면서 높은 품질의 범프 생산이 가능할 뿐만 아니라, 반도체 범핑 기술과 차세대 반도체 패키징 기술에 대한 응용 분야에서 선도적으로 경쟁할 것으로 기대된다.
본 기술은 정전기력을 이용한 잉크분사방법 및 잉크분사장치에 관한 것으로서, 특히 반도체 기판을 이용하여 MEMS 기술 및 반도체 제조 공정을 적용한 정전기력 방식의 잉크분사장치 제작방법에 관한 것이다. 정전기력을 이용한 잉크분사장치는, 잉크 토출을 위한 잉크 공급로, 기판 상에 형성된 노즐공을 가지는 튜브 형태의 노즐, 노즐 내부에 형성된 pole 형태의 하부전극, 잉크 토출공을 구비한 상부전극을 가지는 기판으로 구성된다.잉크분사장치를 이용한 잉크젯 프린팅 응용 기술이 적용될 수 있는 가장 큰 시장은 LCD, OLED, PDP, PCB, Micro Lens 등의 디스플레이 및 전자재료 프린팅 분야이며, 그 외에도 각종 micro sensor, bio chip, RFID, micro 적층 안테나, 생물 세포 배양 등 많은 분야에 적용 가능하리라 기대된다. MEMS 기술을 적용한 잉크분사장치 및 이를 채용한 잉크젯 프린팅 장비는 2011년에 국내 시장이 약 8천억원 및 세계시장이 약 3.2조를 예상할 만큼 막대한 시장이 예측되고 있다. 특히, 디스플레이 산업 분야에서 저가격화에 따른 가격 경쟁이 심화되고 새로운 공정 기술의 필요성이 증대되면서, 잉크젯 프린팅 장비 시장의 선점은 hot issue가 되고 있다.평판 디스플레이(FPD) 제조와 같은 고정도 대면적의 패턴을 위해 지금까지 photolithography 공정을 사용해 왔지만, 진공 공정과 높은 청정도의 필요로 높은 장비 투자, 공정 그리고 재료비용으로 제조 원가가 높은 공정이다. 또한 다양한 디스플레이 방식간의 치열한 가격 경쟁 그리고 슬림화, 경량화 및 대면적화에 따른 기존 기술의 한계 등으로 가격 경쟁력 확보를 위한 새로운 제조 기술을 요구하고 있다. 본 기술의 특징은 MEMS 기술 및 반도체 공정을 이용하여 기판 내부에 튜브 형태의 노즐과 노즐 내부에 ploe 형태의 전극을 동시에 제작함으로서 제조 공정을 단순화 했으며, 양전극에 소정의 전압을 인가하면, 양전극 사이의 전위차로 인해 작용하게 되는 정전기력에 의하여 노즐 끝단에 메니스커스(meniscus)가 형성되고 강한 정전기력에 의해 메니스커스 끝단에서 잉크가 뜯겨져 나가는 방식으로 잉크가 토출하게 된다.
본 기술은 전송률 향상을 위한 데이터 송수신 장치 및 방법에 관한 것으로서, 데이터 신호에 파일럿 신호를 가산한 OFDM 심볼을 송수신하는 장치 및 방법에 관한 것이다.본 기술에 따른 전송률 향상을 위한 데이터 송수신 장치는 데이터 신호에 파일럿 신호를 가산하는 파일럿 가산부와 파일럿 신호가 가산된 데이터 신호에 보호구간을 삽입하는 보호구간 삽입부를 포함하는 송신 장치와, 수신된 신호의 보호구간을 제거하는 보호구간 제거부와 보호구간이 제거된 시간 영역의 신호를 주파수 영역의 신호로 변환하는 FFT부와 보호구간이 제거된 시간 영역의 신호로부터 채널 값을 추정하는 채널 추정부와 변환된 신호를 추정된 채널 값에 의해 등화하는 등화부와 등화된 신호에서 파일럿 신호를 제거하는 파일럿 제거부를 포함하는 수신 장치를 포함한다.본 기술은,파일럿 전용 부반송파를 사용하지 않고, 가용 부반송파에 할당된 데이터 신호에 파일럿 신호를 가산한 신호를 전송함으로써, 전송률 향상을 위한 데이터 송수신 장치 및 방법을 제공하고자 하는 것이다.본 기술의 해결 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다
본 기술은 센서 네트워크에서 향상된 트리 구조 형성을 위한 클러스터링 방법을 사용해 부모 클러스터 헤드와의 거리와 조부모 클러스터 헤드와의 거리의 합을 계산하고 이 값이 가장 작게 되는 부모 클러스터 헤드를 선출한다. 따라서 이 부모 클러스터 헤드를 통하여 multi-hop으로 베이스 스테이션까지 전송할 때 전송되는 거리를 줄임으로써 에너지 소모를 줄일 수 있다.유비쿼터스 환경으로 스마트 홈 및 군사 지역 등의 소규모에서 대규모의 지역에 까지 센서 노드들이 특정 지역에 분포가 되어 있고, 이 센서들의 수집된 정보를 효율적으로 베이스 스테이션까지 전송하여 감시를 하거나 응급 상황에 대처할 수 있는 다양한 분야에 적용될 것으로 기대된다.유비쿼터스 환경을 구축하기 위해서 센서 네트워크 기술이 많은 발전을 이룩할 것으로 전망이 되는데 특히, 계속적인 센서들의 개발과 발전으로 센서의 성능이 향상되고 있으며 가격이 인하되고 있다. 따라서 성능이 좋은 센서의 수명을 늘리기 위해서 수신한 데이터를 효율적으로 전달할 수 있는 라우팅 방법이 필요로 하는 센서 네트워크로써의 시장 진출이 유망하다.현재 유비쿼터스 컴퓨팅 환경 구축을 위해 국내외 유명 기업들은 센서 네트워크에 대한 연구를 활발하게 진행하고 있으므로 에너지를 줄일 수 있는 효율적인 라우팅 방법을 이용하여 네트워크를 수명을 늘린다면 기업화가 가능하리라 본다.대규모의 센서 네트워크 환경에서 많은 클러스터가 생겨 클러스터 헤드들 사이의 통신이 이루어 질 때, 각 센서 노드들의 남아있는 에너지양을 고려하여 클러스터 헤드를 선출하여 네트워크 수명을 늘리는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 선출된 클러스터 헤드들 사이의 거리를 고려하여 베이스 스테이션까지 전송되는 거리가 짧은 노드를 부모 클러스터 헤드 노드로 선택하여 에너지 효율을 높이는 효과를 얻을 수 있다.본 기술은 대규모 센서 네트워크에서 클러스터 헤드들 사이의 통신이 이루어 질 때, 각 센서 노드들의 남아있는 에너지 량을 고려하여 클러스터 헤드를 선출하는 기능을 제공하며, 주변의 센서 노드들로부터 수신한 정보를 베이스 스테이션까지 전송하기 위해 클러스터 헤드들 사이의 거리를 고려하여 가장 짧은 값을 갖는 노드를 부모 클러스터 노드로 설정해 라우팅을 하는 기능을 제공한다.
본 기술은 금속 패턴 공정에 있어서 선택적인 금속 패턴 형성과 플렉서블한 폴리머 기판상에 적용이 가능하다는 부분에서 기존에 복잡한 공정을 단순화 시키며 저가 공정이 가능한 기술이라는 점이다.본 기술을 이용하여 디스플레이,센서등의 전자 소자에서 금속 패턴 라인 형성 분야에 활용이 가능할 것이다. 본 기술은 잉크젯 프린팅 기술을 이용하기 때문에 그 공정이 단순하며 또한 플렉서블한 폴리머 소자에 선택적 금속 패턴을 형성할수 있기에 빠르고 낮은 공정 단가의 이점을 가진다. 본 기술은 빠르고 낮은 공정 단가로 인해 플렉서블한 전자 소자에 적용이 가능할 것이며, 금속 패턴 공정 이외의 유기 전자 소자 및 폭넓은 전자 소자에 활용이 기대 된다.잉크젯 프린팅 기술을 이용하여 플렉서블한 폴리머 기판에 선택적 금속 패턴을 형성하여 플렉서블한 전자 소자에서 그 활용이 다양하게 이용될 것이다.잉크젯 프린팅 기술을 이용, 플렉서블한 폴리머 기판상에 SAM을 형성하여 무전해 도금 및 무전해 도금 후 전해 도금을 이용하여 금속 패턴을 형성할 수 가있다.
나노스케일의 고종횡비 트렌치나 비아홀에 유기금속 화학기상증착법을 이용해 구리 또는 구리합금 박막을 형성할 때, 흡착억제제 기체분자 또는 래디컬을 연속적, 단계적 또는 순환적으로 처리하여 구리 또는 구리합금 박막을 선택적으로 매립하는 방법을 제공한다.나노스케일의 반도체 소자 금속배선 공정에 적용될 수 있다.나노스케일의 선폭과 높은 종횡비를 갖는 반도체 소자의 금속배선 형성에 대한 활용이 예상된다.나노스켈일의 고종횡비 트렌치나 비아홀에 유기금속 화학기상증착법을 사용하여 보이드 없이 형성된 구리 또는 구리합금 금속배선은 반도체 소자의 신뢰성을 향상 시킨다.본 기술은 구리 금속배선에 국한하지 않고, 나노스케일의 고종횡비 트렌치나 비아홀의 구리박막 형성시 발생되는 비저항 증가 현상을 완화하기 위해, 유기금속 화학기상증착법을 이용해 구리합금 박막을 형성한다. 또한 나노스케일의 고종횡비 트렌치나 비아홀의 선택적 매립을 위해 구리 또는 구리합금 박막 증착시 흡착 억제제 기체분자 또는 래디컬을 처리하여 보이드 없이 구리 또는 구리합금을 매립한다.
반도체소자의 금속배선형성 공정시 보이드가 발생하는 현상을 막기 위해서 구리 또는 구리합금층을 형성하는 공정과 오버행이 형성되는 부분을 플라즈마을 이용하여 염소와 아르곤 혼합 가스와 함께 전면식각하는 공정을 병행하여 오버행을 제거하여 슈퍼필 금소배선 매립을 이루는 기술이다. 상술한 봐와 같이, 본 발명을 이용하여 종횡비가 큰 배선구조를 갖는 금속배선이 가능하여 고집적 반도체소자의 제작에 기여할 것으로 예상된다. 최근 반도체 소자들은 구리를 기반으로 반도체소자에 대한 연구 및 수요가 크게 증가하고 있다. 본 발명은 구리를 사용하는 금속패턴 형성시 발생하는 보이드의 발생을 방지하는 방법으로 시장가치가 크다.이 기술은 반도체 소자의 특성 및 신뢰성을 향상시키고 그에 따른 고집접화를 가능하게 하는 기술로서 향후 큰 시장의 수요가 예상된다.본 발명을 통해 반도체소자의 특성 및 신뢰성을 향상시키고 그에 따른 반도체소자의 고집접화가 가능하게 하는 효과가 있다. 반도체 소자의 금속배선 형성방법에 있어서 금속패턴을 구리 또는 구리합금층으로 형성하되 오버행이 발생되는 부분을 전면식각하는 공정을 병행하여 오버행의 발생을 제거하여 금속패턴의 내부에 보이드가 발생되지 않도록 금속패턴을 형성하는 방법이다.
본 발명은 원자힘 마이크로스코피(AFM)와 이산치 웨이브릿(DWT)을 이용한 플라즈마공정 감시방법에 관한 것이다.이를 위한 본 발명은, AFM 영상 수집과, 수집된 영상을 분석하기 위한 AFM 영상의 웨이브릿 변환기와 플라즈마 감시를 위한 감시 메트릭으로 구성되어; 상기 AFM을 이용하여 표면거칠기 영상을 수집하고, 스캐닝한 영상에서 회색코드가 비트맵으로 변화하고 이후 DC 성분을 제거하며, 앞 과정을 거친 영상에 이산치 웨이브릿 변환을 적용한 후 얻어지는 근사치부분에 히스토그램을 적용하여 표면거칠기 윤곽선을 추출하고, 추출된 표면거칠기 윤곽선에 웨이브릿 변환을 다시 적용하여 미세부분에 대한 데이터를 확보하고 이를 플라즈마 감시를 위한 단서로 이용하며, 각 미세성분에 대한 정량적인 데이터를 구성하는 수치에 대한 패턴을 구성하고 이를 플라즈마 감시에 이용한 것을 포함한 것을 그 특징으로 한다.
본 발명은 적합성 피드백과정에서 얻어진 선호도 정보를 이용하는 협업 필터링기법을 사용하여 내용기반이미지 검색의 초기 질의로 사용될 수 있는 후보 이미지의 리스트를 자동 생성하는 모바일 웹 기반의 이미지검색을 위한 초기질의 집합의 자동생성방법을 제공한다.본 발명은 모바일 단말기가 상기 서비스 제공 서버에 접속하면 서비스 제공 서버는 CBIR로부터 피드백된이미지들에 대한 적합성 정보를 이용하여 사용자의 선호도를 반영하는 초기질의 집합을 자동으로 생성하는 제1과정; 사용자가 상기 초기질의 집합에 포함된 어느 하나의 이미지에 대하여 유사한 이미지에 대한 CBIR기반 검색을위한 질의로 사용하고자 하면 상기 서비스 제공 서버는 그 이미지를 CBIR-RF의 초기질의로 결정하는 제2과정;을포함하며, 상기 제1과정은 상기 적합성 정보를 바탕으로 하는 사용자 프로파일을 생성하는 제1단계; 상기 사용자의 선호도와 유사한 취향을 갖는 이웃집단을 형성하는 제2단계; 상기 이웃집단이 과거에 좋아했던 항목들로 추천항목을 생성하는 제3단계;를 포함한다.
본 기술은 자석 및 열발생장치를 이용하여 기록매체에 저장된 정보를 완전히 제거하기 위한 디가우저(Degausser) 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자석에서 생성된 자기장 및 열발생장치에서 생성된 열을 동시에 기록매체에 적용하며, 기록매체의 크기에 관계없이 정보를 제거할 수 있도록 상하로 움직일 수 있는 이동판을 구비한 디가우저 장치에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 기록매체에 저장된 정보를 제거하기 위한 디가우저 장치에 있어서, 상기 디가우저 장치의 하부에 고정된 고정판, 상기 디가우저 장치의 측벽을 따라 상하로 움직일 수 있는 이동판, 상기 고정판 및 상기 이동판 각각에 부착된 제1 자석 및 제2 자석, 상기 기록매체에 열에너지를 제공하기 위한 열발생장치를 포함하되, 상기 제1 자석 및 상기 제2 자석에서 발생되는 자기장 및 상기 열발생장치에서 생성된 열에너지는 함께 상기 기록매체에 제공되며, 상기 이동판 및 상기 제2 자석은 상하로 움직여 상기 기록매체의 크기 및 종류에 따라 다른 세기의 자기장을 상기 기록매체에 인가하는 것을 특징으로 한다.