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공기에서 초음파의 발생은 로봇 거리 감지와 영상 가스 흐름 측정 인사이튜 공정 감시 음향 현미경을 포함한 다양한 응용에서의 관심 사항이었다. 이 발명품은 절연 지원에 의한 기판상의 표면 위에 지지된 실리콘 질화막을 마이크로머시닝 트랜스듀서에 의한 반도체 기판상에 형성된 정전 트랜스듀서이다. 이 기판과 막은 트랜스듀서의 전극으로 정의된다.주파수 광대역의 공기에서 효율적인 초음파 수신과 생성
마이크로 레이저빔의 나노 크기 위치 제어를 위한 방법마이크로 레이저빔의 나노 크기 위치 제어
초저지터 위상 동기 루프와 지연 동기 루프 구성을 위한 대칭 부하 버퍼단을 제공한다. 이들 버퍼단은 초고 공급 잡음 내성과 주파수에 대한 초선형 제어를 마련하였다. 그들은 위상 동기 루프와 지연 동기 루프에서 요구하는 전압 제어링 발진기와 전압 제어 지연 선로에서 이상적으로 사용하였다.초저지터 동작을 위한 기판 잡음 거절과 매우 높은 동적과 정적 공급, 다른 전압 제어보다 외부 바이어스 전압을 요구하지 않음, 고주파 전압 제어 발진기 생산 가능, 공급 전압 요구는 오직 직렬 NMOS와 PMOS 다이오드 강하에만 있음.
촉진형 라만 전이를 가진 단일 펄스 여기 혹은 다중 펄스 서열 여기는 개개 양자 물체의 운동량에서 조절된 변화를 생성한다촉진형 라만 전이를 가진 단일 펄스 여기 혹은 다중 펄스 서열 여기는 개개 양자 물체의 운동량에서 조절된 변화를 생성
촉진형 라만 전이를 이용한 내부 상태의 조절성 조작에 의한 원자, 분자 혹은 이온의 운동량 조절법촉진형 라만 전이를 이용한 내부 상태의 조절성 조작에 의한 원자, 분자 혹은 이온의 운동량 조절법
반도체 장치에서 도판트(dopant)의 선택적 유입으로 생성되는 이극성 이형 접합부(얕은 접합부)와 관련된다, 도판트를 포함하는 대기에서 펄스 레이저 광선으로 표면 부위를 주사함으로써 얕은 지역이 반도체내에서 형성된다, 펄스 레이저 광선은 대기로부터 도판트 원자를 끌어낼 충분한 강도를 가지며 불충분한 강도는 반도체 물질을 녹인다, 규소 화합물 층은 대기 유래의 도판트와의 조사 즉, 규소 화합물에서 반도체 표면으로의 조사에 앞서서 반도체 표면에 자리잡는다, 선택적으로, 표면 부위 조사에 앞서서 규소 화합물 층은 도판트 원자를 포함할 수 있다더 얕은 접합부, 더 나은 과정 조절, 펄스당 적은 도판트, 존재하는 도핑 부위의 덜한 파괴
단일축 자기, 전자, 광학 그리고 기계적 성질을 가진 방향성 있고 금속간 얇은 필름 구조를 생성하는 방법이다, 인공 초격자는 정렬된 구조상의 표적 금속간 화합물 구성분 금속 층의 번갈은 침전으로 조립된다, 단일 결정 기질이나 결정학상 점성 기질은 현재 기술에서 침적된 층의 병렬을 유도하는데 이용된다, 결과적인 초격자의 연결은 단일축 성질을 가지는 병렬의 얇은 필름 금속간 화합물을 생성한다단일 축성 자기, 전자, 광학 그리고 기계적 성질, 물질의 큰 구조가 약한 이방성일 때 효과적이다
모세관 전기 영동(CE)은 복잡한 혼합물 분석을 위한 강력한 분석적 분리 기술이다, 표본의 화학적 조성을 결정하기 위해 전기 화학적 감지체가 CE에서 흔히 사용된다, 전기 화학 감지체가 극복해야 할 두 문제는 1에서 30kV 존재 퍼텐셜로부터 감지체 기구를 분리하는 것이고 전력 공급 소음을 감소시키는 것이다, 감지체는 감지 전극이 고분리 전압으로부터 전기적으로 분리되게 한다, 분리 전압으로부터 감지체의 전기적 분리를 보상하지 않는 방식으로 분리된 표본의 개개 구성원의 신호가 분석을 위해 전달된다감지 전극이 고분리 전압으로부터 전기적으로 분리된다
광선 분리 인자, 광자 입력 그리고 광자 출력을 가진 sub-poissonian 간섭 측정을 위한 기구와 방법이다, 이 기구는 광학 경로 길이 차이를 유도해 간섭계가 상 의존적 광선 분리계로 작동하도록 하는 광학 경로 길이 조정를 갖는다, 또한 광자의 진폭과 상이 불특정한 강도 압축 상태에서 광자를 생성하는 방사선 생성 기구를 포함한다더 작은 상 전이도 감지할 수 있는 개선된 민감성, 저비용의 고부피 반도체 판막 제작법과 호환되는 과정
ZnO 인자가 외팔보 전체 길이를 넘지 않도록 하는 AFM 외팔보로 압전기 인자 부위에서 외팔보는 압전기 센서 부위에서 보다 적어도 두배 더 두껍다, 이는 효과적으로 외팔보를 두꺼운 강성 염기 그리고 연성의 얇은 말단으로 분리한다압전기 인자 부위에서 외팔보는 압전기 센서 부위에서 보다 적어도 두배 더 두껍다.
높은 민감도를 가진 원자력 현미경 외팔보의 기계적 위치를 감지하는 디지털간 외팔보, 외팔보는 위치 감지 능력을 개선하기 위해 상 회절 격자 구조를 이용한다높은 민감도를 가진 원자력 현미경 외팔보의 기계적 위치를 감지하는 디지털간 외팔보
5nm 이하의 폭과 조절 가능한 두께를 갖는 틈을 만드는 방법자료 없음
미세 기계성 외팔보의 새로운 구조이다, 이 구조는 수직 편향 감지를 위한 편평한 수평 압력 저항 광선과 수평 편향 감지를 위한 고면율(high-aspect-ratio) 압력 저항 인자("rib")로 구성된다외팔보 구조는 각 편향 양상의 측정 정밀도를 높이기 위해 독립적으로 측면 편향과 수직 편향을 측정한다, 이런 압력 저항기는 만들기 쉽다
마이크로이미지에서 유래한 공극 공간의 통계적 성질로부터 바위의 공극성, 투과성, 전기 형성 인자 그리고 탄성-파 속도를 계산하는 방법이다, 암석의 물리적 성질을 돌결(grain) 분류, 시멘트 위치, 돌결 양상을 포함하는 암석의 구성과 연계시킬 수 있게 해준다, 결과적으로 물리적 성질은 diagenetic 경로와 분해 환경과 관련된다, 끝으로 투과성이 공극성, 저항성 그리고 음파같은 기본적이고 향상된 로그 데이터로부터 예측될 수 있다는 점에서 물리적 성질들은 서로 연관되어 있다전통적인 바위 분석보다 실행하는 게 단순하다
이중 용도 전기 활성 공중합체를 광-전자 장치에 이용하는 기술이다, 여러 광-전기 장치 제조에 특이적으로 이용된다이중 용도는 빛 방출 단편과 전하 수송 단편으로 이루어진다
화학 감지체로서 단일 벽을 가진 탄소 나노튜브를 이용하는 기술이다, 저 농도 기체 분자에 노출시키면 여러 진폭으로 빈도체성 SWNT의 전기 저항성이 변한다, 가역성을 갖고 상온에서 작동되는 나노튜브 분자 감지체는 매우 높은 민감성과 빠른 반응을 보여 준다상온에서 작동, 가역적, 높은 민감성, 빠른 반응
가공전 알류미늄이 입혀진 CMOS 회로 상에 해리된 미세 구조를 만드는 기술이다, CMOS 회로의 완성 후에 폴리이미드의 희생 층이 만들어진다, 희생 층은 본 떠지고 TiW-Si-TiW이 세 층은 저 스트레스 막을 생성하도록 전력과 압력에 의해 튕겨진다, 웨이퍼는 연결되고 세 층은 플라즈마에서 본 떠진다, 웨이퍼는 결과적으로 입방체로 되고 각 입방체는 폴리이미드 희생 층을 제거하기 위해 산소 플라즈마에 노출된다, 해리된 장치의 만곡은 축적된 두께에 역 평방에 따라 다양하다, 작은 스트레인 구배가 2 마이크론 막 두께에서 일어난다, 구배는 또한 TiW 덧씌운 금속 층에서 스트레스를 조정해 조절될 수 있다, 집적 회로 상부의 해리된 구조는 다음과 같은 용도에 쓰일 수 있다 : 가속계, 각속도 센서, 자이로스코프, 마이크로폰, 압력 센서, 촉각 센서, 진동계, 실리아 배열, 전시, 모터, 공명기, 동조 축전기, 혹은 LPCVD 폴리실리콘을 이용해 만들 수 있는 모든 장치LPCVD 폴리실리콘과는 다르게 튕겨진 실리콘은 CMOS 회로의 변화를 줄 필요 없이 상온에서 축적된다, 정전 용량과 민감성을 증가시키며 LPCVD 실리콘보다 더 큰 막 두께로 축적된다, 전통적인 물기 상태 해리의 복잡함과 압축이 필요 없이 건조 상태로 해리된다
본 기술은 콤팩트 디스크나 DVD를 삽입이나 제거시 굽힘의 위험을 제거한 향상된 케이스 제조기술이다.본 기술의 적용시에는 추가적인 부품이 필요없는 상태로 굽힘의 위험이 적으므로 삽입이나 제거가 편리하며 CD나 DVD 트레이 제작자에게는 트레이 제작비의 절감효과가 기대된다.
본 기기는 물체표면에 대한 각도의 전위를 측정할 수 있다. 축의 회전속도나 진동회전의 속도측정이 가능하다.특히 병진운동에 적은 영향을 받아 비틀림 진동의 변환에 특히 적합하다.광대역 측정기의 제작시 Nyquist limit(18.5 Khz, 프로토타이프 기준)에 이르는 진동수에서도 좋은 결과를 얻을 수 있다.
전자기기의 도난 방지 및 회수를 위한 제품의 IDENTIFICATION 방법이다. 컴퓨터, TV 등 전자제품이나 설비등의 내부 회로기판등에 지워지지 않는 표식을 넣는 방법이다.이들 장비의 도난시 항구적인 추적이 가능하게 한다. 또한 이 기술을 채택한 제조업체나 판매업체는 제품의 소유 경위를 계속적으로 기록할 수 있으므로 마케팅이나 애프터서비스에서의 효율성을 높일수 있다.설비의 도난, 분실시의 회수가 가능하며 판매나 사후관리의 효율성을 높일 수 있다.